[發明專利]異常制品數據分析方法及系統

在審

• 申請號: 202111273125.8
• 申請日: 2021-10-29
• 公開（公告）號: CN113935652A
• 公開（公告）日: 2022-01-14
• 發明（設計）人: 林聰;徐瑩;周維
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G06Q10/06
• 分類號: G06Q10/06;G06Q10/10;G06Q50/04
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 周耀君

1.一種異常制品數據分析方法，其特征在于，包括：

步驟一：根據不同的定義規則設定不同的異常制品組，每個異常制品組包括若干異常批次，每個異常批次包括若干異常晶圓；

步驟二：設定不同的生產數據，包括所述異常制品組的異常類型、所述異常制品組的中各個異常批次的批次號、工藝站點編號、所述異常晶圓的片號以及對應所述片號的異常晶圓的異常原因；

步驟三：將所述異常制品組需要監控及分析的生產數據劃三種類型，包括良率數據、在線量測數據和電性數據，其中，每種生產數據類型包括工藝流程中所有在線量測數據，所有電性測試項目數據和所有良率測試項目數據；

步驟四：通過數據鏈接的方式將所述異常制品組中的生產數據按照所述步驟三的數據類型顯示；

步驟五：根據某正常批次的晶圓得到一基準制品組，獲取基準制品組的生產數據的中值和生產數據的標準偏差；計算分析異常制品組的生產數據的中值和生產數據的標準偏差，并與基準制品組相比較。

2.根據權利要求1所述的異常制品數據分析方法，其特征在于，所述異常品制品數據分析方法還包括：通過對比圖顯示所述步驟五中的基準制品組的生產數據和異常制品組的生產數據。

3.根據權利要求2所述的異常制品數據分析方法，其特征在于，所述對比圖的橫軸表示異常晶圓的片號以及正常批次的晶圓的片號，縱軸表示異常制品組的生產數據和基準制品組的生產數據。

4.根據權利要求1所述的異常制品數據分析方法，其特征在于，所述異常品數據分析方法還包括：設定一顯示界面，用于輸入記錄所述步驟二中的異常類型、批次號、工藝站點編號、片號以及異常原因。

5.根據權利要求1所述的異常制品數據分析方法，其特征在于，所述步驟五中，采用如下方式計算異常制品組的生產數據的中值偏移和生產數據的標準差偏移；

生產數據的中值偏移＝(異常制品組的生產數據中值－基準制品組的生產數據的中值)/基準制品組的生產數據的標準偏差；

生產數據的標準偏差偏移＝(異常制品組的生產數據的標準偏差－基準制品組的生產數據的標準偏差)/基準制品組的生產數據的標準偏差。

6.一種異常制品數據分析系統，其特征在于，包括：

異常定義模塊，其用于根據不同的定義規則設定不同的異常制品組，每個異常制品組包括若干異常批次，每個異常批次包括若干異常晶圓；

數據設定模塊，其用于設定不同的生產數據，包括所述異常制品組的異常類型、所述異常制品組的中各個異常批次的批次號、工藝站點編號、所述異常晶圓的片號以及對應所述片號的異常晶圓的異常原因；

數據劃分模塊，其用于將所述異常制品組需要監控及分析的生產數據劃三種類型，包括良率數據、在線量測數據和電性數據，其中，每種生產數據類型包括工藝流程中所有在線量測數據，所有電性測試項目數據和所有良率測試項目數據；

鏈接顯示模塊，其用于通過數據鏈接的方式將所述異常制品組中的生產數據按照所述數據劃分模塊中的數據類型顯示；

計算分析模塊，其用于根據某正常批次的晶圓得到一基準制品組，獲取基準制品組的生產數據的中值和生產數據的標準偏差；計算分析異常制品組的生產數據的中值和生產數據的標準偏差，并與基準制品組相比較。

7.根據權利要求6所述的異常制品數據分析系統，其特征在于，所述異常制品數據分析系統還包括對比顯示模塊，其用于通過對比圖顯示計算分析模塊中的基準制品組的生產數據和異常制品組的生產數據。

8.根據權利要求7所述的異常制品數據分析系統，其特征在于，所述對比圖的橫軸表示異常晶圓的片號以及正常批次的晶圓的片號，縱軸表示異常制品組的生產數據和基準制品組的生產數據。

9.根據權利要求6所述的異常制品數據分析系統，其特征在于，所述異常制品數據分析系統還包括數據輸入模塊，其用于設定一顯示界面，用于輸入記錄所述數據設定模塊中的異常類型、批次號、工藝站點編號、片號以及異常原因。

10.根據權利要求6所述的異常制品數據分析系統，所述計算分析模塊用于根據如下方式計算異常制品組的生產數據的中值偏移和生產數據的標準差偏移；

生產數據的中值偏移＝(異常制品組的生產數據中值－基準制品組的生產數據的中值)/基準制品組的生產數據的標準偏差；

生產數據的標準偏差偏移＝(異常制品組的生產數據的標準偏差－基準制品組的生產數據的標準偏差)/基準制品組的生產數據的標準偏差。