[發明專利]諧振器及濾波器

有效

• 申請號: 202111314253.2
• 申請日: 2021-11-08
• 公開（公告）號: CN113783548B
• 公開（公告）日: 2022-04-01
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 深圳新聲半導體有限公司
• 主分類號: H03H9/13
• 分類號: H03H9/13;H03H9/17;H03H9/54
• 代理公司: 北京康盛知識產權代理有限公司 11331
• 代理人: 陶俊潔

1.一種諧振器，其特征在于，包括：

壓電層，一側與第一電極的一側連接；

所述第一電極，另一側連接有第三電極；

第二電極，連接所述壓電層的另一側；所述第一電極、所述第二電極和所述壓電層在諧振器的厚度方向上的重疊區域構成諧振器的有效區域；

所述第三電極，在諧振器的橫向方向上位于所述有效區域之外；

第四電極，與所述第二電極連接，所述第四電極與所述壓電層位于所述第二電極的同側且所述第四電極與所述第一電極之間絕緣。

2.根據權利要求1所述的諧振器，其特征在于，所述第三電極的厚度為所述第一電極的厚度的1.5倍以上，或，所述第三電極的厚度為所述第二電極的厚度的1.5倍以上。

3.根據權利要求1所述的諧振器，其特征在于，在諧振器的橫向方向上，所述第三電極與所述有效區域之間的距離大于或等于2微米。

4.根據權利要求1所述的諧振器，其特征在于，在諧振器的橫向方向上所述第四電極與所述第一電極之間存在間隙，且，在諧振器的橫向方向上所述第四電極與所述第三電極之間存在間隙。

5.根據權利要求1所述的諧振器，其特征在于，所述第三電極由銅、鋁或金制成。

6.根據權利要求1至5任一項所述的諧振器，其特征在于，所述壓電層、第一電極、第二電極、第三電極和第四電極構成體聲波諧振結構；所述諧振器還包括支撐層，所述體聲波諧振結構設置在所述支撐層上。

7.一種濾波器，其特征在于，包括：

第一諧振器，所述第一諧振器的第二電極為所述濾波器的輸入端；

第二諧振器，所述第二諧振器的第二電極為所述濾波器的輸出端；

第三諧振器，所述第三諧振器的第二電極為所述濾波器的接地端；

所述第一諧振器的第一電極、第二諧振器的第一電極和第三諧振器的第一電極相互連通；

所述第一諧振器、所述第二諧振器和所述第三諧振器均為權利要求1至6任一項所述的諧振器。

8.根據權利要求7所述的濾波器，其特征在于，第一諧振器的第三電極、第二諧振器的第三電極和第三諧振器的第三電極相互連通。

9.根據權利要求7所述的濾波器，其特征在于，包括：在所述第一諧振器、第二諧振器和第三諧振器的第三電極上均設置有缺豁。

10.根據權利要求9所述的濾波器，其特征在于，所述缺豁在第一諧振器、第二諧振器或第三諧振器上小于或等于4個。