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[發明專利]用于磷烷砷烷劇毒氣體金屬離子的取樣系統及其取樣方法在審

專利信息
申請號: 202111211492.5 申請日: 2021-10-18
公開(公告)號: CN113970467A 公開(公告)日: 2022-01-25
發明(設計)人: 喬洋;朱顏;陳化冰;孫建;王陸平 申請(專利權)人: 蘇州南大光電材料有限公司;江蘇南大光電材料股份有限公司;全椒南大光電材料有限公司
主分類號: G01N1/28 分類號: G01N1/28;G01N27/62
代理公司: 北京云嘉湃富知識產權代理有限公司 11678 代理人: 鄭賽男
地址: 215000 江蘇*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 用于 磷烷砷烷 劇毒 氣體 金屬 離子 取樣 系統 及其 方法
【權利要求書】:

1.用于磷烷砷烷劇毒氣體金屬離子的取樣系統,其特征在于,該取樣裝置包括依次通過管道連接的氮氣置換吹掃裝置、吸收裝置以及帶顏色指示功能的尾氣處理裝置,并在管道上安裝調壓裝置、流量控制裝置和針閥,其中,

氮氣置換吹掃裝置用于置換出管道內的空氣;

調壓裝置用于調整管道內部的氣壓;

針閥用于控制管道的開關;

流量控制裝置用于控制氣體流動速度和氣體流量;

吸收裝置用于吸收毒氣中金屬離子;

尾氣處理裝置用于檢測吸收裝置處理后氣體中是否含有磷烷砷烷,并帶有指示功能。

2.根據權利要求1所述的用于磷烷砷烷劇毒氣體金屬離子的取樣系統,其特征在于:所述吸收裝置的數量為三組及以上,且多組吸收裝置相互串聯。

3.根據權利要求1所述的用于磷烷砷烷劇毒氣體金屬離子的取樣系統,其特征在于:所述取樣裝置還包括吸收液,所述吸收液包含但不限于高純稀硝酸,所述吸收液存放在吸收裝置中。

4.根據權利要求1所述的用于磷烷砷烷劇毒氣體金屬離子的取樣系統,其特征在于:所述取樣裝置設置于清潔柜中。

5.用于磷烷砷烷劇毒氣體金屬離子的取樣方法,其特征在于,采用權利要求1的取樣裝置,該取樣方法包括;

將毒氣通入到氮氣置換吹掃裝置,并由氮氣置換吹掃裝置將毒氣中的空氣置換出來;

再將置換后的毒氣送入到吸收裝置中,并由吸收裝置將毒氣中金屬離子吸收;

吸收裝置處理后的毒氣通入到尾氣處理裝置中,由尾氣處理裝置對吸收后氣體中的磷烷砷烷進行檢測。

6.根據權利要求5所述的用于磷烷砷烷劇毒氣體金屬離子的取樣方法,其特征在于:所述毒氣通入氮氣置換吹掃裝置時,流量控制裝置控制磷烷砷烷在10-100ml/min流速下通入到取樣裝置中。

7.根據權利要求5所述的用于磷烷砷烷劇毒氣體金屬離子的取樣方法,其特征在于:所述毒氣通入氮氣置換吹掃裝置時,調壓裝置控制磷烷砷烷通入的壓力在0-1atm范圍內。

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