[發(fā)明專利]前開式晶圓傳送盒的門板開關機構

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111167506.8
• 申請日: 2021-10-07
• 公開（公告）號: CN113823588A
• 公開（公告）日: 2021-12-21
• 發(fā)明（設計）人: 李闖;喻成虎;袁繼超
• 申請（專利權）人: 上海賽瑾精密科技有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 上海老虎專利代理事務所(普通合伙) 31434
• 代理人: 任昉

1.一種前開式晶圓傳送盒的門板開關機構，用以前開式晶圓傳送盒的門板與所述前開式晶圓傳送盒其本體的門框進行鎖合或解離，其特征在于：

所述門框包括上橫梁與下橫梁，所述上橫梁上設置有兩個上鎖口，所述下橫梁上設置有兩個下鎖口；

所述門板的上部邊緣上設置有與兩個所述上鎖口對應的兩個上鎖舌，所述門板的下部邊緣上設置有與兩個所述下鎖口對應的兩個下鎖舌；且

各所述上鎖舌的下方分別連接有上鎖臂，各所述下鎖舌的上方分別連接有下鎖臂；

位于同一側的所述上鎖臂與所述下鎖臂分別與一個連接構件活動連接，且一個所述上鎖舌連同其連接著的所述上鎖臂與所述上鎖臂連接著的同一所述連接構件上的一個所述下鎖臂并連同所述下鎖臂連接著的所述下鎖舌組成一個鎖舌組；

兩組所述鎖舌組之間還設置有聯(lián)動機構，所述聯(lián)動機構的兩端分別與其兩側的兩組所述鎖舌組中各自的所述連接構件連接，轉動或拉動所述聯(lián)動機構，能夠通過各所述連接構件同時帶動各所述鎖舌組中各自的所述上鎖臂與所述下鎖臂在所述門板上進行上下移動，進而帶動各自連接著的所述上鎖舌與所述下鎖舌進行伸出或縮回，且通過所述上鎖舌與所述下鎖舌的伸出或縮回使其插入或退出所述上鎖口與所述下鎖口中，實現(xiàn)所述門板與所述門框的鎖合或解離。

2.如權利要求1所述的前開式晶圓傳送盒的門板開關機構，其特征在于：

所述上鎖臂與所述下鎖臂上分別設置有滑槽，所述門板其對應各所述滑槽的位置上設置有限位導向柱，所述限位導向柱套裝在所述滑槽之中，各所述上鎖臂與各所述下鎖臂可分別通過其各自的所述滑槽且以各自對應的所述限位導向柱為限定和導向物在所述門板的板面上進行上下滑動。

3.如權利要求1所述的前開式晶圓傳送盒的門板開關機構，其特征在于：

所述連接構件為轉盤，所述轉盤通過其中心軸活動連接在所述門板上，且所述轉盤的兩側分別設置有弧形的滑道；

同一所述鎖舌組內(nèi)的所述上鎖臂與所述下鎖臂各自相鄰的一端上分別設置有凸軸，所述上鎖臂與所述下鎖臂分別通過其各自的所述凸軸套裝在所述轉盤其兩側的滑道上與所述轉盤進行連接，轉動或拉動所述聯(lián)動機構，能夠使所述聯(lián)動機構連接的所述轉盤向同一方向轉動，向同一方向轉動的各所述轉盤各自通過其兩側的所述滑道分別帶動所述凸軸在所述門板的板面上進行上下移動進而分別帶動各所述凸軸所在的所述上鎖臂與所述下鎖臂進行上下移動，并以此分別帶動所述上鎖舌與所述下鎖舌在所述門板的上、下邊緣進行伸出或縮回。

4.如權利要求3所述的前開式晶圓傳送盒的門板開關機構，其特征在于：

所述聯(lián)動機構包括聯(lián)動桿、彈簧和齒輪，其中：

所述聯(lián)動桿通過其中心點上設置的轉軸安裝在所述門板上，且所述聯(lián)動桿其兩側的端頭上設置有輪齒；

所述彈簧與所述齒輪分別以所述聯(lián)動桿的中心點為原點以原點對稱形式設置在所述聯(lián)動桿的兩側，其中，各所述彈簧的一端固定在一個所述轉盤上，各所述彈簧的另一端分別連接在一個所述齒輪的輪轂上，且各所述齒輪分別與相鄰一側的所述聯(lián)動桿的端頭齒輪嚙合；

以所述轉軸為軸轉動所述聯(lián)動桿，轉動的所述聯(lián)動桿通過其兩端的輪齒帶動其兩側的所述齒輪分別進行上下方向相反的移動，移動的兩個所述齒輪分別通過各自連接的所述彈簧帶動各所述彈簧各自連接的所述轉盤進行同向轉動，同向轉動的兩個所述轉盤分別帶動各自連接的所述上鎖臂與所述下鎖臂進行同向或反向的移動并以此帶動各所述上鎖舌與所述下鎖舌在所述門板的上、下邊緣進行伸出或縮回。

5.如權利要求3所述的前開式晶圓傳送盒的門板開關機構，其特征在于：

所述聯(lián)動機構包括聯(lián)動桿和彈簧，其中：

所述聯(lián)動桿通過其中心點上設置的轉軸安裝在所述門板上；

兩個所述彈簧以所述聯(lián)動桿的中心點為原點以原點對稱形式設置在所述聯(lián)動桿的兩側，其中，各所述彈簧各自的一端固定在所述聯(lián)動桿的一個端頭上，各所述彈簧各自的另一端分別連接在一個所述轉盤上；

以所述轉軸為軸轉動所述聯(lián)動桿，轉動的所述聯(lián)動桿通過其兩端的所述彈簧分別帶動其兩側的所述轉盤進行同向轉動，同向轉動的各所述轉盤分別帶動其各自連接的所述上鎖臂與所述下鎖臂進行同向或反向的移動并以此帶動各所述上鎖舌與所述下鎖舌在所述門板的上、下邊緣進行伸出或縮回。