[發明專利]一種單硅晶片表面拋光裝置及使用方法

在審

• 申請號: 202111330781.7
• 申請日: 2021-11-11
• 公開（公告）號: CN114102403A
• 公開（公告）日: 2022-03-01
• 發明（設計）人: 楊陽;楊振華;季富華;管家輝
• 申請（專利權）人: 無錫上機數控股份有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02;B24B41/04;B24B41/06;B24B47/04;B24B47/12;B24B47/22
• 代理公司: 北京睿博行遠知識產權代理有限公司 11297
• 代理人: 張燕平

1.一種單硅晶片表面拋光裝置，包括機身主體(1)，其特征在于，還包括有：

拋光機構(4)，用以對單硅晶片表面進行打磨；

橫向移動機構(2)，用以帶動拋光機構(4)進行橫向水平移動；

垂直移動機構(3)，用以帶動拋光機構(4)進行垂直移動；

硅片固定機構(6)，用以對單硅晶片進行固定；

角度調節機構(5)，用以調節單硅晶片的角度；

所述角度調節機構(5)包括有U形固定架(34)，所述U形固定架(34)內部的上端轉動連接有轉動安裝板(35)，所述硅片固定機構(6)固定在轉動安裝板(35)的內部，所述轉動安裝板(35)下端的中間位置固定連接有從動渦輪(40)，所述U形固定架(34)的一端設置有第二電機固定板(37)，所述第二電機固定板(37)的一端螺釘連接有第五傳動電機(36)，所述第五傳動電機(36)的輸出端貫穿第二電機固定板(37)固定連接有傳動蝸桿(38)，所述傳動蝸桿(38)和從動渦輪(40)嚙合連接；

硅片傳動機構(7)，用以帶動單硅晶片進行往復水平移動；

所述硅片傳動機構(7)包括有電機支架(24)和滑動支架(28)，所述電機支架(24)固定連接在機身主體(1)的下端，所述電機支架(24)的下端螺釘連接有第三傳動電機(25)，所述第三傳動電機(25)的輸出端貫穿電機支架(24)固定連接有可調節傳動板(26)，所述可調節傳動板(26)上端遠離第三傳動電機(25)的一端固定連接有導向圓桿(29)；

所述滑動支架(28)滑動連接在機身主體(1)的上端，所述滑動支架(28)的下端固定連接有貫穿機身主體(1)的移動立板(23)，所述機身主體(1)的內部開設有適應槽，所述移動立板(23)滑動連接在適應槽的內部，所述移動立板(23)的下端固定連接有傳動導向軌(27)，所述導向圓桿(29)滑動連接在傳動導向軌(27)的內部。

2.根據權利要求1所述的一種單硅晶片表面拋光裝置，其特征在于，所述拋光機構(4)包括有第二傳動電機(21)，所述第二傳動電機(21)的輸出端固定連接有拋光器具(22)。

3.根據權利要求1所述的一種單硅晶片表面拋光裝置，其特征在于，所述橫向移動機構(2)包括有固定框架(10)，所述固定框架(10)的上端開設有滑動工作腔(11)，所述滑動工作腔(11)的內部滑動連接有移動固定板(12)，所述固定框架(10)的一側設置有第一傳動電機(13)，所述第一傳動電機(13)的輸出端固定連接有傳動錐齒輪(14)，所述滑動工作腔(11)的內部還轉動連接有傳動螺紋軸桿(16)，所述傳動螺紋軸桿(16)和移動固定板(12)螺紋連接，所述傳動螺紋軸桿(16)的一端貫穿固定框架(10)固定連接有從動錐齒輪(15)，所述傳動錐齒輪(14)和從動錐齒輪(15)嚙合連接；

所述固定框架(10)的一側設置有第一電機固定板(17)，所述第一傳動電機(13)螺釘連接在第一電機固定板(17)的一側。

4.根據權利要求1所述的一種單硅晶片表面拋光裝置，其特征在于，所述垂直移動機構(3)包括有第一液壓缸(18)，所述第一液壓缸(18)固定連接在移動固定板(12)的下端，所述第一液壓缸(18)的輸出端固定連接有電機固定架(19)，所述拋光機構(4)裝配在電機固定架(19)的內部；

所述電機固定架(19)的上端還固定連接有多個定位桿(20)，所述定位桿(20)和移動固定板(12)滑動連接。

5.根據權利要求1所述的一種單硅晶片表面拋光裝置，其特征在于，所述硅片固定機構(6)包括有儲氣筒(41)，所述儲氣筒(41)的下端固定連接有第二液壓缸(42)，所述第二液壓缸(42)的輸出端貫穿儲氣筒(41)固定連接有推氣板(43)，所述推氣板(43)的外側套接有密封圈(44)，所述密封圈(44)和儲氣筒(41)過渡配合，所述儲氣筒(41)的上端設置有柔性墊片(45)，所述儲氣筒(41)的下端且位于第二液壓缸(42)的周側開設有多個排氣孔(46)。