[發(fā)明專利]傳感器組件及其制造方法、用于傳感器組件的殼體

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111268569.2
• 申請(qǐng)日: 2021-10-29
• 公開（公告）號(hào): CN114436204A
• 公開（公告）日: 2022-05-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: D·諾男馬謝;E·克羅納;F·京特;J·克勒策;J·弗里德爾;K-V·許特;L·邵丹;M·雷德勒;P·斯蒂勒;R·巴拉基;S·毛爾;Y·鄒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號(hào): B81B7/00
• 分類號(hào): B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00;G01D11/24
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 侯鳴慧

本發(fā)明公開一種傳感器組件，其至少包括：殼體；布置在殼體中的傳感元件以及保護(hù)結(jié)構(gòu)，其中，傳感元件探測(cè)物理輸入?yún)⒘壳覍⑵滢D(zhuǎn)變?yōu)殡妭鞲衅餍盘?hào)，其中，殼體具有殼體開口，該殼體開口允許周圍環(huán)境介質(zhì)與傳感元件的直接或間接地相互作用，其中，保護(hù)結(jié)構(gòu)具有多個(gè)接片和多個(gè)在所述接片之間形成的結(jié)構(gòu)開口，其中，多個(gè)接片相互連接，并且其中，保護(hù)結(jié)構(gòu)相對(duì)于殼體開口如此布置，使得保護(hù)結(jié)構(gòu)至少部分地限界殼體。此外本發(fā)明還涉及開一種用于這種傳感器組件的殼體以及用于制造這種傳感器組件的方法。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及傳感器組件、用于傳感器組件的殼體以及用于制造傳感器組件的方法。

背景技術(shù)

已知不同的傳感器，在這些傳感器中周圍環(huán)境介質(zhì)直接或間接地與傳感元件相互作用。通過與周圍環(huán)境介質(zhì)的相互作用可以由周圍環(huán)境介質(zhì)在傳感器上和/或在傳感元件上形成沉淀物。這可能導(dǎo)致傳感器的測(cè)量誤差、故障或完全失效。此外，與周圍環(huán)境介質(zhì)的接觸可以加速腐蝕或其它老化過程。

這種傳感器例如是壓力傳感器，其已經(jīng)在智能電話、智能手表和其它移動(dòng)設(shè)備中廣泛應(yīng)用，由此，新的應(yīng)用如在建筑物內(nèi)的導(dǎo)航或健身的跟蹤變得可行。在這些應(yīng)用中，例如通過濕氣、灰塵、污物或生物膜能夠在傳感器上或在傳感元件上形成沉淀物。

為了保護(hù)傳感元件免受損壞已知的是，將傳感元件嵌入到保護(hù)介質(zhì)，例如防護(hù)凝膠或油中。該保護(hù)介質(zhì)保護(hù)傳感元件尤其免受腐蝕并且(在壓力傳感器的情況下)將要測(cè)量的壓力傳輸給傳感元件。然而，防護(hù)凝膠的表面大多是容易粘附的，由此污物顆粒可以非常容易地積聚在其表面上。油作為保護(hù)介質(zhì)必須受保護(hù)以防流出。

由文獻(xiàn)JP-H02-012029A已知，設(shè)置用于對(duì)防護(hù)凝膠進(jìn)行保護(hù)的橡膠層。其它已知的傳感器利用聚合物膜，聚合物膜被安裝在防護(hù)凝膠上或上方。例如為此可參照文獻(xiàn)US2015/0219513 A1和US 2020/0031661 A1。這些解決方案的缺點(diǎn)是，在那里提出的保護(hù)結(jié)構(gòu)或者是良好導(dǎo)壓的、但不太抗斷裂(在膜的情況下)或者是抗斷裂的、但僅是有條件地導(dǎo)壓的(在橡膠層的情況下)。

由文獻(xiàn)US 2014/011081 A1已知用于微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)傳感器的殼體，在該殼體中，一種結(jié)構(gòu)阻止或至少降低防護(hù)凝膠的運(yùn)動(dòng)。根據(jù)一個(gè)構(gòu)型，該結(jié)構(gòu)可以由織物構(gòu)成，該織物浸入到防護(hù)凝膠中。為了保護(hù)凝膠免受污染，這些措施卻是僅有條件適合的。

發(fā)明內(nèi)容

在一個(gè)實(shí)施方式中，本發(fā)明提供一種傳感器組件，其至少包括殼體、布置在該殼體中的傳感元件以及保護(hù)結(jié)構(gòu)，其中，傳感元件探測(cè)物理輸入?yún)⒘坎⑵滢D(zhuǎn)變?yōu)殡妭鞲衅餍盘?hào)，其中，殼體具有殼體開口，該殼體開口允許周圍環(huán)境介質(zhì)與傳感元件的直接或間接地相互作用，其中，保護(hù)結(jié)構(gòu)具有多個(gè)接片和多個(gè)在各接片之間形成的結(jié)構(gòu)開口，其中，多個(gè)接片相互連接，并且其中，保護(hù)結(jié)構(gòu)相對(duì)于殼體開口如此布置，使得保護(hù)結(jié)構(gòu)至少部分地限界殼體。

在另一實(shí)施方式中，本發(fā)明提供用于傳感器組件的殼體，其包括殼體開口和保護(hù)結(jié)構(gòu)，其中，殼體包圍內(nèi)部區(qū)域，該內(nèi)部區(qū)域構(gòu)造為用于接收傳感元件，并且其中，保護(hù)結(jié)構(gòu)具有多個(gè)相互連接的接片和多個(gè)在各接片之間形成的結(jié)構(gòu)開口并且相對(duì)于殼體開口如此布置，使得保護(hù)結(jié)構(gòu)至少部分地限界殼體。

在又一實(shí)施方式中，本發(fā)明提供用于制造傳感器組件的方法，其至少包括：制造具有殼體開口和保護(hù)結(jié)構(gòu)的殼體，其中，保護(hù)結(jié)構(gòu)具有多個(gè)相互連接的接片和多個(gè)在各接片之間形成的結(jié)構(gòu)開口并且相對(duì)于殼體開口如此布置，使得保護(hù)結(jié)構(gòu)至少部分地限界殼體；以及將傳感元件裝入到在殼體中形成的內(nèi)部區(qū)域中。

在方法的一個(gè)實(shí)施方式中，以列舉的順序執(zhí)行各方法步驟。在方法的另一實(shí)施方式中，各步驟的順序相反。