[發明專利]基板載具檢測裝置和基板載具檢測方法在審
| 申請號： | 202111241269.5 | 申請日： | 2021-10-25 |
| 公開（公告）號： | CN113960449A | 公開（公告）日： | 2022-01-21 |
| 發明（設計）人： | 孫少東;袁廣才;閆俊偉;張國才;董士豪;王成飛 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/28 | 分類號： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112 | 代理人： | 魏艷新;姜春咸 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基板載具 檢測 裝置 方法 | ||
本公開提供了一種基板載具檢測裝置和基板載具檢測方法。所述基板載具檢測裝置，包括：承載架，用于承載待檢測的基板載具；設置在承載架上的驅動機構，驅動機構位于基板載具至少一側，驅動機構包括第一驅動組件和第二驅動組件，第二驅動組件設置在第一驅動組件上，第一驅動組件用于驅動第二驅動組件沿第一方向運動；設置于第二驅動組件上的至少一個檢測探頭，檢測探頭用于在第二驅動組件的驅動下沿第二方向運動，并用于確定檢測探頭的檢測端與基板載具之間的距離參數，第二方向和第一方向交叉。
技術領域
本公開涉及電化學沉積領域，具體涉及一種基板載具檢測裝置和基板載具檢測方法。
背景技術
基板載具用于承載玻璃基板生長導電層，其制作精度對設備的自動化運行效率及產品產能、產品良率都有著非常重要的影響。
發明內容
本公開實施例提供一種基板載具檢測裝置和基板載具檢測方法。
第一方面，本公開提供一種基板載具檢測裝置，包括：
承載架，用于承載待檢測的基板載具；
設置在承載架上的驅動機構，驅動機構位于基板載具至少一側，驅動機構包括第一驅動組件和第二驅動組件，第二驅動組件設置在第一驅動組件上，第一驅動組件用于驅動第二驅動組件沿第一方向運動；
設置于第二驅動組件上的至少一個檢測探頭，檢測探頭用于在第二驅動組件的驅動下沿第二方向運動，并用于確定檢測探頭的檢測端與基板載具之間的距離參數，第二方向和第一方向交叉。
在一些實施例中，裝置還包括：第一導軌，第一導軌設置于第一驅動組件沿第二方向的至少一側，并沿第一方向延伸；
其中，第二驅動組件滑動設置在第一導軌上。
在一些實施例中，第二驅動組件包括：安裝部、第二旋轉型電機、第二絲杠和套設在第二絲杠上的第二螺母，
安裝部設置在第一驅動組件上，第二旋轉型電機設置在安裝部上；
第二旋轉型電機與第二絲杠連接，用于驅動第二絲杠繞自身軸線旋轉；
至少一個檢測探頭固定設置于第二螺母上。
在一些實施例中，裝置還包括：設置在安裝部上的第二導軌，
第二導軌設置于第二驅動組件沿第一方向的至少一側，并沿第二方向延伸；
其中，第二螺母滑動設置在第二導軌上。
在一些實施例中，第一驅動組件包括：第一旋轉型電機、第一絲杠和套設在第一絲杠上的第一螺母；
第一旋轉型電機與第一絲杠連接，用于驅動第一絲杠繞自身軸線旋轉；
其中，第二驅動組件設置在第一螺母上。
在一些實施例中，第一驅動組件包括直線型電機，
直線型電機包括定子軌道和動子滑塊，定子軌道沿第一方向延伸，動子滑塊用于沿定子軌道運動；
第二驅動組件設置在動子滑塊上。
在一些實施例中，檢測探頭包括：
激光測距儀和/或千分表。
在一些實施例中，裝置還包括：控制器，控制器與至少一個檢測探頭連接，用于控制檢測探頭的開啟或關閉；
在一些實施例中，裝置還包括：處理器，處理器用于根據每個檢測探頭的距離參數，確定基板載具的平面度。
第二方面，本公開提供了一種基板載具檢測方法，應用于上述基板載具檢測裝置，方法包括：
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于京東方科技集團股份有限公司，未經京東方科技集團股份有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202111241269.5/2.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
