[發明專利]一種半導體生產裝置

有效

• 申請號: 202111197240.1
• 申請日: 2021-10-14
• 公開（公告）號: CN113635467B
• 公開（公告）日: 2021-12-10
• 發明（設計）人: 詹華貴
• 申請（專利權）人: 江蘇煜晶光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00
• 代理公司: 北京市領專知識產權代理有限公司 11590
• 代理人: 黃龍龍

1.一種半導體生產裝置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的底端對稱設有支撐柱（2），底座（1）的頂端設有支撐架（3），支撐架（3）的內頂端設有切割機構（4），底座（1）的頂端設有位于切割機構（4）下方的支撐臺（5），支撐臺（5）的頂端中間位置設有安裝座（6），安裝座（6）的頂端設有操作臺（7），操作臺（7）的頂端設有金屬放置板（8），安裝座（6）的兩側對稱設有滑板（12），滑板（12）的底端一側等距離設有輪齒（17），滑板（12）上均開設有通槽（11），安裝座（6）的兩側對稱連接有穿插于通槽（11）內部的插桿（10），兩個滑板（12）的頂端均設有移動筒（13），移動筒（13）的內部彈性穿插有位于金屬放置板（8）兩側的夾持桿（14），兩個滑板（12）之間通過夾持機構（15）連接，支撐臺（5）的內部設有吸附機構（16）；

夾持機構（15）包括電機一（20）、旋轉軸一（21）、旋轉軸二（22）、旋轉軸三（23）、齒輪一（24）、齒輪二（25）、齒輪三（26）、皮帶輪一（27）、皮帶輪二（28）和傳送皮帶（29），電機一（20）安裝于支撐臺（5）的一側，旋轉軸一（21）安裝于支撐臺（5）的另一側，旋轉軸二（22）與電機一（20）的輸出軸連接，且旋轉軸二（22）的一端位于旋轉軸一（21）的一側，旋轉軸一（21）和旋轉軸二（22）相遠離一側均設有與支撐臺（5）外壁連接的旋轉軸三（23），旋轉軸二（22）上連接有齒輪一（24），旋轉軸一（21）上設有與齒輪一（24）嚙合連接的齒輪二（25），旋轉軸一（21）和旋轉軸二（22）上均套設有皮帶輪一（27），兩個旋轉軸三（23）上均設有與輪齒（17）嚙合連接的齒輪三（26）和位于齒輪三（26）一側的皮帶輪二（28），相鄰兩個皮帶輪一（27）與皮帶輪二（28）之間均通過傳送皮帶（29）連接。

2.根據權利要求1所述的一種半導體生產裝置，其特征在于：所述支撐臺（5）的一側設有安裝板（19），滑板（12）上均開設有與安裝板（19）滑動連接的凹槽二（18）。

3.根據權利要求1所述的一種半導體生產裝置，其特征在于：所述操作臺（7）的兩側中間位置均開設有套設于移動筒（13）外部的凹槽一（9），夾持桿（14）為T形結構，且夾持桿（14）的底端與移動筒（13）的內底端之間通過彈簧一連接。

4.根據權利要求3所述的一種半導體生產裝置，其特征在于：所述金屬放置板（8）為同心圓結構，操作臺（7）的頂端開設有位于金屬放置板（8）中心位置的通氣孔（30），支撐臺（5）的內部開設有容納槽（31），安裝座（6）的內部開設有與容納槽（31）和通氣孔（30）相連通的連通槽（32）。

5.根據權利要求4所述的一種半導體生產裝置，其特征在于：所述吸附機構（16）包括齒輪四（33）、齒板（34）、活塞板（35）、穩定件一（36）、固定桿（37）和活動槽（38），旋轉軸二（22）上連接有位于容納槽（31）內部的齒輪四（33），連通槽（32）的內部活動連接有活塞板（35），活塞板（35）的底端一側設有與齒輪四（33）嚙合連接的齒板（34），齒板（34）的內底端開設有活動槽（38），活動槽（38）的內部穿插有與容納槽（31）內底端連接的固定桿（37），活塞板（35）的底端另一側設有與容納槽（31）內底端連接的穩定件一（36）。