[發(fā)明專利]異常制品數(shù)據(jù)分析方法及系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111273125.8
• 申請日: 2021-10-29
• 公開（公告）號: CN113935652A
• 公開（公告）日: 2022-01-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 林聰;徐瑩;周維
• 申請（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G06Q10/06
• 分類號: G06Q10/06;G06Q10/10;G06Q50/04
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 周耀君

本發(fā)明提供的異常制品數(shù)據(jù)分析方法及系統(tǒng)中，可以根據(jù)不同的定義規(guī)則把各定義下對應(yīng)批次的批次號、片號等生產(chǎn)數(shù)據(jù)信息輸入或?qū)氲较到y(tǒng)中并記錄保存，選擇所需對比的參數(shù)，包括良率數(shù)據(jù)、在線量測數(shù)據(jù)和電性數(shù)據(jù)等，便可自動輸出數(shù)據(jù)對比的表格及圖表，便于后續(xù)對異常批次的追蹤及計算賠片損失。此外，相較于現(xiàn)有技術(shù)上，本發(fā)明的系統(tǒng)可以代替人力，處理循環(huán)數(shù)據(jù)，并可實現(xiàn)關(guān)鍵項目自動更新、自動比較，輸出數(shù)據(jù)對比圖表，為數(shù)據(jù)分析及匯總帶來極大的便利，并極大的減少了數(shù)據(jù)分析中存在的人為因素誤判。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種異常制品數(shù)據(jù)分析方法及系統(tǒng)。

背景技術(shù)

對于半導(dǎo)體生產(chǎn)制造企業(yè)來說，相關(guān)的生產(chǎn)數(shù)據(jù)屬于第一手資料，因為只有了解半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝線以及后續(xù)的成品晶圓(包括正常晶圓和異常晶圓)的相關(guān)生產(chǎn)數(shù)據(jù)，才能準(zhǔn)確控制半導(dǎo)體產(chǎn)品產(chǎn)量。特別的，對于異常制品，現(xiàn)有技術(shù)通常是需要針對不同異常內(nèi)容進行分組，然后針對分組數(shù)據(jù)進行數(shù)據(jù)分析及追溯，但是此種方式流程復(fù)雜，而且容易重復(fù)工作，耗費較大的人力和時間，并且在生產(chǎn)數(shù)據(jù)分析過程中，可能存在人為因素的分析誤差。

發(fā)明內(nèi)容

為解決如上及其他問題，基于本發(fā)明的一個方面，本發(fā)明提供一種異常制品數(shù)據(jù)分析方法，其包括：

步驟一：根據(jù)不同的定義規(guī)則設(shè)定不同的異常制品組，每個異常制品組包括若干異常批次，每個異常批次包括若干異常晶圓；

步驟二：設(shè)定不同的生產(chǎn)數(shù)據(jù)，包括所述異常制品組的異常類型、所述異常制品組的中各個異常批次的批次號、工藝站點編號、所述異常晶圓的片號以及對應(yīng)所述片號的異常晶圓的異常原因；

步驟三：將所述異常制品組需要監(jiān)控及分析的生產(chǎn)數(shù)據(jù)劃三種類型，包括良率數(shù)據(jù)、在線量測數(shù)據(jù)和電性數(shù)據(jù)，其中，每種生產(chǎn)數(shù)據(jù)類型包括工藝流程中所有在線量測數(shù)據(jù)，所有電性測試項目數(shù)據(jù)和所有良率測試項目數(shù)據(jù)；

步驟四：通過數(shù)據(jù)鏈接的方式將所述異常制品組中的生產(chǎn)數(shù)據(jù)按照所述步驟三的數(shù)據(jù)類型顯示；

步驟五：根據(jù)某正常批次的晶圓得到一基準(zhǔn)制品組，獲取基準(zhǔn)制品組的生產(chǎn)數(shù)據(jù)的中值和生產(chǎn)數(shù)據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)偏差；計算分析異常制品組的生產(chǎn)數(shù)據(jù)的中值和生產(chǎn)數(shù)據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)偏差，并與基準(zhǔn)制品組相比較。

可選的，所述異常品制品數(shù)據(jù)分析方法還包括：通過對比圖顯示所述步驟五中的基準(zhǔn)制品組的生產(chǎn)數(shù)據(jù)和異常制品組的生產(chǎn)數(shù)據(jù)。

可選的，所述對比圖的橫軸表示異常晶圓的片號以及正常批次的晶圓的片號，縱軸表示異常制品組的生產(chǎn)數(shù)據(jù)和基準(zhǔn)制品組的生產(chǎn)數(shù)據(jù)。

可選的，所述異常品數(shù)據(jù)分析方法還包括：設(shè)定一顯示界面，用于輸入記錄所述步驟二中的異常類型、批次號、工藝站點編號、片號以及異常原因。

可選的，所述步驟五中，采用如下方式計算異常制品組的生產(chǎn)數(shù)據(jù)的中值偏移和生產(chǎn)數(shù)據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)差偏移；

生產(chǎn)數(shù)據(jù)的中值偏移＝(異常制品組的生產(chǎn)數(shù)據(jù)中值－基準(zhǔn)制品組的生產(chǎn)數(shù)據(jù)的中值)/基準(zhǔn)制品組的生產(chǎn)數(shù)據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)偏差；

生產(chǎn)數(shù)據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)偏差偏移＝(異常制品組的生產(chǎn)數(shù)據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)偏差－基準(zhǔn)制品組的生產(chǎn)數(shù)據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)偏差)/基準(zhǔn)制品組的生產(chǎn)數(shù)據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)偏差。

基于本發(fā)明的另一個方面，本發(fā)明還提供一種異常制品數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)，其包括：

異常定義模塊，其用于根據(jù)不同的定義規(guī)則設(shè)定不同的異常制品組，每個異常制品組包括若干異常批次，每個異常批次包括若干異常晶圓；

數(shù)據(jù)設(shè)定模塊，其用于設(shè)定不同的生產(chǎn)數(shù)據(jù)，包括所述異常制品組的異常類型、所述異常制品組的中各個異常批次的批次號、工藝站點編號、所述異常晶圓的片號以及對應(yīng)所述片號的異常晶圓的異常原因；