[發(fā)明專利]基板載具檢測(cè)裝置和基板載具檢測(cè)方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111241269.5
• 申請(qǐng)日: 2021-10-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113960449A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-01-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫少東;袁廣才;閆俊偉;張國(guó)才;董士豪;王成飛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號(hào): G01R31/28
• 分類號(hào): G01R31/28
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 魏艷新;姜春咸

1.一種基板載具檢測(cè)裝置，其特征在于，包括：

承載架，用于承載待檢測(cè)的基板載具；

設(shè)置在所述承載架上的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)位于所述基板載具至少一側(cè)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第一驅(qū)動(dòng)組件和第二驅(qū)動(dòng)組件，所述第二驅(qū)動(dòng)組件設(shè)置在所述第一驅(qū)動(dòng)組件上，所述第一驅(qū)動(dòng)組件用于驅(qū)動(dòng)所述第二驅(qū)動(dòng)組件沿第一方向運(yùn)動(dòng)；

設(shè)置于所述第二驅(qū)動(dòng)組件上的至少一個(gè)檢測(cè)探頭，所述檢測(cè)探頭用于在所述第二驅(qū)動(dòng)組件的驅(qū)動(dòng)下沿第二方向運(yùn)動(dòng)，并用于確定所述檢測(cè)探頭的檢測(cè)端與所述基板載具之間的距離參數(shù)，所述第二方向和所述第一方向交叉。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板載具檢測(cè)裝置，其特征在于，所述裝置還包括：第一導(dǎo)軌，所述第一導(dǎo)軌設(shè)置于所述第一驅(qū)動(dòng)組件沿所述第二方向的至少一側(cè)，并沿所述第一方向延伸；

其中，所述第二驅(qū)動(dòng)組件滑動(dòng)設(shè)置在所述第一導(dǎo)軌上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板載具檢測(cè)裝置，其特征在于，所述第二驅(qū)動(dòng)組件包括：安裝部、第二旋轉(zhuǎn)型電機(jī)、第二絲杠和套設(shè)在所述第二絲杠上的第二螺母，

所述安裝部設(shè)置在所述第一驅(qū)動(dòng)組件上，所述第二旋轉(zhuǎn)型電機(jī)設(shè)置在所述安裝部上；

所述第二旋轉(zhuǎn)型電機(jī)與所述第二絲杠連接，用于驅(qū)動(dòng)所述第二絲杠繞自身軸線旋轉(zhuǎn)；

所述至少一個(gè)檢測(cè)探頭固定設(shè)置于所述第二螺母上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板載具檢測(cè)裝置，其特征在于，所述裝置還包括：設(shè)置在所述安裝部上的第二導(dǎo)軌，

所述第二導(dǎo)軌設(shè)置于所述第二驅(qū)動(dòng)組件沿所述第一方向的至少一側(cè)，并沿所述第二方向延伸；

其中，所述第二螺母滑動(dòng)設(shè)置在所述第二導(dǎo)軌上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任意一項(xiàng)所述的基板載具檢測(cè)裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)組件包括：第一旋轉(zhuǎn)型電機(jī)、第一絲杠和套設(shè)在所述第一絲杠上的第一螺母；

所述第一旋轉(zhuǎn)型電機(jī)與所述第一絲杠連接，用于驅(qū)動(dòng)所述第一絲杠繞自身軸線旋轉(zhuǎn)；

其中，所述第二驅(qū)動(dòng)組件設(shè)置在所述第一螺母上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任意一項(xiàng)所述的基板載具檢測(cè)裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)組件包括直線型電機(jī)，

所述直線型電機(jī)包括定子軌道和動(dòng)子滑塊，所述定子軌道沿所述第一方向延伸，所述動(dòng)子滑塊用于沿所述定子軌道運(yùn)動(dòng)；

所述第二驅(qū)動(dòng)組件設(shè)置在所述動(dòng)子滑塊上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任意一項(xiàng)所述的基板載具檢測(cè)裝置，其特征在于，所述檢測(cè)探頭包括：

激光測(cè)距儀和/或千分表。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任意一項(xiàng)所述的基板載具檢測(cè)裝置，其特征在于，所述裝置還包括：控制器，所述控制器與所述至少一個(gè)檢測(cè)探頭連接，用于控制所述檢測(cè)探頭的開(kāi)啟或關(guān)閉。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任意一項(xiàng)所述的基板載具檢測(cè)裝置，其特征在于，所述裝置還包括：處理器，所述處理器用于根據(jù)每個(gè)所述檢測(cè)探頭的所述距離參數(shù)，確定所述基板載具的平面度。

10.一種基板載具檢測(cè)方法，應(yīng)用于權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的基板載具檢測(cè)裝置，其特征在于，所述方法包括：

所述第二驅(qū)動(dòng)組件在所述第一驅(qū)動(dòng)組件的驅(qū)動(dòng)下，沿第一方向運(yùn)動(dòng)；

所述檢測(cè)探頭在所述第二驅(qū)動(dòng)組件的驅(qū)動(dòng)下，沿第二方向運(yùn)動(dòng)，并確定所述檢測(cè)探頭的檢測(cè)端與所述基板載具之間的距離參數(shù)，所述第二方向與所述第一方向交叉；

根據(jù)所述檢測(cè)探頭所檢測(cè)到的所述距離參數(shù)，確定所述基板載具的平面度。