[發明專利]分子泵電機及制造方法

有效

• 申請號: 202111291235.7
• 申請日: 2021-11-03
• 公開（公告）號: CN113726041B
• 公開（公告）日: 2022-03-11
• 發明（設計）人: 申強龍;李賞
• 申請（專利權）人: 北京中科科儀股份有限公司
• 主分類號: H02K1/18
• 分類號: H02K1/18;H02K3/32;H02K5/04;H02K15/02
• 代理公司: 北京布瑞知識產權代理有限公司 11505
• 代理人: 周達

1.一種分子泵電機，其特征在于，包括：

具有中空的腔室的泵體；其中，所述泵體的腔室具有第一開口和第二開口；所述腔室內靠近所述第二開口設置有安裝部，所述安裝部包括面向所述第一開口的第一安裝面，和與所述第一安裝面鄰接并圍繞所述腔室的軸線的第二安裝面；

與所述泵體固定的定子內套，所述定子內套具有中空的轉子收容腔，所述定子內套與所述泵體的腔室的內壁之間形成有定子收容腔；所述定子內套被所述第一安裝面支撐，在所述定子內套安裝入所述安裝部的過程中，被所述第二安裝面導向；

套設于所述定子內套，并位于所述定子收容腔內的定子。

2.根據權利要求1所述的分子泵電機，其特征在于，所述泵體的腔室為貫通的軸對稱結構。

3.根據權利要求2所述的分子泵電機，其特征在于，所述定子內套內部整體貫通，趨于與所述泵體的腔室同軸設置。

4.根據權利要求1所述的分子泵電機，其特征在于，所述定子與所述定子內套之間，設置有為所述定子相對于所述定子內套移動導向的導向結構。

5.根據權利要求4所述的分子泵電機，其特征在于，所述導向結構包括：設置于所述定子的內徑表面的內凹結構，和設置于所述定子內套的外徑表面的凸筋；其中，所述凸筋與所述內凹結構相形配；或者，

所述導向結構包括：設置于所述定子內套的外徑表面的內凹結構，和設置于所述定子內徑表面的凸筋；其中，所述凸筋與所述內凹結構相形配。

6.根據權利要求1所述的分子泵電機，其特征在于，所述定子的外徑小于所述定子收容腔的外徑。

7.根據權利要求1所述的分子泵電機，其特征在于，所述定子與所述泵體的內壁之間設置有絕緣結構。

8.一種分子泵電機的制造方法，其特征在于，包括：

定子內套涂覆一層軟性絕緣粘接材料，再安裝到泵體內部；其中，所述泵體的腔室具有第一開口和第二開口，所述第一開口的內徑大于所述第二開口的內徑；所述腔室內靠近所述第二開口設置有安裝部，所述安裝部包括面向所述第一開口的第一安裝面，和與所述第一安裝面鄰接并圍繞所述腔室的軸線的第二安裝面；

將定子內套與泵體固定，所述定子內套與所述泵體的腔室的內壁之間形成有定子收容腔；其中，所述定子內套插入所述泵體的所述安裝部；所述第一安裝面用于為所述定子內套提供支撐，以避免所述定子內套安裝不到位；所述第二安裝面為所述定子內套進行導向，以避免所述定子內套的安裝過程相對于所述泵體傾斜；

將所述定子順著所述定子內套的外徑表面放入所述定子收容腔；

將粘接材料注入所述定子收容腔。

9.根據權利要求8所述的分子泵電機的制造方法，其特征在于，所述粘接材料至少包括以下之一：樹脂膠、有機硅灌封膠或聚氨酯灌封膠。

10.根據權利要求8所述的分子泵電機的制造方法，其特征在于，所述定子的外徑小于所述定子收容腔的外徑。

11.根據權利要求8所述的分子泵電機的制造方法，其特征在于，所述泵體的腔室的內壁設置有刻度線；其中，所述刻度線的位置依據所述定子的最高位置的表面設置，包括：

所述泵體、定子和定子內套之間存在的縫隙中的填充物達到所述刻度線，完成填充。