[發(fā)明專利]多線TRL校準(zhǔn)件的制備方法及多線TRL校準(zhǔn)件在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202111284366.2 | 申請日： | 2021-11-01 |
| 公開（公告）號： | CN114114119A | 公開（公告）日： | 2022-03-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王一幫;梁法國;吳愛華;霍曄;欒鵬;劉晨;孫靜;徐森鋒 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所 |
| 主分類號： | G01R35/00 | 分類號： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 石家莊國為知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 13120 | 代理人： | 彭競馳 |
| 地址： | 050051 *** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 多線 trl 校準(zhǔn) 制備 方法 | ||
本發(fā)明提供一種多線TRL校準(zhǔn)件的制備方法及多線TRL校準(zhǔn)件。該方法包括：多線TRL校準(zhǔn)件包括一個(gè)直通、與直通的橫截面相同且不同長度的多個(gè)傳輸線以及反射，方法包括：根據(jù)襯底參數(shù)和金屬參數(shù)，得到傳輸線橫截面尺寸；根據(jù)傳輸線橫截面尺寸，確定多個(gè)不同長度的傳輸線以及確定開路的橫截面尺寸或者短路的橫截面尺寸；進(jìn)行半導(dǎo)體工藝加工，得到校準(zhǔn)件；對校準(zhǔn)件中的直通、傳輸線和反射進(jìn)行參數(shù)標(biāo)定，得到多線TRL校準(zhǔn)件。本發(fā)明能夠解決了目前國內(nèi)沒有多線TRL校準(zhǔn)件的制備方式導(dǎo)致缺乏多線TRL校準(zhǔn)件的問題。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及晶原級半導(dǎo)體器件微波特性測量技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種多線TRL校準(zhǔn)件的制備方法及多線TRL校準(zhǔn)件。
背景技術(shù)
在對被測芯片測量前，需對在片S參數(shù)測量系統(tǒng)進(jìn)行校準(zhǔn)，常見的校準(zhǔn)方法有傳輸線-反射-反射-匹配(Line-Re-flect-Reflect-Match，LRRM)校準(zhǔn)件、開路-短路-負(fù)載-直通(Short-Open-Load-Thru，SOLT)校準(zhǔn)件和直通-反射-傳輸線(Thru-Reflect-Line，TRL)校準(zhǔn)件等，配合國外生產(chǎn)廠商提供的校準(zhǔn)件使用。在片S參數(shù)的測量準(zhǔn)確度取決于其使用的校準(zhǔn)方法和校準(zhǔn)件。
隨著在片S參數(shù)測量需求的增加，商用在片多線TRL校準(zhǔn)件的用量也隨之增加，而目前商用在片多線TRL校準(zhǔn)件主要是進(jìn)口，國內(nèi)尚無在片多線TRL校準(zhǔn)件的制備方式，導(dǎo)致缺乏多線TRL校準(zhǔn)件。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實(shí)施例提供了一種多線TRL校準(zhǔn)件的制備方法及多線TRL校準(zhǔn)件，以解決目前沒有多線TRL校準(zhǔn)件制備方法的問題。
第一方面，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種多線TRL校準(zhǔn)件的制備方法，包括：
多線TRL校準(zhǔn)件包括一個(gè)直通、與所述直通的橫截面相同且不同長度的多個(gè)傳輸線以及反射，所述反射包括兩個(gè)開路或者兩個(gè)短路，所述多線TRL校準(zhǔn)件的制備方法包括：
獲取襯底參數(shù)和所述襯底上設(shè)置的金屬的參數(shù)，根據(jù)所述襯底參數(shù)和所述金屬參數(shù)，得到傳輸線橫截面尺寸，所述襯底參數(shù)包括襯底厚度和襯底介電常數(shù)，所述金屬參數(shù)包括金屬的電導(dǎo)率和金屬厚度；
根據(jù)所述傳輸線橫截面尺寸，確定多個(gè)不同長度的傳輸線；
根據(jù)所述傳輸線橫截面尺寸，確定開路的橫截面尺寸或者短路的橫截面尺寸；
根據(jù)所述多個(gè)不同長度的傳輸線、所述開路的橫截面尺寸或者所述短路的橫截面尺寸進(jìn)行半導(dǎo)體工藝加工，得到校準(zhǔn)件；
對所述校準(zhǔn)件中的直通、傳輸線和反射進(jìn)行參數(shù)標(biāo)定，得到多線TRL校準(zhǔn)件。
在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，每個(gè)開路或者每個(gè)短路中的兩片金屬尺寸完全一致；
所述根據(jù)所述傳輸線橫截面尺寸，確定開路或者短路，包括：
將所述傳輸線的寬度，確定為所述開路或者所述短路的寬度，將所述傳輸線的長度確定為所述開路或者所述短路的長度；
根據(jù)所述開路或者所述短路的寬度，確定構(gòu)成所述開路或者所述短路的兩片金屬之間的距離。
在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，對所述校準(zhǔn)件中的直通的參數(shù)標(biāo)定方式與傳輸線的參數(shù)標(biāo)定方式相同；
對所述校準(zhǔn)件中的傳輸線進(jìn)行參數(shù)標(biāo)定，包括：
獲取所述傳輸線的長度；
根據(jù)確定所述傳輸線的相速；
其中，vp表示所述傳輸線的相速，l表示所述傳輸線的長度，εeff表示有效介電常數(shù)，c表示光在真空中的傳播速度。
在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，對所述校準(zhǔn)件中的反射進(jìn)行參數(shù)標(biāo)定，包括：
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