[發明專利]測試晶圓的探針卡

在審

• 申請號: 202111242497.4
• 申請日: 2021-10-25
• 公開（公告）號: CN114487516A
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發明（設計）人: 趙浚秀
• 申請（專利權）人: 普羅-2000有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 北京市隆安律師事務所 11323
• 代理人: 權鮮枝

1.一種用于測試晶圓的探針卡，所述探針卡包括：

基板；和

塊，所述塊包括絕緣部和設置在所述絕緣部上的導電部，

其中所述絕緣部包括通孔和與待測物體接觸的探針，

其中所述導電部包括電連接至所述基板的觸點和穿過所述通孔并將所述觸點電連接至所述探針的導電圖案，

其中多個這樣的探針之間的間距小于多個這樣的觸點之間的間距，

其中所述塊包括多個單位塊，并且

其中所述多個單位塊每個包括所述絕緣部和所述導電部，并且所述單位塊的絕緣部的至少部分布置為彼此間隔開。

2.根據權利要求1所述的探針卡，其中在所述塊中，具有條形的所述單位塊在第一方向上以一定間隔布置。

3.根據權利要求2所述的探針卡，其中所述單位塊包括主體和在所述第一方向上從所述主體分叉的多個延伸部，并且

其中所述探針設置于所述主體和所述多個延伸部上。

4.根據權利要求3所述的探針卡，其中布置在所述主體上的所述多個探針被布置在不同于所述第一方向的第二方向上，并且

其中布置在所述延伸部上的所述多個探針被布置在所述第一方向上。

5.根據權利要求2所述的探針卡，其中所述多個單位塊具有相同的形狀。

6.根據權利要求1所述的探針卡，其中所述塊的單位塊包括第一單位塊和第二單位塊，

其中多個這樣的第一單位塊在第一方向上以一定間隔布置，

其中多個這樣的第二單位塊在不同于所述第一方向的第二方向上以一定間隔布置，并且

其中所述第一單位塊和所述第二單位塊布置成彼此相交。

7.根據權利要求6所述的探針卡，其中所述第一單位塊和所述第二單位塊布置為使得交叉區域在垂直方向上彼此重疊。

8.根據權利要求6所述的探針卡，其中所述第一單位塊包括第一凹槽，

其中所述第二單位塊包括第二凹槽，并且

其中所述第一單位塊和所述第二單位塊布置成彼此交叉匹配，使得所述第一凹槽與所述第二凹槽接合。

9.根據權利要求6所述的探針卡，其中布置在所述第一單位塊上的所述多個探針被布置在不同于所述第一方向的第二方向上，并且

其中布置在所述第二單位塊上的所述多個探針被布置在所述第一方向上。

10.根據權利要求1所述的探針卡，其中所述單位塊包括第一表面和第二表面，所述探針和一些所述導電圖案被布置在所述第一表面上，并且所述第二表面與所述第一表面相鄰，以及

其中所述探針的端部被設置為比所述第二表面更突出。