[發明專利]一種ALD設備用下裝濾芯式二次過濾器

有效

• 申請號: 202111259256.0
• 申請日: 2021-10-28
• 公開（公告）號: CN113856343B
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發明（設計）人: 楊永遠;李陽;李萬朋;段世飛;李博;李巖;尹嘉琦;孔奕人;高暢
• 申請（專利權）人: 連城凱克斯科技有限公司
• 主分類號: B01D46/24
• 分類號: B01D46/24;B01D46/88;B01D46/62
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本發明屬于ALD鍍膜設備技術領域，具體的說是一種ALD設備用下裝濾芯式二次過濾器，包括復濾濾芯，所述復濾濾芯下端套接有密封圈，所述密封圈下端卡接有支架，所述支架外部固定有壓板，所述壓板內部卡接有端蓋，所述復濾濾芯外部設置有過濾罐體，所述過濾罐體頂端貫通連接有進氣管，所述支架一側貫通連接有角閥，所述角閥下端貫通連接有真空泵；本發明通過將濾芯旋轉卡在過濾罐體上，再通過端蓋將支架和濾芯壓緊，使密封圈貼合，保證端面密封，這樣真空泵開啟時，氣體經過一次過濾后，帶剩余粉塵進入下裝濾芯式二次過濾器，去除大部分粉塵，再經過角閥，進入真空泵，保護了真空泵的穩定運行，節省了安裝空間，達到二次過濾的效果。

技術領域

本發明屬于ALD鍍膜設備技術領域，具體的說是一種ALD設備用下裝濾芯式二次過濾器。

背景技術

ALD設備即原子層沉積鍍膜設備，其可以在金屬的表面鍍覆一層單層原子厚度的薄膜，鍍膜的精度十分的高，是十分先進的納米級表面處理技術，目前ALD設備已經廣泛的應用在了半導體集成電路領域。

現有ALD設備的過濾器濾芯主要采用水平方式和由上而下安裝濾芯的方式，一級過率不能完全過濾粉塵，容易造成真空泵卡死，而增加二級過濾在管路上，保持水平和由上而下安裝濾芯的方式都需要很大空間，管路相對彎頭很多，造成設備占用空間大，要求更換濾芯空間也比較大，而且這兩種安裝方式對于清理過濾罐體內的沉積粉塵不是很方便。

為此，本發明提供一種ALD設備用下裝濾芯式二次過濾器。

發明內容

為了彌補現有技術的不足，解決背景技術中所提出的至少一個技術問題。

本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：本發明所述的一種ALD設備用下裝濾芯式二次過濾器，包括復濾濾芯，所述復濾濾芯下端套接有密封圈，所述密封圈下端卡接有支架，所述支架外部固定有壓板，所述壓板內部卡接有端蓋，所述復濾濾芯外部設置有過濾罐體，所述過濾罐體頂端貫通連接有進氣管，所述支架一側貫通連接有角閥，所述角閥下端貫通連接有真空泵；工作時，將復濾濾芯卡接在過濾罐體上，隨后再將支架卡接在復濾濾芯的底部，再通過端蓋將支架與復濾濾芯壓緊，使得密封圈貼合，隨后再通過壓板將端蓋壓緊固定，從而保證了端面的密封，如此便完成了濾芯的安裝，在需要更換濾芯的時候，松開壓板，打開端蓋，分別將支架與復濾濾芯旋轉取下，從而實現了快速安裝與快速拆卸更換的效果，同時通過下裝的方式也節省了安裝空間，而在真空泵開啟時，氣體經過一次過濾后，經過進氣管帶著剩余的粉塵進入到下裝濾芯式二次過濾器，此時氣體率先進入過濾罐體內，隨后經過復濾濾芯復濾掉氣體中的剩余粉塵后，凈化后的氣體進入到支架內，再經由支架經過角閥進入到真空泵內，從而達到了可二次過濾去除氣體中的粉塵，防止真空泵被卡死，達到了提高真空泵運行穩定性的效果，而在需要更換復濾濾芯時，此時僅需要關掉角閥即可，無需停泵便可以更換濾芯。

優選的，所述復濾濾芯頂端規定有安裝架，所述安裝架內部轉動連接有支撐環，所述支撐環外部固定有連接座，所述連接座頂端固定有限位柱，所述限位柱內部滑動連接有滑動塊，所述滑動塊遠離安裝架的一端固定有頂升桿，所述頂升桿遠離滑動塊的一端固定有卡接塊，所述滑動塊頂端轉動連接有伸縮桿，所述伸縮桿遠離滑動塊的一端與安裝架轉動連接，所述連接座外部設置有限位環，所述限位環與過濾罐體固定連接；工作時，將復濾濾芯推入至過濾罐體的內部，隨后手動轉動安裝架，安裝架在轉動后便會同時拉動伸縮桿進行轉動，而此時的連接座并不會隨之進行轉動，從而這時的伸縮桿會推動著滑動塊運動，在安裝時員工應該逆時針進行轉動，這時的伸縮桿會推動滑動塊在限位柱內向著遠離安裝架的方向滑動，滑動塊滑動從而推動頂升桿滑動，頂升桿運動進而帶動卡接塊運動，直至卡接塊與限位環相接觸，這樣便可在拆卸的過程中，復濾濾芯不會掉落，只要分別將它們旋轉取下來就可以了，簡單方便，且安裝過程也并不繁瑣，從而達到了便于安裝拆卸的效果，進一步的提高了實用性。