[發(fā)明專利]緊固構(gòu)造、等離子體處理裝置以及緊固方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202111170300.0 | 申請日： | 2021-10-08 |
| 公開（公告）號： | CN114373666A | 公開（公告）日： | 2022-04-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 阿部純一;山田洋平 | 申請（專利權(quán)）人： | 東京毅力科創(chuàng)株式會社 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇;張會華 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 緊固 構(gòu)造 等離子體 處理 裝置 以及 方法 | ||
本發(fā)明涉及緊固構(gòu)造、等離子體處理裝置以及緊固方法。在利用緊固螺紋件將構(gòu)成基板處理裝置的構(gòu)件彼此緊固的緊固構(gòu)造中，使緊固螺紋件不產(chǎn)生松動。一種緊固構(gòu)造，其對構(gòu)成基板處理裝置的第1構(gòu)件和第2構(gòu)件進行緊固，其中，第1構(gòu)件具有內(nèi)螺紋部，第2構(gòu)件具有與內(nèi)螺紋部對應(yīng)的貫通孔和與該貫通孔連續(xù)并具有比貫通孔的直徑大的直徑的沉孔部，該緊固構(gòu)造包括：緊固螺紋件，其具有貫穿于貫通孔并與內(nèi)螺紋部螺紋結(jié)合的外螺紋部和與該外螺紋部的端部連續(xù)的螺紋件頭部；以及平墊圈，其嵌合于沉孔部，供外螺紋部貫穿，至少螺紋件頭部的與平墊圈相對的第1面和平墊圈的與螺紋件頭部相對的第2面中的任一者或兩者利用潤滑材料覆蓋。
技術(shù)領(lǐng)域
本公開涉及緊固構(gòu)造、等離子體處理裝置以及緊固方法。
背景技術(shù)
在專利文獻1中公開有一種對進行了真空排氣的處理空間內(nèi)的玻璃基板執(zhí)行利用被等離子體化的處理氣體進行的等離子體處理的等離子體處理裝置。該等離子體處理裝置包括：金屬制的處理容器，其包括載置玻璃基板的載置臺，該處理容器的與該載置臺相對的上表面開口，并且該處理容器電接地；金屬窗，其包括以封閉該處理容器的開口而形成處理空間的方式排列著的多個導(dǎo)電性的局部窗；以及等離子體天線，其以與該金屬窗相對的方式設(shè)于該金屬窗的上方側(cè)，用于利用電感耦合使處理氣體等離子體化。在專利文獻1的等離子體處理裝置中，金屬窗的各局部窗兼用作處理氣體供給用的噴頭。另外，各局部窗成為將噴淋板和金屬窗主體從下方起依次重疊而成的結(jié)構(gòu)，該噴淋板形成有用于向處理空間供給處理氣體的多個處理氣體噴出孔，該金屬窗主體用于在其與該噴淋板之間形成使處理氣體擴散的處理氣體擴散室。而且，在專利文獻1的等離子體處理裝置中，利用螺紋件將噴淋板緊固于金屬窗主體，在金屬窗主體形成有供溫度調(diào)節(jié)用的調(diào)溫流體流通的調(diào)溫流路。
現(xiàn)有技術(shù)文獻
專利文獻
專利文獻1：日本特開2017-27775號公報
發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題
對于本公開的技術(shù)，在利用緊固螺紋件將構(gòu)成基板處理裝置的構(gòu)件彼此緊固的緊固構(gòu)造中，使緊固螺紋件不產(chǎn)生松動。
用于解決問題的方案
本公開的一技術(shù)方案為一種緊固構(gòu)造，其對構(gòu)成基板處理裝置的第1構(gòu)件和第2構(gòu)件進行緊固，其中，所述第1構(gòu)件具有內(nèi)螺紋部，所述第2構(gòu)件具有與所述內(nèi)螺紋部對應(yīng)的貫通孔和與該貫通孔連續(xù)并具有比所述貫通孔的直徑大的直徑的沉孔部，該緊固構(gòu)造包括：緊固螺紋件，其具有貫穿于所述貫通孔并與所述內(nèi)螺紋部螺紋結(jié)合的外螺紋部和與該外螺紋部的端部連續(xù)的螺紋件頭部；以及平墊圈，其嵌合于所述沉孔部，供所述外螺紋部貫穿，至少所述螺紋件頭部的與所述平墊圈相對的第1面和所述平墊圈的與所述螺紋件頭部相對的第2面中的任一者或兩者利用潤滑材料覆蓋。
發(fā)明的效果
根據(jù)本公開，在利用緊固螺紋件將構(gòu)成基板處理裝置的構(gòu)件彼此緊固的緊固構(gòu)造中，能夠使緊固螺紋件不產(chǎn)生松動。
附圖說明
圖1是表示本實施方式的等離子體處理裝置的結(jié)構(gòu)的概略的縱剖視圖。
圖2是后述的金屬窗的仰視圖。
圖3是圖1的局部放大圖。
圖4是表示圖1的等離子體處理裝置所具備的緊固構(gòu)造的結(jié)構(gòu)的概略的縱剖視圖，相當(dāng)于將圖3顛倒并局部放大的圖。
圖5是表示緊固構(gòu)造的其他例子的縱剖視圖。
圖6是表示緊固構(gòu)造的其他例子的縱剖視圖。
圖7是表示緊固構(gòu)造的其他例子的縱剖視圖。
圖8是表示確認試驗的結(jié)果的圖。
圖9是表示確認試驗的結(jié)果的圖。
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