[發(fā)明專利]使用吊架和支撐軌道輸送晶片儲存容器的皮帶輸送系統(tǒng)

在審

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• 申請日: 2021-11-12
• 公開（公告）號: CN114765119A
• 公開（公告）日: 2022-07-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 閔南泓;金基允
• 申請（專利權(quán)）人: 賽米提斯股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 延美花;臧建明

本發(fā)明涉及使用吊架和支撐軌道輸送晶片儲存容器的皮帶輸送系統(tǒng)，包括：第1吊架至第n吊架，分別包括一對垂直框架和一個水平框架，一對垂直框架的一端固定于設(shè)置在執(zhí)行半導(dǎo)體制造工藝的潔凈室中輸送晶片儲存容器的區(qū)域的天花板上的各模具棒，水平框架在一對垂直框架的另一端區(qū)域連接一對垂直框架；支撐軌道，包括至少一對軌道框架、至少一個軌道固定框架及多個第1對接連接器，軌道框架跨過第1吊架至第n吊架的內(nèi)部區(qū)域，軌道固定框架連接一對軌道框架，多個第1對接連接器以等間隔設(shè)置在一對軌道框架中任意一個；第1皮帶輸送裝置至第m皮帶輸送裝置，包括多個輥子、控制器、至少一個傳送帶和第2對接連接器。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造工藝中使用的晶片傳送系統(tǒng)，更具體地涉及皮帶輸送系統(tǒng)，其使用吊架和支撐軌道設(shè)置用于輸送半導(dǎo)體制造工藝中使用的晶片儲存容器的皮帶輸送機。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體制造工藝中，安全輸送晶片是一個重要的問題。因此用于輸送設(shè)有多個晶片的晶片儲存容器，例如輸送前開式標準艙(Front Opening Unified Pod，F(xiàn)OUP)的輸送機需要設(shè)計成在晶片儲存容器的裝載、卸載和輸送過程中不會出現(xiàn)意外問題。另外，由于在半導(dǎo)體制造現(xiàn)場，例如潔凈室同時使用各種設(shè)備，因此為了在期望的路徑中布置用于輸送晶片儲存容器的輸送機，可能需要使用吊架將其設(shè)置在潔凈室中預(yù)定高度處。

圖1為以現(xiàn)有方法為例描述的使用吊架將皮帶輸送機設(shè)置在潔凈室中預(yù)定高度處的示意圖。

參見圖1，潔凈室的天花板1上可設(shè)有用于安裝設(shè)置物的預(yù)定模具棒(mold bar)10。然而，由于多個設(shè)置物可能已經(jīng)設(shè)置在所述模具棒上，因此可能難以將每個吊架20-1、20-2、20-3設(shè)置在所述模具棒上期望位置處。為了克服這個問題，可以設(shè)置額外的結(jié)構(gòu)物，即滾道(raceway)12，滾道12可被滾道固定結(jié)構(gòu)物11-1、11-2、11-3設(shè)置于所述設(shè)置物的下方，所述滾道固定結(jié)構(gòu)物避開設(shè)置于模具棒10中設(shè)置的設(shè)置物，并且可以通過沿所需路徑設(shè)置滾道12以將每個吊架20-1、20-2、20-3安裝在所述滾道12上。

然而，這種方法的缺點在于，由于需要設(shè)置滾道12等額外的結(jié)構(gòu)物，因此整體結(jié)構(gòu)復(fù)雜且重量增加。

另外，如圖1所示，整個皮帶輸送機可以具有多個皮帶輸送裝置30-1、30-2、30-3、30-4以模塊化方式連接的結(jié)構(gòu)。此時，每個皮帶輸送裝置30-1、30-2、30-3、30-4所連接的每個連接部21-1、21-2、21-3都需要由吊架支撐，以便其可以穩(wěn)定地連接。因此其仍然存在一定的限制，即每個吊架20-1、20-2、20-3的設(shè)置位置不可避免地確定為與每個所述連接部21-2、21-2、21-3的位置相對應(yīng)。

因此，需要新型皮帶輸送系統(tǒng)，其不僅可以將吊架直接設(shè)置于潔凈室的天花板，而且即使整個皮帶輸送機采用模塊化結(jié)構(gòu)，吊架的位置也不必限于每個皮帶輸送裝置的連接部位置。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供皮帶輸送系統(tǒng)，其中，當(dāng)使用吊架將皮帶輸送機設(shè)置于潔凈室中預(yù)定高度處時，可以將吊架直接設(shè)置于潔凈室的天花板。

另外，本發(fā)明的另一目的在于提供皮帶輸送系統(tǒng)，其中，在使用吊架將皮帶輸送機設(shè)置于潔凈室中預(yù)定高度處時，當(dāng)整個帶式輸送機以模塊化方式配置時，通過使用預(yù)定的支撐軌道，吊架的位置不受由作為模塊的每個皮帶輸送裝置形成的連接部的位置的限制。

另外，本發(fā)明的另一目的還在于提供皮帶輸送系統(tǒng)，其中，在使用吊架將皮帶輸送機設(shè)置于潔凈室中預(yù)定高度處時，當(dāng)整個帶式輸送機以模塊化方式配置時，作為模塊的每個皮帶輸送裝置和支撐軌道包括相對應(yīng)的對接連接器，使得每個皮帶輸送裝置可以與通信線和電源線連接或分離。

此外，本發(fā)明的另一目的還在于提供皮帶輸送系統(tǒng)，其中，在使用吊架將皮帶輸送機設(shè)置于潔凈室中預(yù)定高度處時，當(dāng)多個單位支撐軌道連接以形成整個支撐軌道時，每個單位支撐軌道包括相對應(yīng)的接頭連接器，使得每個單位支撐軌道中包括的每個局部電源線和局部通信線可以連接或分離。