[發(fā)明專利]橫向移載裝置、空中運輸設(shè)備及自動物料搬送系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111166879.3
• 申請日: 2021-09-30
• 公開（公告）號: CN113871335A
• 公開（公告）日: 2021-12-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 杜寶寶;繆峰
• 申請（專利權(quán)）人: 彌費實業(yè)（上海）有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京清大紫荊知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11718
• 代理人: 黎飛鴻;馮振華

本發(fā)明提供一種橫向移載裝置、空中運輸設(shè)備及自動物料搬送系統(tǒng)，應(yīng)用于自動控制技術(shù)領(lǐng)域，其中橫向移載裝置包括：取貨固定機構(gòu)，固定連接于所述空中運輸車的行走基板下；水平調(diào)整機構(gòu)，安裝于所述取貨固定機構(gòu)的下表面；所述水平調(diào)整機構(gòu)包括同步調(diào)整機構(gòu)和滑動機構(gòu)，所述同步調(diào)整機構(gòu)分設(shè)于所述滑動機構(gòu)側(cè)面，用于將所述滑動機構(gòu)在第一方向上相對于行走基板滑動調(diào)整到預(yù)定水平位置，所述第一方向為與所述側(cè)面垂直的水平方向上，所述預(yù)定水平位置為待搬運目標(biāo)物的上方的空中位置。通過水平調(diào)整機構(gòu)，可快速、準(zhǔn)確地將運輸車中部件調(diào)整到待搬運目標(biāo)物的正上方空間位置，可提高產(chǎn)品的生產(chǎn)效率，更好地對接工廠需求。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于自動控制技術(shù)領(lǐng)域，更確切的說涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備，尤其涉及一種橫向移載裝置、空中運輸設(shè)備及自動物料搬送系統(tǒng)。

背景技術(shù)

近年來半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展，半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)技術(shù)的飛速發(fā)展也對半導(dǎo)體晶圓代工廠(簡稱晶圓廠，F(xiàn)ab廠等)提出了更高的要求。

目前，晶圓廠會大規(guī)模采用AMHS(Automatic Material Handling System，自動物料搬送系統(tǒng))，以基于AMHS快速準(zhǔn)確地將裝有wafer(晶圓)物料的Carrier(載具)搬送到目的地，以減少wafer的空閑時間(idle time)，減少錯誤操作(miss operation)，提高生產(chǎn)效率。

基于以上，本申請?zhí)峁┝私鉀Q以上技術(shù)問題的技術(shù)方案。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種橫向移載裝置、空中運輸設(shè)備及自動物料搬送系統(tǒng)，以更簡便、精準(zhǔn)的設(shè)計結(jié)構(gòu)構(gòu)成空中運輸設(shè)備，實現(xiàn)更輕量化的車體，搬運中更安全、穩(wěn)定，提高了空中運輸設(shè)備的通用性，更好地對接晶圓廠需求，以便在晶圓廠中快速部署應(yīng)用。

本發(fā)明提供的技術(shù)方案如下：

本發(fā)明提供一種橫向移載裝置，應(yīng)用于空中運輸車，包括：

取貨固定機構(gòu)，固定連接于所述空中運輸車的行走基板下；

水平調(diào)整機構(gòu)，安裝于所述取貨固定機構(gòu)的下表面；

其中，所述水平調(diào)整機構(gòu)包括同步調(diào)整機構(gòu)和滑動機構(gòu)，所述同步調(diào)整機構(gòu)分設(shè)于所述滑動機構(gòu)側(cè)面，用于將所述滑動機構(gòu)在第一方向上相對于行走基板滑動調(diào)整到預(yù)定水平位置，所述第一方向為與所述側(cè)面垂直的水平方向上，所述預(yù)定水平位置為待搬運目標(biāo)物的上方的空中位置。

可選地，所述滑動機構(gòu)包括二級板、三級板、角度調(diào)整基板、若干滑塊以及滑塊聯(lián)軸器；

所述二級板通過滑塊連接于所述取貨固定機構(gòu)的內(nèi)部下方；

所述三級板通過滑塊連接于所述二級板下側(cè)；

所述角度調(diào)整基板通過滑塊連接于所述三級板下側(cè)；

所述滑塊聯(lián)軸器與所述同步調(diào)整機構(gòu)連接，用于在所述同步調(diào)整機構(gòu)的驅(qū)動下，帶動所述二級板移動，使得所述二級板帶動所述三級板移動，所述三級板帶動所述角度調(diào)整基板移動，以在水平方向上將所述角度調(diào)整基板調(diào)整到預(yù)定水平位置。

可選地，所述同步調(diào)整機構(gòu)包括第一同步輪同步帶、第二同步輪同步帶和第一驅(qū)動機構(gòu)；

所述第一驅(qū)動機構(gòu)設(shè)置于所述滑動機構(gòu)的一側(cè)，用于驅(qū)動所述滑塊聯(lián)軸器；

所述第一同步輪同步帶和所述第二同步輪同步帶分設(shè)于所述滑動機構(gòu)兩側(cè)；

所述第一同步輪同步帶的同步輪固定連接于所述三級板，所述第一同步輪同步帶的上側(cè)皮帶裝有第一皮帶座，所述第一皮帶座的一側(cè)固定連接于所述二級板，所述第一皮帶座的另一側(cè)固定連接于所述滑塊聯(lián)軸器，所述第一同步輪同步帶的下側(cè)皮帶裝有第二皮帶座，所述第二皮帶座固定連接于所述角度調(diào)整基板；