[發明專利]一種ALD設備用下裝濾芯式二次過濾器

有效

• 申請號: 202111259256.0
• 申請日: 2021-10-28
• 公開（公告）號: CN113856343B
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發明（設計）人: 楊永遠;李陽;李萬朋;段世飛;李博;李巖;尹嘉琦;孔奕人;高暢
• 申請（專利權）人: 連城凱克斯科技有限公司
• 主分類號: B01D46/24
• 分類號: B01D46/24;B01D46/88;B01D46/62
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1.一種ALD設備用下裝濾芯式二次過濾器，其特征在于：包括復濾濾芯(1)，所述復濾濾芯(1)下端套接有密封圈(2)，所述密封圈(2)下端卡接有支架(3)，所述支架(3)外部固定有壓板(4)，所述壓板(4)內部卡接有端蓋(5)，所述復濾濾芯(1)外部設置有過濾罐體(6)，所述過濾罐體(6)頂端貫通連接有進氣管(9)，所述支架(3)一側貫通連接有角閥(7)，所述角閥(7)下端貫通連接有真空泵(8)；

所述復濾濾芯(1)頂端規定有安裝架(11)，所述安裝架(11)內部轉動連接有支撐環(10)，所述支撐環(10)外部固定有連接座(12)，所述連接座(12)頂端固定有限位柱(15)，所述限位柱(15)內部滑動連接有滑動塊(14)，所述滑動塊(14)遠離安裝架(11)的一端固定有頂升桿(16)，所述頂升桿(16)遠離滑動塊(14)的一端固定有卡接塊(17)，所述滑動塊(14)頂端轉動連接有伸縮桿(13)，所述伸縮桿(13)遠離滑動塊(14)的一端與安裝架(11)轉動連接，所述連接座(12)外部設置有限位環(18)，所述限位環(18)與過濾罐體(6)固定連接；

所述伸縮桿(13)共有四個并陣列分布在安裝架(11)的外部，所述限位環(18)內部開設有四個卡槽，該卡槽的形狀大小與卡接塊(17)的形狀大小相匹配；

所述卡接塊(17)內部固定有卡接彈簧(19)，所述卡接彈簧(19)兩側均固定有緊固塊(20)，所述緊固塊(20)與卡接塊(17)滑動連接，所述緊固塊(20)外部經過倒圓角處理；

所述復濾濾芯(1)底端設置有測壓組件，所述測壓組件包括測壓殼體(28)，所述測壓殼體(28)兩側均滑動連接有測壓塞(29)，所述測壓殼體(28)內部固定有檢測殼體(32)，所述檢測殼體(32)內部的兩側均滑動連接有檢測塞(33)，兩個所述檢測塞(33)之間固定有檢測柱(34)，所述檢測柱(34)外部固定有檢測點(35)，所述檢測點(35)外部滑動連接有變阻器(36)；

所述測壓殼體(28)頂端開設有通孔，所述測壓塞(29)頂端固定有延長桿(30)，所述延長桿(30)與該通孔貫通連接，所述延長桿(30)頂端固定有限位板(31)，所述通孔的直徑小于測壓塞(29)與限位板(31)的直徑；

復濾濾芯（1）內外部的氣壓都會對測壓塞（29）施加一個壓力，從而推動著測壓塞（29）在測壓殼體（28）內滑動，在復濾濾芯（1）過濾效果良好時，其兩側的壓力差不會過大，而測壓塞（29）與檢測殼體（32）內的壓強為恒壓，從而此時的檢測塞（33）會在壓力差的作用下，帶動著檢測柱（34）向著壓強小的方向滑動，即向著復濾濾芯（1）中心的方向滑動，檢測柱（34）滑動從而帶動檢測點（35）在變阻器（36）上運動，檢測點（35）運動從而改變了變阻器（36）在電路內阻值的變化，從而有效的監測出復濾濾芯（1）內外兩側的壓力差，通過對壓力差的判斷便可有效的推斷出復濾濾芯（1）的過濾情況，如此便可有效的對復濾濾芯（1）的狀態進行實時的監控，并且通過多個機構對檢測殼體（32）進行隱藏，減少其運行過程中對過濾產生的影響。

2.根據權利要求1所述的一種ALD設備用下裝濾芯式二次過濾器，其特征在于：所述緊固塊(20)靠近頂升桿(16)的一側固定有橡膠墊(21)，所述橡膠墊(21)靠近頂升桿(16)的一側表面開設有多個通槽。

3.根據權利要求1所述的一種ALD設備用下裝濾芯式二次過濾器，其特征在于：所述變阻器(36)的一側固定有警報觸點(37)，所述檢測殼體(32)在安裝時應保證警報觸點(37)的安裝位置處于靠近復濾濾芯(1)中心的一側。

4.根據權利要求1所述的一種ALD設備用下裝濾芯式二次過濾器，其特征在于：所述支架(3)底端固定有緊固殼體(22)，所述緊固殼體(22)內部滑動連接有彈性氣囊(23)，所述彈性氣囊(23)底端貫通連接有進氣閥(25)，所述進氣閥(25)兩側均設置有傳動板(26)，所述傳動板(26)底端滑動連接有連接柱(27)，所述連接柱(27)與緊固殼體(22)貫通連接。

5.根據權利要求4所述的一種ALD設備用下裝濾芯式二次過濾器，其特征在于：所述進氣閥(25)頂端固定有活性炭棒(24)，且活性炭棒(24)距離彈性氣囊(23)頂端的距離小于壓板(4)的最大收縮距離。