[發明專利]一種電容式指紋識別芯片大板FT測試系統及測試方法

在審

• 申請號: 202111238564.5
• 申請日: 2021-10-25
• 公開（公告）號: CN114019352A
• 公開（公告）日: 2022-02-08
• 發明（設計）人: 蒙紹敏;李兵;程亞宇
• 申請（專利權）人: 深圳貝特萊電子科技股份有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 深圳礫智知識產權代理事務所(普通合伙) 44722
• 代理人: 翁治林

本發明公開了一種電容式指紋識別芯片大板FT測試系統及測試方法，涉及半導體器件FT測試技術領域，解決了現有電容式指紋識別芯片的FT測試存在測試效率與準確性低的技術問題。該測試系統包括芯片大板、自動測試設備以及PC主機；芯片大板固定在自動測試設備上，用于放置n個待測芯片，自動測試設備與PC主機通信連接，自動測試設備連接有m個測試板，m個測試板均與PC主機相連；在PC主機的控制下，m個測試板一次與n中的m個待測芯片連接，并對連接的待測芯片進行分時測試。另外，本發明還提供了一種電容式指紋識別芯片大板FT測試方法。本發明不僅提升了FT測試系統的測試速度，還提高FT測試系統的穩定性和準確性。

技術領域

本發明涉及半導體器件FT測試技術領域，尤其涉及一種電容式指紋識別芯片大板FT測試系統及測試方法。

背景技術

在半導體行業中，芯片在進入市場前一般需經過CP（Chip Probing）測試和FT（Functional Test）測試。CP測試是在晶圓流片完成后進行部分重要性能測試；FT測試是芯片從晶圓封裝完成后，對芯片性能和功能質量進行測試，并將功能異常或者性能未達到設計標準的芯片篩選出來。電容式指紋芯片在采集指紋圖像時會產生激勵方波，當該方波被干擾時，采集到的指紋圖像會有條紋干擾甚至圖像錯亂。一片電容式指紋識別芯片大板（下文統稱芯片大板）上面有幾十甚至上百顆指紋芯片。

目前電容式指紋識別芯片的FT測試一般使用的方法有兩種：第一種是，自動測試設備機臺上有單顆測試座，只能進行一顆指紋芯片功能測試，這種測試方法穩定性較高，但是設備測試座從一顆指紋芯片移動到下一顆指紋芯片的過程中需要時間，因此整體測試時間比較長；第二種是，自動測試設備機臺上有多顆測試座，可同時進行多顆指紋芯片功能測試，但是在多顆指紋芯片同時工作時，產生的激勵方波會相互干擾，同時工作的指紋芯片數量越多，干擾越嚴重，導致采集到的指紋圖像質量不穩定，PC主機會對指紋芯片測試結果誤判，將良好的芯片測試判定為fail，浪費良品芯片，增加單顆良品芯片的成本價格。

發明內容

本發明的目的在于提供一種電容式指紋識別芯片大板FT測試系統及測試方法，以解決上述第一種FT測試方式存在的測試時間長、效率低的技術問題，以及第二種FT測試方式存在的因多個方波相互干擾而導致的測試準確性低的技術問題。本發明提供的諸多技術方案中的優選技術方案所能產生的諸多技術效果詳見下文闡述。

為實現上述目的，本發明提供了以下技術方案：

本發明提供的一種電容式指紋識別芯片大板FT測試系統，包括芯片大板、自動測試設備以及PC主機；所述芯片大板固定在所述自動測試設備上，用于放置n個待測芯片；所述自動測試設備與所述PC主機通信連接；所述自動測試設備連接有m個測試板，m個所述測試板均與所述PC主機相連；在所述PC主機的控制下，m個所述測試板一次與n中的m個所述待測芯片連接，并對連接的所述待測芯片進行分時測試。

進一步地，所述自動測試設備還包括多個測試座；m個所述測試板均與所述測試座固定連接，且每個所述測試板連接至少一個所述測試座；每個所述測試座能夠與一個所述待測芯片的引腳連接。

進一步地，所述自動測試設備還包括導電橡膠頭、第一運動機構以及第二運動機構；所述第一運動機構與所述導電橡膠頭固定連接，用于驅動所述導電橡膠頭上下移動，向下移動時所述導電橡膠頭能夠與所述待測芯片接觸；所述第二運動機構與所述芯片大板相連，用于驅動所述芯片大板上下移動或左右水平移動，向下移動時所述測試座能夠與所述待測芯片的引腳連接。

本發明還提供了一種電容式指紋識別芯片大板FT測試方法，通過上文所述的電容式指紋識別芯片大板FT測試系統進行如下測試：

S10、將m個所述測試板與n中的m個所述待測芯片進行連接；

S11、對與m個所述測試板連接的所述待測芯片進行開路與短路測試，將不存在開路或短路的所述待測芯片標識為合格；否則，將存在開路或短路的所述待測芯片標識為不合格；