[發明專利]分子泵電機及制造方法

有效

• 申請號: 202111291235.7
• 申請日: 2021-11-03
• 公開（公告）號: CN113726041B
• 公開（公告）日: 2022-03-11
• 發明（設計）人: 申強龍;李賞
• 申請（專利權）人: 北京中科科儀股份有限公司
• 主分類號: H02K1/18
• 分類號: H02K1/18;H02K3/32;H02K5/04;H02K15/02
• 代理公司: 北京布瑞知識產權代理有限公司 11505
• 代理人: 周達

本說明書實施方式提供一種分子泵電機及制造方法，其涉及分子泵電機領域。所述分子泵電機包括：具有中空的腔室的泵體；與所述泵體固定的定子內套，所述定子內套具有中空的轉子收容腔，所述定子內套與所述泵體的腔室的內壁之間形成有定子收容腔；套設于所述定子內套，并位于所述定子收容腔內的定子。通過在分子泵的泵體腔室中安裝定子內套，與泵體腔室內壁形成定子收容腔，定子內套具有導向和定位功能，使定子順著定子內套進入泵體，并用樹脂膠填充定子收容腔，提高了分子泵電機的封裝成功率和散熱效果。

技術領域

本說明書涉及分子泵電機領域，具體涉及一種分子泵電機及制造方法。

背景技術

分子泵是一種常用的真空獲得設備，其內部成型有腔室，在腔室中安裝有高轉速電機，工作時高速旋轉的轉子將腔室內的氣體分子壓縮，并使之獲得定向速度至排氣口排出，近年來分子泵大批量的應用于工業、科研等領域。

分子泵核心的部件之一為分子泵電機，通常分子泵電機定子與泵體的裝配方式為熱裝，即將泵體置于高溫環境下加熱一定的時間后，將電機定子放入泵體底部，等泵體恢復室溫后，實現對電機定子的緊固。由于定子的外徑尺寸難以保證同軸度等因素，在電機定子裝配過程中容易出現安裝卡滯的現象。

由此，本發明人憑借多年從事相關行業的經驗與時間，提出一種分子泵電機及制造方法，以克服現有技術中分子泵電機的定子裝配過程容易出現安裝卡滯的現象。

發明內容

本說明書的目的在于提供一種分子泵電機及制造方法，使分子泵電機的定子便于安裝。

為了實現上述目的，本說明書提供了一種分子泵電機，包括具有中空的腔室的泵體；與泵體固定的定子內套，定子內套具有中空的轉子收容腔，定子內套與泵體的腔室的內壁之間形成有定子收容腔；套設于定子內套，并位于定子收容腔內的定子。

本說明書還提供了一種分子泵電機制造方法，包括：將定子內套與泵體固定，定子內套與泵體的腔室的內壁之間形成有定子收容腔；將定子順著定子內套的外徑表面放入定子收容腔；將粘接材料注入定子收容腔。

本說明書實施例一種分子泵電機及制造方法與現有技術相比，其有益效果在于：通過在分子泵的泵體腔室中安裝定子內套，與泵體腔室內壁形成定子收容腔，定子內套具有導向和定位功能，將定子順著定子內套放入泵體，并用樹脂膠填充定子收容腔，便于分子泵電機定子的安裝。

附圖說明

圖1所示為利用本發明一實施例提供的分子泵電機的軸測裝配示意圖。

圖2所示為利用本發明一實施例提供的分子泵電機剖視圖。

圖3所示為利用本發明一實施例提供的分子泵電機的泵體示意圖。

圖4所示為利用本發明一實施例提供的分子泵電機的定子示意圖。

圖5所示為利用本發明一實施例提供的分子泵電機的定子內套示意圖。

圖6所示為利用本發明一實施例提供的分子泵電機安裝定子內套后的剖視圖。

圖7所示為利用本發明一實施例提供的分子泵電機制造方法的示意圖。

具體實施方式

下面將結合說明書部分實施方式中的附圖，對本說明書部分實施方式中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施方式僅是本說明書一部分實施方式，而不是全部的實施方式。基于本說明書中的實施方式，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施方式，都屬于本說明書的范圍。

本說明書實施方式提供一種分子泵電機。所述分子泵電機可以實現分子泵轉子的高速轉動。具體的，例如，分子泵電機可以應用到分子泵技術領域，在該領域使用時，分子泵電機帶動轉子高速轉動，使高速轉動的轉子將動量傳輸給氣體分子，使氣體分子獲得定向速度，從而被壓縮，然后被驅送到泵的出口，使分子泵可以具有抽真空的功能。