[發(fā)明專利]一種多兼容性的晶圓載具上料站、上料裝置及檢測(cè)方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111246252.9
• 申請(qǐng)日: 2021-10-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113990784A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-01-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉恩龍;張菊;董懷寶;張加峰;張賢龍;曹潔;中島隆志;川辺哲也;楊琦;武一鳴;馬剛;董陽(yáng);李瑩瑩;樂(lè)佳浩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海廣川科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/677
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/677;H01L21/67;G01R31/28
• 代理公司: 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 馬盼;吳世華

1.一種多兼容性的晶圓載具上料站，能夠兼容M種尺寸的晶圓載具；M為大于2的整數(shù)；其特征在于，包括載具安裝板，以及位于載具安裝板上的載具前擋板、2M-1個(gè)發(fā)射端傳感器、2M-1個(gè)接收端傳感器和M個(gè)后基準(zhǔn)塊；

所述載具前擋板位于所述載具安裝板的正前方，用于固定晶圓載具的前方位置，所述載具前擋板包含M個(gè)卡槽；

所述發(fā)射端傳感器包括基準(zhǔn)發(fā)射端傳感器和側(cè)邊發(fā)射端傳感器，所述基準(zhǔn)發(fā)射端傳感器位于載具安裝板的前端中央，所述側(cè)邊發(fā)射端傳感器對(duì)稱分布在所述基準(zhǔn)發(fā)射端傳感器的兩側(cè)；所述載具安裝板的上方固定接收端傳感器，所述接收端傳感器與發(fā)射端傳感器在連線方向上一一對(duì)應(yīng)；

所述M個(gè)后基準(zhǔn)塊位于所述載具安裝板的正后方，分別用于固定對(duì)應(yīng)晶圓載具的后方位置，且M個(gè)后基準(zhǔn)塊距離載具前擋板的距離均不相同。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多兼容性的晶圓載具上料站，其特征在于，所述載具前擋板包括左側(cè)前擋板和右側(cè)前擋板，且左側(cè)前擋板和右側(cè)前擋板中均包含M個(gè)與不同尺寸的晶圓載具一一對(duì)應(yīng)的卡槽。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多兼容性的晶圓載具上料站，其特征在于，所述發(fā)射端傳感器固定在發(fā)射端傳感器調(diào)整塊上，通過(guò)改變所述發(fā)射端傳感器調(diào)整塊的位置實(shí)現(xiàn)對(duì)所述發(fā)射端傳感器的位置調(diào)整。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多兼容性的晶圓載具上料站，其特征在于，還包括M個(gè)左側(cè)固定塊和M個(gè)右側(cè)固定塊，所述M個(gè)左側(cè)固定塊分別用于固定M個(gè)晶圓載具的左側(cè)；所述M個(gè)右側(cè)固定塊分別用于固定M個(gè)晶圓載具的右側(cè)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多兼容性的晶圓載具上料站，其特征在于，還包括M個(gè)在位檢測(cè)傳感器，所述M個(gè)在位檢測(cè)傳感器按照前后順序固定在載具安裝板上，并與M個(gè)晶圓載具的末端位置一一對(duì)應(yīng)，分別用于檢測(cè)M個(gè)晶圓載具的在位狀態(tài)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多兼容性的晶圓載具上料站，其特征在于，所述M個(gè)晶圓載具中晶圓的前端位置在豎直方向上齊平；距離基準(zhǔn)發(fā)射端傳感器相同距離的兩個(gè)側(cè)邊發(fā)射端傳感器形成一個(gè)突出檢測(cè)對(duì)，每個(gè)突出檢測(cè)針對(duì)一個(gè)晶圓載具中的晶圓進(jìn)行突出檢測(cè)；假設(shè)每個(gè)突出檢測(cè)對(duì)中兩個(gè)側(cè)邊發(fā)射端傳感器的連線方向?yàn)榈谝环较?，第二方向垂直于第一方向且位于在該突出檢測(cè)對(duì)所在的平面內(nèi)；所述每個(gè)突出檢測(cè)對(duì)中的兩個(gè)側(cè)邊發(fā)射端傳感器在第二方向上距離對(duì)應(yīng)晶圓的距離小于距離閾值。

7.一種多兼容性的晶圓上料裝置，其特征在于，包括至少一個(gè)權(quán)利要求1-5中任一所述的晶圓載具上料站，還包括基座單元，所述基座單元包括底座板和安裝基板，所述安裝基本通過(guò)支柱固定在所述底座板上方，所述底座板上固定至少一個(gè)晶圓載具上料站。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種多兼容性的晶圓上料裝置，其特征在于，所述晶圓載具上料站中的接收端傳感器位于突出檢測(cè)板上，所述突出檢測(cè)板通過(guò)支柱固定在載具安裝板的正上方。

9.一種采用權(quán)利要求6中任一項(xiàng)晶圓載具上料站進(jìn)行突出檢測(cè)的方法，其特征在于，當(dāng)晶圓載具中晶圓的校準(zhǔn)標(biāo)識(shí)為Notch時(shí)，通過(guò)基準(zhǔn)發(fā)射端傳感器以及成對(duì)使用的接收端傳感器實(shí)現(xiàn)對(duì)應(yīng)晶圓載具中晶圓的突出檢測(cè)功能。

10.一種采用權(quán)利要求6中任一項(xiàng)晶圓載具上料站進(jìn)行突出檢測(cè)的方法，其特征在于，當(dāng)晶圓載具中晶圓的校準(zhǔn)標(biāo)識(shí)為Flat時(shí)，通過(guò)位于基準(zhǔn)發(fā)射端傳感器兩側(cè)與該晶圓載具對(duì)應(yīng)的側(cè)邊發(fā)射端傳感器以及成對(duì)使用的接收端傳感器來(lái)實(shí)現(xiàn)晶圓突出檢測(cè)的功能。