[發(fā)明專利]諧振器及濾波器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111314253.2
• 申請(qǐng)日: 2021-11-08
• 公開（公告）號(hào): CN113783548B
• 公開（公告）日: 2022-04-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 不公告發(fā)明人
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳新聲半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): H03H9/13
• 分類號(hào): H03H9/13;H03H9/17;H03H9/54
• 代理公司: 北京康盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11331
• 代理人: 陶俊潔

本申請(qǐng)涉及濾波器技術(shù)領(lǐng)域，公開一種諧振器，包括：壓電層、第一電極、第二電極、第三電極和第二電極；壓電層一側(cè)與第一電極的一側(cè)連接；第一電極另一側(cè)連接有第三電極；第二電極連接壓電層的另一側(cè)；第一電極、第二電極和壓電層在諧振器的厚度方向上的重疊區(qū)域構(gòu)成諧振器的有效區(qū)域；第三電極在諧振器的橫向方向上位于有效區(qū)域之外；第四電極與第二電極連接，第四電極與壓電層位于第二電極的同側(cè)且第四電極與第一電極之間絕緣。采用本申請(qǐng)?zhí)峁┑闹C振器，能夠在諧振器電極變薄的情況下，在不影響諧振器的諧振同時(shí)不會(huì)增大諧振器的有效電阻。本申請(qǐng)還公開一種濾波器。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及濾波器技術(shù)領(lǐng)域，例如涉及一種諧振器及濾波器。

背景技術(shù)

隨著通信技術(shù)的演進(jìn)，數(shù)據(jù)傳輸速率的提高，射頻通信系統(tǒng)中對(duì)濾波器性能的要求也越來越高，其中就包括（1）濾波器功率承受能力要求從原來的29dBm上升到32dBm；（2）載波頻率增高，載波頻率由原來的最高2.7GHz增加到現(xiàn)在的6.5GHz。諧振器作為濾波器的核心器件，要使載波頻率增高需要減小諧振器的尺寸。諧振器尺寸的減小包括諧振器厚度的減小，即將諧振器的電極厚度變薄。如圖1、圖2和圖3所示，圖1為現(xiàn)有諧振器的結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為現(xiàn)有諧振器的A-A截面的剖面示意圖，諧振器包括第一電極1、第二電極3、壓電層4和支撐層6。圖3為現(xiàn)有技術(shù)中的濾波器的結(jié)構(gòu)示意圖。

在實(shí)現(xiàn)本發(fā)明實(shí)施例的過程中，發(fā)現(xiàn)相關(guān)技術(shù)中至少存在如下問題：

將諧振器的電極厚度變薄會(huì)增大諧振器的有效電阻，導(dǎo)致濾波器的插入損耗增大。

發(fā)明內(nèi)容

為了對(duì)披露的實(shí)施例的一些方面有基本的理解，下面給出了簡單的概括。所述概括不是泛泛評(píng)述，也不是要確定關(guān)鍵／重要組成元素或描繪這些實(shí)施例的保護(hù)范圍，而是作為后面的詳細(xì)說明的序言。

本發(fā)明實(shí)施例提供了一種諧振器及濾波器，以能夠在諧振器的電極厚度變薄的情況下不會(huì)增大諧振器的有效電阻。

在一些實(shí)施例中，所述諧振器包括：壓電層，一側(cè)與第一電極的一側(cè)連接；所述第一電極，另一側(cè)連接有第三電極；第二電極，連接所述壓電層的另一側(cè)；所述第一電極、所述第二電極和所述壓電層在諧振器的厚度方向上的重疊區(qū)域構(gòu)成諧振器的有效區(qū)域；所述第三電極，在諧振器的橫向方向上位于所述有效區(qū)域之外；第四電極，與所述第二電極連接，所述第四電極與所述壓電層位于所述第二電極的同側(cè)且所述第四電極與所述第一電極之間絕緣。

在一些實(shí)施例中，所述第三電極的厚度為所述第一電極的厚度的1.5倍以上，或，所述第三電極的厚度為所述第二電極的厚度的1.5倍以上。

在一些實(shí)施例中，諧振器的橫向方向上，所述第三電極與所述有效區(qū)域之間的距離大于或等于2微米。

在一些實(shí)施例中，在諧振器的橫向方向上所述第四電極與所述第一電極之間存在間隙，且，在諧振器的橫向方向上所述第四電極與所述第三電極之間存在間隙。

在一些實(shí)施例中，所述第三電極由銅、鋁或金制成。

在一些實(shí)施例中，所述壓電層、第一電極、第二電極、第三電極和第四電極構(gòu)成體聲波諧振結(jié)構(gòu)；所述諧振器還包括支撐層，所述體聲波諧振結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述支撐層上。

在一些實(shí)施例中，所述濾波器包括：第一諧振器，所述第一諧振器的第二電極為所述濾波器的輸入端；所述第二諧振器，所述第二諧振器的第二電極為所述濾波器的輸出端；所述第三諧振器，所述第三諧振器的第二電極為所述濾波器的接地端；所述第一諧振器的第一電極、第二諧振器的第一電極和第三諧振器的第一電極相互連通；所述第一諧振器、所述第二諧振器和所述第三諧振器均為上述的諧振器。

在一些實(shí)施例中，第一諧振器的第三電極、第二諧振器的第三電極和第三諧振器的第三電極相互連通。

在一些實(shí)施例中，在所述第一諧振器、第二諧振器和第三諧振器的第三電極上均設(shè)置有缺豁。