[發(fā)明專(zhuān)利]一種半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111197240.1
• 申請(qǐng)日: 2021-10-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113635467B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-12-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 詹華貴
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 江蘇煜晶光電科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67;B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00
• 代理公司: 北京市領(lǐng)專(zhuān)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11590
• 代理人: 黃龍龍

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，且公開(kāi)了一種半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置，解決了半導(dǎo)體在切割過(guò)程中由于按壓不穩(wěn)而出現(xiàn)偏移，進(jìn)而造成半導(dǎo)體切割質(zhì)量低的問(wèn)題，其包括底座，所述底座的底端對(duì)稱(chēng)設(shè)有支撐柱，底座的頂端設(shè)有支撐架，支撐架的內(nèi)頂端設(shè)有切割機(jī)構(gòu)，底座的頂端設(shè)有位于切割機(jī)構(gòu)下方的支撐臺(tái)，支撐臺(tái)的頂端中間位置設(shè)有安裝座，安裝座的頂端設(shè)有操作臺(tái)，操作臺(tái)的頂端設(shè)有金屬放置板，安裝座的兩側(cè)對(duì)稱(chēng)設(shè)有滑板，滑板的底端一側(cè)等距離設(shè)有輪齒，滑板上均開(kāi)設(shè)有通槽；本發(fā)明采用對(duì)半導(dǎo)體不同方向的夾持固定，提高了半導(dǎo)體的切割穩(wěn)定性，可以避免半導(dǎo)體在切割過(guò)程中出現(xiàn)移位現(xiàn)象，進(jìn)而提高了半導(dǎo)體的切割質(zhì)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料，半導(dǎo)體在集成電路、消費(fèi)電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明應(yīng)用、大功率電源轉(zhuǎn)換等領(lǐng)域應(yīng)用，無(wú)論從科技或是經(jīng)濟(jì)發(fā)展的角度來(lái)看，半導(dǎo)體的重要性都是非常巨大的，今日大部分的電子產(chǎn)品，如計(jì)算機(jī)、移動(dòng)電話(huà)或是數(shù)字錄音機(jī)當(dāng)中的核心單元都和半導(dǎo)體有著極為密切的關(guān)聯(lián)，然而半導(dǎo)體在加工過(guò)程中通常需要對(duì)其進(jìn)行切割操作。

由于目前半導(dǎo)體在切割過(guò)程中很難對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行固定，易使半導(dǎo)體在切割時(shí)發(fā)生偏移，造成半導(dǎo)體的切割不穩(wěn)而造成其切割質(zhì)量較低。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)上述情況，為克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置，有效的解決了上述背景技術(shù)中半導(dǎo)體在切割過(guò)程中由于按壓不穩(wěn)而出現(xiàn)偏移，進(jìn)而造成半導(dǎo)體切割質(zhì)量低的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置，包括底座，所述底座的底端對(duì)稱(chēng)設(shè)有支撐柱，底座的頂端設(shè)有支撐架，支撐架的內(nèi)頂端設(shè)有切割機(jī)構(gòu)，底座的頂端設(shè)有位于切割機(jī)構(gòu)下方的支撐臺(tái)，支撐臺(tái)的頂端中間位置設(shè)有安裝座，安裝座的頂端設(shè)有操作臺(tái)，操作臺(tái)的頂端設(shè)有金屬放置板，安裝座的兩側(cè)對(duì)稱(chēng)設(shè)有滑板，滑板的底端一側(cè)等距離設(shè)有輪齒，滑板上均開(kāi)設(shè)有通槽，安裝座的兩側(cè)對(duì)稱(chēng)連接有穿插于通槽內(nèi)部的插桿，兩個(gè)滑板的頂端均設(shè)有移動(dòng)筒，移動(dòng)筒的內(nèi)部彈性穿插有位于金屬放置板兩側(cè)的夾持桿，兩個(gè)滑板之間通過(guò)夾持機(jī)構(gòu)連接，支撐臺(tái)的內(nèi)部設(shè)有吸附機(jī)構(gòu)；

夾持機(jī)構(gòu)包括電機(jī)一、旋轉(zhuǎn)軸一、旋轉(zhuǎn)軸二、旋轉(zhuǎn)軸三、齒輪一、齒輪二、齒輪三、皮帶輪一、皮帶輪二和傳送皮帶，電機(jī)一安裝于支撐臺(tái)的一側(cè)，旋轉(zhuǎn)軸一安裝于支撐臺(tái)的另一側(cè)，旋轉(zhuǎn)軸二與電機(jī)一的輸出軸連接，且旋轉(zhuǎn)軸二的一端位于旋轉(zhuǎn)軸一的一側(cè)，旋轉(zhuǎn)軸一和旋轉(zhuǎn)軸二相遠(yuǎn)離一側(cè)均設(shè)有與支撐臺(tái)外壁連接的旋轉(zhuǎn)軸三，旋轉(zhuǎn)軸二上連接有齒輪一，旋轉(zhuǎn)軸一上設(shè)有與齒輪一嚙合連接的齒輪二，旋轉(zhuǎn)軸一和旋轉(zhuǎn)軸二上均套設(shè)有皮帶輪一，兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸三上均設(shè)有與輪齒嚙合連接的齒輪三和位于齒輪三一側(cè)的皮帶輪二，相鄰兩個(gè)皮帶輪一與皮帶輪二之間均通過(guò)傳送皮帶連接。

優(yōu)選的，所述支撐臺(tái)的一側(cè)設(shè)有安裝板，滑板上均開(kāi)設(shè)有與安裝板滑動(dòng)連接的凹槽二。

優(yōu)選的，所述操作臺(tái)的兩側(cè)中間位置均開(kāi)設(shè)有套設(shè)于移動(dòng)筒外部的凹槽一，夾持桿為T(mén)形結(jié)構(gòu)，且?jiàn)A持桿的底端與移動(dòng)筒的內(nèi)底端之間通過(guò)彈簧一連接。

優(yōu)選的，所述金屬放置板為同心圓結(jié)構(gòu)，操作臺(tái)的頂端開(kāi)設(shè)有位于金屬放置板中心位置的通氣孔，支撐臺(tái)的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有容納槽，安裝座的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有與容納槽和通氣孔相連通的連通槽。

優(yōu)選的，所述吸附機(jī)構(gòu)包括齒輪四、齒板、活塞板、穩(wěn)定件一、固定桿和活動(dòng)槽，旋轉(zhuǎn)軸二上連接有位于容納槽內(nèi)部的齒輪四，連通槽的內(nèi)部活動(dòng)連接有活塞板，活塞板的底端一側(cè)設(shè)有與齒輪四嚙合連接的齒板，齒板的內(nèi)底端開(kāi)設(shè)有活動(dòng)槽，活動(dòng)槽的內(nèi)部穿插有與容納槽內(nèi)底端連接的固定桿，活塞板的底端另一側(cè)設(shè)有與容納槽內(nèi)底端連接的穩(wěn)定件一。