[發明專利]柔性折疊X射線探測器及其制備方法

在審

• 申請號: 202111188593.5
• 申請日: 2021-10-12
• 公開（公告）號: CN114038866A
• 公開（公告）日: 2022-02-11
• 發明（設計）人: 史思罡;楊炯燦;孫建軍;金利波;羅宏德
• 申請（專利權）人: 上海奕瑞光電子科技股份有限公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146;G01N23/04
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 盧炳瓊

1.一種柔性折疊X射線探測器的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

提供襯底；

于所述襯底上形成柔性基底層；

于所述柔性基底層上形成柔性感光陣列層，所述柔性感光陣列層包括電連接的光電二極管及薄膜晶體管；

于所述柔性感光陣列層上形成閃爍體層，所述閃爍體層中具有顯露所述柔性感光陣列層的溝槽；

形成覆蓋所述閃爍體層及溝槽的柔性封裝層；

將部分所述柔性基底層與所述襯底進行剝離；

基于所述溝槽，進行折疊，并將X射線濾過層置于所述柔性封裝層內，形成位于所述襯底上的探測器堆疊結構；

去除顯露的所述襯底，形成所述柔性折疊X射線探測器。

2.根據權利要求1所述的柔性折疊X射線探測器的制備方法，其特征在于：所述溝槽的數目包括2個-5個，且根據所述溝槽的數目進行對應的折疊操作。

3.根據權利要求1所述的柔性折疊X射線探測器的制備方法，其特征在于：所述溝槽在所述感光陣列層上形成的投影區中未設置所述光電二極管及薄膜晶體管。

4.根據權利要求1所述的柔性折疊X射線探測器的制備方法，其特征在于：形成所述閃爍體層的方法包括鍍膜法或貼合法。

5.根據權利要求1所述的柔性折疊X射線探測器的制備方法，其特征在于：位于所述溝槽兩側的所述閃爍體層具有相同或不同材質。

6.根據權利要求1所述的柔性折疊X射線探測器的制備方法，其特征在于：所述X射線濾過層包括鎢金屬X射線濾過層。

7.根據權利要求1所述的柔性折疊X射線探測器的制備方法，其特征在于：所述柔性基底層包括PI柔性基底層，且剝離所述柔性基底層與所述襯底的方法包括激光剝離法。

8.一種柔性折疊X射線探測器，其特征在于，所述柔性折疊X射線探測器包括：

襯底；

探測器堆疊結構，所述探測器堆疊結構位于所述襯底上且具有側面開口，其中，所述探測器堆疊結構包括自外向內堆疊設置的U型柔性基底層、U型柔性感光陣列層及U型柔性封裝層，所述U型柔性感光陣列層包括電連接的光電二極管及薄膜晶體管，所述U型柔性基底層與所述U型柔性感光陣列層相接觸，所述U型柔性封裝層的底部與所述U型柔性感光陣列層的底部相接觸，且所述U型柔性封裝層內填充有X射線濾過層，所述U型柔性封裝層及U型柔性感光陣列層之間填充有閃爍體層。

9.根據權利要求8所述的柔性折疊X射線探測器，其特征在于：所述閃爍體層的層數包括2層-5層。

10.根據權利要求8所述的柔性折疊X射線探測器，其特征在于：與所述側面開口對應的所述U型柔性感光陣列層的底部未設置所述光電二極管及薄膜晶體管。