[發(fā)明專利]一種全自動(dòng)硅片智能翻轉(zhuǎn)疊雙片插片機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111169604.5
• 申請日: 2021-10-08
• 公開（公告）號: CN113611648B
• 公開（公告）日: 2021-12-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馮顯火
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇泰明易自動(dòng)化設(shè)備有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L31/18;B65G15/58;B65G47/91
• 代理公司: 北京市領(lǐng)專知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11590
• 代理人: 黃龍龍

1.一種全自動(dòng)硅片智能翻轉(zhuǎn)疊雙片插片機(jī)，包括基座（1），其特征在于，所述基座（1）內(nèi)腔底部固定安裝有輸料機(jī)構(gòu)（2）用于輸送硅片主體（208），所述基座（1）內(nèi)腔頂部固定安裝有直線模組（3），所述直線模組（3）底部固定安裝有抓取機(jī)構(gòu)（4）用于抓取硅片主體并傳輸運(yùn)料，所述基座（1）頂部一側(cè)固定連接有插片機(jī)構(gòu)（5），所述插片機(jī)構(gòu)（5）一側(cè)活動(dòng)連接有插片夾具（6）；

所述插片機(jī)構(gòu)（5）包括進(jìn)料槽（501），所述進(jìn)料槽（501）內(nèi)腔底部固定安裝有支撐噴嘴（502），且支撐噴嘴（502）底部通過管路連通有支撐液泵（503），且支撐液泵（503）另一側(cè)與進(jìn)料槽（501）內(nèi)腔頂部相連通，所述進(jìn)料槽（501）一側(cè)連通有進(jìn)液槽座，且進(jìn)液槽座內(nèi)腔可調(diào)節(jié)連接有若干增壓噴嘴（506），且若干增壓噴嘴（506）之間通過泵液管（505）連通有調(diào)節(jié)液泵（504）用于供液，所述進(jìn)料槽（501）另一側(cè)連通有調(diào)節(jié)液箱（510），所述調(diào)節(jié)液箱（510）內(nèi)可偏轉(zhuǎn)連接有多個(gè)引導(dǎo)板（512），且引導(dǎo)板（512）用于通過一側(cè)增壓噴嘴（506）噴液壓力帶動(dòng)硅片主體（208）插入一側(cè)插片夾具（6）內(nèi)，所述調(diào)節(jié)液泵（504）一側(cè)通過管路連通有回液箱（9），所述回液箱（9）頂部通過回液管（8）與插片夾具（6）相連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動(dòng)硅片智能翻轉(zhuǎn)疊雙片插片機(jī)，其特征在于，所述插片機(jī)構(gòu)（5）還包括固設(shè)于相鄰增壓噴嘴（506）之間的充氣罩體（508）用于調(diào)節(jié)增壓噴嘴（506）之間相互間距，且多個(gè)充氣罩體（508）之間通過充氣管連通有氣泵（509），且氣泵（509）固定安裝在進(jìn)液槽座頂部，所述充氣罩體（508）兩側(cè)均固定連接有滑套（507），且滑套（507）一側(cè)與增壓噴嘴（506）一側(cè)固定連接，且多個(gè)滑套（507）之間滑動(dòng)連接有滑桿（404），且滑桿（404）兩端分別與進(jìn)液槽座內(nèi)腔兩側(cè)對應(yīng)位置固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動(dòng)硅片智能翻轉(zhuǎn)疊雙片插片機(jī)，其特征在于，所述調(diào)節(jié)液箱（510）內(nèi)腔固定安裝有支撐滑道（513），且支撐滑道（513）一側(cè)通過滑動(dòng)連接的調(diào)向球與一側(cè)引導(dǎo)板（512）傳動(dòng)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動(dòng)硅片智能翻轉(zhuǎn)疊雙片插片機(jī)，其特征在于，所述調(diào)節(jié)液箱（510）兩端均固定連接有卡板（511），且卡板（511）內(nèi)卡接有卡座（7），且卡座（7）固定連接在插片夾具（6）一側(cè)，且卡座（7）和卡板（511）的橫截面形狀均為L形。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動(dòng)硅片智能翻轉(zhuǎn)疊雙片插片機(jī)，其特征在于，所述輸料機(jī)構(gòu)（2）包括輸料傳送帶（201），所述輸料傳送帶（201）外壁固定安裝有多個(gè)輸料座（202），且輸料座（202）內(nèi)腔可偏轉(zhuǎn)放置有硅片主體（208）。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種全自動(dòng)硅片智能翻轉(zhuǎn)疊雙片插片機(jī)，其特征在于，所述輸料座（202）內(nèi)腔兩側(cè)均通過電動(dòng)推桿（210）固定連接有連接塊（204），所述連接塊（204）頂部一側(cè)固定連接有夾板（203），且兩側(cè)夾板（203）之間通過可轉(zhuǎn)動(dòng)的夾持盤（209）吸附有硅片主體（208），且一側(cè)夾持盤（209）一側(cè)傳動(dòng)連接有驅(qū)動(dòng)電機(jī)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種全自動(dòng)硅片智能翻轉(zhuǎn)疊雙片插片機(jī)，其特征在于，所述連接塊（204）底部一側(cè)貼合有負(fù)壓囊（205），且兩側(cè)負(fù)壓囊（205）之間連通有連通氣管（206），且連通氣管（206）頂部連通有輸料吸盤（207），且輸料吸盤（207）與一側(cè)硅片主體（208）相貼合。