[發(fā)明專利]一種用于檢測物體表面缺陷的光路結(jié)構(gòu)

在審

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• 申請日: 2021-10-20
• 公開（公告）號: CN113702394A
• 公開（公告）日: 2021-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 郭躍武;盧永斌
• 申請（專利權(quán)）人: 沂普光電（天津）有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G02B17/06
• 代理公司: 北京沁優(yōu)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11684
• 代理人: 郭衍飛

1.一種用于檢測物體表面缺陷的光路結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：發(fā)射裝置（1）、第一極化鏡（2）、第一反射鏡（3）、第二反射鏡（4）、第三反射鏡（5）、半透半反鏡（6）、第二極化鏡（7）、平面鏡（8）和接收裝置（9）；

所述發(fā)射裝置（1）發(fā)射多個不同波長的光線至所述第一極化鏡（2）上，形成一路平行光，經(jīng)過所述第一反射鏡（3），所述平行光方向偏轉(zhuǎn)，反射到所述半透半反鏡（6）上，所述平行光透過所述半透半反鏡（6）入射到所述第二反射鏡（4）上，經(jīng)過第二反射鏡（4）反射光線，從而照射到被測量物體（19）的表面；

所述被測量物體（19）表面的光線反射至所述第二反射鏡（4）上，通過所述第二反射鏡（4），再反射到所述半透半反鏡（6）上，所述半透半反鏡（6）反射光線至所述第三反射鏡（5）上，從而將光線發(fā)射至所述平面鏡（8）上，通過所述平面鏡（8）反射到所述第二極化鏡（7）上，使所述接收裝置（9）接收光線。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于檢測物體表面缺陷的光路結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述發(fā)射裝置（1）包括第一組發(fā)射器和第二組發(fā)射器；

所述第一組發(fā)射器和所述第二組發(fā)射器分別用于發(fā)射不同波長的光線；

所述第一組發(fā)射器和所述第二組發(fā)射器分別設(shè)在所述第一極化鏡（2）的兩個不同受光面；

所述接收裝置（9）包括第一組接收器和第二組接收器；

所述第一組接收器用于接收所述第一組發(fā)射器所發(fā)射出的光線，所述第二組接收器用于接收所述第二組發(fā)射器所發(fā)射出的光線；

所述第一組接收器和所述第二組接收器分別設(shè)在所述第二極化鏡（7）的兩個不同受光面。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于檢測物體表面缺陷的光路結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一組發(fā)射器和所述第二組發(fā)射器垂直設(shè)置；

所述第一組接收器和所述第二組接收器垂直設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于檢測物體表面缺陷的光路結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一組發(fā)射器包括第一發(fā)射器（10）以及與所述第一發(fā)射器（10）平行設(shè)置的第二發(fā)射器（11），所述第二組發(fā)射器包括第三發(fā)射器（12）以及與所述第三發(fā)射器（12）平行設(shè)置的第四發(fā)射器（13）；

所述第一組接收器包括第一接收器（14）以及與所述第一接收器（14）平行設(shè)置的第二接收器（15），所述第二組接收器包括第三接收器（16）以及與所述第三接收器（16）平行設(shè)置的第四接收器（17）。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于檢測物體表面缺陷的光路結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一發(fā)射器（10）的波段為110-170GHz；

所述第二發(fā)射器（11）的波段為140-220GHz；

所述第三發(fā)射器（12）的波段為220-330GHz；

所述第四發(fā)射器（13）的波段為330-500GHz。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于檢測物體表面缺陷的光路結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一反射鏡（3）、所述第二反射鏡（4）和所述第三反射鏡（5）的反射面均設(shè)置為內(nèi)凹的弧面結(jié)構(gòu)；

所述第一反射鏡（3）、所述第二反射鏡（4）和所述第三反射鏡（5）均用于對光線進行收斂和聚攏。