[發(fā)明專(zhuān)利]波導(dǎo)模式激勵(lì)結(jié)構(gòu)、方法及其應(yīng)用

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111265586.0
• 申請(qǐng)日: 2021-10-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114050407B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-09-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳鵬;袁斌;喻忠軍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院空天信息創(chuàng)新研究院;廣東大灣區(qū)空天信息研究院
• 主分類(lèi)號(hào): H01Q1/38
• 分類(lèi)號(hào): H01Q1/38;H01Q21/00;H01P7/10
• 代理公司: 中科專(zhuān)利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 樊曉

1.一種波導(dǎo)模式激勵(lì)結(jié)構(gòu)，包括：

第一金屬層、介質(zhì)層和第二金屬層，其中，貫穿介質(zhì)層形成有過(guò)孔；

其中，第一金屬層包括平面?zhèn)鬏斁€(xiàn)、短路末端，其中，所述短路末端形成于所述平面?zhèn)鬏斁€(xiàn)的第一側(cè)，所述平面?zhèn)鬏斁€(xiàn)的第二側(cè)與所述平面?zhèn)鬏斁€(xiàn)的第一側(cè)相對(duì)應(yīng)，位于所述第一金屬層的邊緣；

介質(zhì)層位于所述第一金屬層上側(cè)；

第二金屬層位于所述介質(zhì)層上側(cè)，包括耦合窗口，所述耦合窗口的內(nèi)側(cè)邊緣靠近所述短路末端；

其中，所述耦合窗口內(nèi)部包括U形膜片和緊耦合枝節(jié)陣列，所述U形膜片的開(kāi)口側(cè)朝向所述平面?zhèn)鬏斁€(xiàn)，所述緊耦合枝節(jié)陣列位于所述U形膜片的開(kāi)口側(cè)，所述緊耦合枝節(jié)陣列與所述U形膜片不接觸；

其中，所述緊耦合枝節(jié)陣列包括多個(gè)緊耦合枝節(jié)，所述緊耦合枝節(jié)的長(zhǎng)邊方向以相同的距離錯(cuò)開(kāi)；以及

所述多個(gè)緊耦合枝節(jié)的個(gè)數(shù)大于等于3，且所述緊耦合枝節(jié)陣列關(guān)于所述平面?zhèn)鬏斁€(xiàn)左右對(duì)稱(chēng)；

短路過(guò)孔，所述短路過(guò)孔貫穿所述介質(zhì)層，與所述U形膜片的未開(kāi)口側(cè)接觸，且位于所述平面?zhèn)鬏斁€(xiàn)的中心軸延長(zhǎng)線(xiàn)上，所述短路過(guò)孔為金屬化過(guò)孔。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波導(dǎo)模式激勵(lì)結(jié)構(gòu)，其中，所述U形膜片與所述耦合窗口整體貼合，且關(guān)于所述平面?zhèn)鬏斁€(xiàn)左右對(duì)稱(chēng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波導(dǎo)模式激勵(lì)結(jié)構(gòu)，還包括波導(dǎo)，其中，所述耦合窗口的尺寸與所述波導(dǎo)的尺寸相同，所述波導(dǎo)與所述耦合窗口垂直端接。

4.一種波導(dǎo)模式激勵(lì)結(jié)構(gòu)的制備方法，包括：

在介質(zhì)層的兩側(cè)分別形成第一金屬層和第二金屬層，其中，貫穿介質(zhì)層形成有過(guò)孔；

在所述第一金屬層上形成平面?zhèn)鬏斁€(xiàn)，以及位于所述平面?zhèn)鬏斁€(xiàn)的第一側(cè)的短路末端，其中，所述短路末端形成于所述平面?zhèn)鬏斁€(xiàn)的第一側(cè)，所述平面?zhèn)鬏斁€(xiàn)的第二側(cè)與所述平面?zhèn)鬏斁€(xiàn)的第一側(cè)相對(duì)應(yīng)，位于所述第一金屬層的邊緣；

在所述第二金屬層上形成耦合窗口，以使所述耦合窗口的內(nèi)側(cè)邊緣靠近所述短路末端；

在所述耦合窗口內(nèi)形成U形膜片和緊耦合枝節(jié)陣列，以使所述U形膜片的開(kāi)口側(cè)朝向所述平面?zhèn)鬏斁€(xiàn)，所述緊耦合枝節(jié)陣列位于所述U形膜片的開(kāi)口側(cè)，所述緊耦合枝節(jié)陣列與所述U形膜片不接觸；

其中，在所述耦合窗口內(nèi)形成所述緊耦合枝節(jié)陣列，包括：

形成多個(gè)緊耦合枝節(jié)，所述多個(gè)緊耦合枝節(jié)沿著所述緊耦合枝節(jié)的長(zhǎng)邊方向以相同的距離錯(cuò)開(kāi)；以及

形成的所述多個(gè)緊耦合枝節(jié)個(gè)數(shù)大于等于3，且所述緊耦合枝節(jié)陣列關(guān)于所述平面?zhèn)鬏斁€(xiàn)左右對(duì)稱(chēng)；

貫穿所述介質(zhì)層形成有短路過(guò)孔，以使所述短路過(guò)孔與所述U形膜片的未開(kāi)口側(cè)接觸，且位于所述平面?zhèn)鬏斁€(xiàn)的中心軸延長(zhǎng)線(xiàn)上；以及對(duì)所述短路過(guò)孔進(jìn)行金屬化，形成金屬化短路過(guò)孔。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制備方法，其中，在所述耦合窗口內(nèi)形成所述U形膜片，以使所述U形膜片與所述耦合窗口整體貼合，且關(guān)于所述平面?zhèn)鬏斁€(xiàn)左右對(duì)稱(chēng)。

6.一種波導(dǎo)模式激勵(lì)器件，包括采用如權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的波導(dǎo)模式激勵(lì)結(jié)構(gòu)的集成器件。