[發明專利]一種真空鍍膜機的旋轉載片裝置

在審

• 申請號: 202111184455.X
• 申請日: 2021-10-12
• 公開（公告）號: CN113943931A
• 公開（公告）日: 2022-01-18
• 發明（設計）人: 黃鵬飛;楊濤
• 申請（專利權）人: 江蘇晉譽達半導體股份有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/30;C23C14/14
• 代理公司: 蘇州金項專利代理事務所(普通合伙) 32456
• 代理人: 金星

1.一種真空鍍膜機的旋轉載片裝置，包括上腔體和轉動安裝于上腔體的自轉架，所述自轉架上設置有至少兩圈用于固定基片的固定槽，所述上腔體上設置有驅動自轉架旋轉的旋轉動力裝置，所述固定槽包括同心設置的若干個內圈固定槽和若干個外圈固定槽，其特征在于：所述自轉架包括球面狀的架體，所述架體的球心與真空鍍膜機的靶材位置重合，所述架體的頂部中心設置有連接法蘭，所述旋轉動力裝置的動力端與連接法蘭可拆卸連接，所述上腔體上設置有尺寸大于自轉架直徑的換片口，所述換片口上可拆卸固定有換片門，所述上腔體上設置有遮擋部分內圈固定槽和部分外圈固定槽的遮擋裝置，該遮擋裝置遮擋外圈固定槽的面積大于遮擋內圈固定槽的面積。

2.如權利要求1所述的一種真空鍍膜機的旋轉載片裝置，其特征在于：所述連接法蘭包括筒體和設置于筒體上的下連接法蘭部和上連接法蘭部，所述架體的旋轉中心處設置有插入孔，所述筒體由上而下插入所述插入孔內且下連接法蘭與架體螺栓固定，所述旋轉動力裝置的動力端上設置有掛桿，所述上連接法蘭與所述掛桿可拆卸連接。

3.如權利要求2所述的一種真空鍍膜機的旋轉載片裝置，其特征在于：所述掛桿包括連接桿部和設置于連接桿部下部的第一鉤掛桿部和第二鉤掛桿部，第一鉤掛桿部和第二鉤掛桿部之間的間距大于上連接法蘭的間距，所述第一鉤掛桿部和第二鉤掛桿部的下部分別設置有第一掛鉤部和第二掛鉤部，所述上連接法蘭放置于第一掛鉤部和第二掛鉤部上且通過壓板螺栓固定。

4.如權利要求3所述的一種真空鍍膜機的旋轉載片裝置，其特征在于：所述第一掛鉤部和第二掛鉤部的上表面設置有方便上連接法蘭放置的定位凹槽。

5.如權利要求1所述的一種真空鍍膜機的旋轉載片裝置，其特征在于：所述遮擋裝置包括若干個固定于上腔體上的支座，每個支座上均擺動安裝有擺桿，所述擺桿上固定有用于遮擋片，所述遮擋片徑向延伸，遮擋片上具有用于遮擋外圈固定槽的外遮擋部和用于內圈固定槽的內遮擋部，外遮擋部的面積大于內遮擋部的面積，所述擺桿由偏擺動力裝置驅動偏擺。

6.如權利要求5所述的一種真空鍍膜機的旋轉載片裝置，其特征在于：所述偏擺動力裝置包括豎直安裝于上腔體上的直線動力裝置，所述直線動力裝置的輸出端固定有驅動齒條，所述擺桿的一端設置有與驅動齒條嚙合的齒輪，所述支座上設置有限制擺桿擺動角度的限位結構。

7.如權利要求6所述的一種真空鍍膜機的旋轉載片裝置，其特征在于：所述限位結構包括設置于支座上的上限位塊和下限位塊，所述驅動齒條上設置有伸入到上限位塊和下限位塊之間的限位凸起。

8.如權利要求7所述的一種真空鍍膜機的旋轉載片裝置，其特征在于：所述直線動力裝置為氣缸，所述氣缸固定于鍍膜腔的上腔體頂部，所述上腔體的內部固定有保護套，所述支座連接于保護套的下端，所述氣缸的活塞桿伸入到保護套內。