[發(fā)明專利]測(cè)試晶圓的探針卡

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111242497.4
• 申請(qǐng)日: 2021-10-25
• 公開（公告）號(hào): CN114487516A
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙浚秀
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 普羅-2000有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/073
• 分類號(hào): G01R1/073
• 代理公司: 北京市隆安律師事務(wù)所 11323
• 代理人: 權(quán)鮮枝

公開了一種用于測(cè)試晶圓的探針卡。所述探針卡包括基板和塊，所述塊包括絕緣部和設(shè)置在所述絕緣部上的導(dǎo)電部。其中所述絕緣部包括通孔和與待測(cè)物體接觸的探針。所述導(dǎo)電部包括電連接至所述基板的觸點(diǎn)以及穿過所述通孔并將觸點(diǎn)電連接至探針的導(dǎo)電圖案。多個(gè)這樣的探針之間的間距小于多個(gè)這樣的觸點(diǎn)之間的間距。所述塊包括多個(gè)單位塊。所述多個(gè)單位塊每個(gè)包括所述絕緣部和所述導(dǎo)電部，并且所述單位塊的絕緣部的至少部分布置為彼此間隔開。

技術(shù)領(lǐng)域

實(shí)施例涉及用于測(cè)試晶圓的探針卡。

背景技術(shù)

探針卡是一種被配置為將處于封裝前的晶圓狀態(tài)的半導(dǎo)體芯片連接到測(cè)試設(shè)備的裝置。探針卡包括與晶圓物理接觸的多個(gè)探針。探針卡通過探針向晶圓發(fā)送電信號(hào)并接收返回的電信號(hào)。

隨著半導(dǎo)體器件的集成度的提高及其小型化的發(fā)展，晶圓的接觸焊盤的間距減小，并且探針卡也相應(yīng)地變得更小和小型化。探針之間的間隔被形成得非常小，從而適用于晶圓的精細(xì)間距。

因此，需要補(bǔ)償印刷電路板的觸點(diǎn)和探針的觸點(diǎn)之間的間隔差的塊。所述塊設(shè)置在探針與印刷電路板之間，并包括絕緣部和導(dǎo)電部。絕緣部確保用以補(bǔ)償印刷電路板的觸點(diǎn)與探針的觸點(diǎn)之間的間隔差的空間，導(dǎo)電部設(shè)置于絕緣部上并形成將印刷電路板的觸點(diǎn)電連接到探針的觸點(diǎn)的路徑。

所述塊通常包括通過使用堆積方法堆疊多個(gè)陶瓷片而形成的多層陶瓷結(jié)構(gòu)。導(dǎo)電部或絕緣部設(shè)置在每一層上，并且陶瓷片堆疊使得導(dǎo)電部和絕緣部錯(cuò)位并且交替布置。

然而，所述塊存在制造工藝復(fù)雜、制造時(shí)間長和成本高、及由其導(dǎo)致的生產(chǎn)率低等問題。此外，當(dāng)所述塊部分損壞或有缺陷部分時(shí)，需要更換整個(gè)塊，因此成本增加。

發(fā)明內(nèi)容

[技術(shù)問題]

本發(fā)明的目的在于提供一種制作工藝簡(jiǎn)單且可部分更換以降低成本的探針卡。

本發(fā)明的方面不限于上述方面，并且本領(lǐng)域技術(shù)人員將從以下說明中理解本發(fā)明的其他未陳述方面。

[技術(shù)方案]

根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供了一種用于測(cè)試晶圓的探針卡。所述探針卡包括基板和塊，所述塊包括絕緣部和設(shè)置在該絕緣部上的導(dǎo)電部。其中所述絕緣部包括通孔和與待測(cè)物體接觸的探針。所述導(dǎo)電部包括電連接至所述基板的觸點(diǎn)以及穿過所述通孔并將所述觸點(diǎn)電連接至所述探針的導(dǎo)電圖案。多個(gè)這樣的探針之間的間距小于多個(gè)這樣的觸點(diǎn)之間的間距。所述塊包括多個(gè)單位塊。所述多個(gè)單位塊每個(gè)包括所述絕緣部和所述導(dǎo)電部，并且所述單位塊的絕緣部的至少部分被布置為彼此間隔開。

在所述塊中，具有條形的所述單位塊可以在第一方向上以一定間隔布置。

所述單位塊可以包括主體和在所述第一方向上從所述主體分叉的多個(gè)延伸部，并且所述探針可以設(shè)置在所述主體和所述多個(gè)延伸部上。

設(shè)置在所述主體上的所述多個(gè)探針可以被布置在不同于所述第一方向的第二方向上，并且設(shè)置在所述延伸部上的所述多個(gè)探針可以被布置在所述第一方向上。

所述多個(gè)單位塊可以具有相同的形狀。

所述塊的單位塊可以包括第一單位塊和第二單位塊。多個(gè)這樣的第一單位塊可以在第一方向上以一定間隔布置。多個(gè)這樣的第二單位塊可以在與所述第一方向不同的第二方向上以一定間隔布置。此外，所述第一單位塊和所述第二單位塊可以被布置為彼此交叉。

所述第一單位塊和所述第二單位塊可以設(shè)置為使得交叉區(qū)域在垂直方向上彼此重疊。

所述第一單位塊可以包括第一凹槽。所述第二單位塊可以包括第二凹槽。其中所述第一單位塊和所述第二單位塊可以設(shè)置為彼此交叉匹配，使得所述第一凹槽與所述第二凹槽接合。