[發明專利]傳感器組件及其制造方法、用于傳感器組件的殼體

在審

• 申請號: 202111268569.2
• 申請日: 2021-10-29
• 公開（公告）號: CN114436204A
• 公開（公告）日: 2022-05-06
• 發明（設計）人: D·諾男馬謝;E·克羅納;F·京特;J·克勒策;J·弗里德爾;K-V·許特;L·邵丹;M·雷德勒;P·斯蒂勒;R·巴拉基;S·毛爾;Y·鄒
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: B81B7/00
• 分類號: B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00;G01D11/24
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 侯鳴慧

1.一種傳感器組件，其至少包括：

殼體(4)，所述殼體施加在襯底(3)上；

在所述殼體(4)中布置在所述襯底(3)上的傳感元件(2)；和

保護結構(7)，其中，所述殼體(4)、所述襯底(3)和所述保護結構(7)限界內部區域(6)，所述傳感元件(2)布置在所述內部區域中，

其中，所述傳感元件(2)探測物理輸入參量并且將其轉變為電傳感器信號，

其中，所述殼體(4)具有殼體開口(5)，所述殼體開口允許周圍環境介質(19)與所述傳感元件(2)的直接或間接地相互作用，

其中，所述保護結構(7)具有多個接片(8)和在所述接片(8)之間形成的多個結構開口(9)，其中，所述多個接片(8)相互連接，并且其中，所述保護結構(7)相對于所述殼體開口(5)布置，使得所述保護結構(7)至少部分地限界所述殼體(4)，

其特征在于，所述保護結構(7)在所述殼體開口(5)上或所述殼體開口中與所述殼體(4)連接和/或構造為所述殼體(4)的一部分。

2.根據權利要求1所述的傳感器組件，其特征在于，在限界結構開口(9)的接片(8)之間形成膜(13)，其中，所述膜(13)優選空氣密封和/或液體密封地封閉所述結構開口(9)。

3.根據權利要求1或2所述的傳感器組件，其特征在于，所述膜(13)通過將反應或不反應的原材料(16)沉積在所述接片(8)上的沉積工藝制造。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的傳感器組件，其特征在于，

所述保護結構(7)形成網格結構；和/或

所述保護結構(7)一體地構造或構造為子結構的組合；和/或

所述保護結構通過注塑成型技術和/或通過激光切割制造。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的傳感器組件，其特征在于，所述保護結構(7)在所述殼體開口(5)上或所述殼體開口中與所述殼體(4)連接和/或構造為所述殼體(4)的一部分。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的傳感器組件，其特征在于，所述傳感元件(2)嵌入在保護介質(11)中，其中，所述保護介質(11)至少部分地填充所述殼體(4)的內部區域(6)，并且其中，所述保護介質(11)優選通過凝膠或油構成。

7.根據權利要求6所述的傳感器組件，其特征在于，在所述保護結構(7)中構造填充開口(15)，通過該填充開口能夠將所述保護介質(11)填充到所述內部區域(6)中，其中，所述填充開口(15)優選具有多個結構開口(9)的尺寸、優選地至少四個、完全優選地至少六個結構開口(9)的尺寸。

8.根據權利要求6或7所述的傳感器組件，其特征在于，在所述殼體(4)的內部中構造優選環繞的阻止棱邊(17)，其中，在所述阻止棱邊上構造有凹進部(18)，其中，所述阻止棱邊(17)構造為用于阻止所述保護介質(11)沿著殼體壁流過所述阻止棱邊(17)，并且其中，所述阻止棱邊(17)優選指向所述殼體開口(5)的方向和/或優選構造為銳角。

9.根據權利要求1至8中任一項所述的傳感器組件，其特征在于，所述多個結構開口(9)中的大量結構開口形成方形、矩形、六邊形、扇形和/或圓環部段。

10.根據權利要求1至9中任一項所述的傳感器組件，其特征在于，所述保護結構(7)具有小于或等于200μm、優選地小于或等于100μm、特別優選地小于或等于50μm的最大厚度和/或大于或等于10μm、優選地大于或等于20μm的最小厚度。

11.根據權利要求1至10中任一項所述的傳感器組件，其特征在于，限界一結構開口(9)的接片(8)允許小于500μm、優選地小于300μm、完全特別優選地小于250μm和/或大于50μm、優選地大于100μm、特別優選地大于200μm的開口。