[發明專利]真空抽氣系統

在審

• 申請號: 202111148762.2
• 申請日: 2021-09-28
• 公開（公告）號: CN113738616A
• 公開（公告）日: 2021-12-03
• 發明（設計）人: 李想松
• 申請（專利權）人: 東莞鑫泰玻璃科技有限公司
• 主分類號: F04B37/14
• 分類號: F04B37/14;F04B41/06;F04B49/20;F04B49/24
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;侯柏龍

本發明公開了一種真空抽氣系統，包括羅茨真空泵、滑閥真空泵和變頻器，所述羅茨真空泵具有進氣口和出氣口，所述滑閥真空泵借助第一真空管與所述羅茨真空泵的出氣口連通，所述變頻器與所述羅茨真空泵相連接，所述變頻器用于控制所述羅茨真空泵中電機的轉速由低轉速向高轉速轉變且呈階段性速率增加。通過變頻器來控制羅茨真空泵中電機的轉速，以給滑閥真空泵緩沖時間達到其預設壓強，避免不穩定及負壓過大的影響，且該真空抽氣系統能增加抽速，縮短抽氣時間，提高抽真空的速率及穩定性。

技術領域

本發明涉及真空抽氣領域，更具體地涉及一種真空抽氣系統。

背景技術

鍍膜玻璃一般采用磁控濺射鍍膜生產線進行，磁控濺射鍍膜技術需要在真空條件下進行，在該過程中，需要利用真空抽氣系統對磁控濺射鍍膜設備中的真空鍍腔進行抽真空處理，一般采用滑閥真空泵和羅茨真空泵對真空鍍腔進行抽真空處理，但是為了避免羅茨真空泵較快的真空抽取速度使得滑閥真空泵受負壓大及電機過載的影響，一般先啟動滑閥真空泵工作一段時間達到預設壓強，再啟動羅茨真空泵工作，這樣一來耽誤了抽真空的時間，效率較低，且不穩定。

因此，有必要提供一種真空抽氣系統以解決上述缺陷。

發明內容

本發明的目的是提供一種能提高抽真空的速率及穩定性的真空抽氣系統。

為了實現上述目的，本發明公開了一種真空抽氣系統，包括：

羅茨真空泵，羅茨真空泵具有進氣口和出氣口；

滑閥真空泵，滑閥真空泵借助第一真空管與羅茨真空泵的出氣口連通；

變頻器，變頻器與羅茨真空泵相連接，變頻器用于控制羅茨真空泵中電機的轉速由低轉速向高轉速轉變且呈階段性增加。

與現有技術相比，本申請的真空抽氣系統中，將羅茨真空泵的進氣口與磁控濺射鍍膜設備中的真空鍍腔連通，當需要進行真空抽氣時，啟動滑閥真空泵和羅茨真空泵，變頻器控制羅茨真空泵處于低轉速階段，從而避免羅茨真空泵較快的真空抽取速度使得滑閥真空泵受負壓大及電機過載的影響，隨著工作的進行，變頻器控制羅茨真空泵中電機的轉速由低轉速向高轉速轉變且呈階段性增加，而滑閥真空泵達到預設的壓強，不會受負壓大及電機過載的影響，從而正常工作，避免先啟動滑閥真空泵工作一段時間，再啟動羅茨真空泵工作，提高抽真空的速率及穩定性。

較佳地，真空抽氣系統還包括設于羅茨真空泵的旁通閥。旁通閥的設置可避免羅茨真空泵空載啟動，打開旁通閥后，羅茨真空泵啟動一定時間后，關閉旁通閥，羅茨真空泵的壓力逐漸上升。

較佳地，低轉速為500-1000rpm。

較佳地，高轉速為2000-3000rpm。

較佳地，增加速率為100rpm。

較佳地，真空抽氣系統還包括與所述羅茨真空泵的進氣口連通的第二真空管，所述第二真空管設有第一閥門。

較佳地，所述第一真空管設有第二閥門。

附圖說明

圖1為本發明真空抽氣系統的結構示意圖。

符號說明：

真空抽氣系統100，羅茨真空泵10，滑閥真空泵20，第一真空管30，變頻器40，旁通閥50，第二真空管60，第一閥門70，第二閥門80

具體實施方式

為詳細說明本發明的技術內容、構造特征、所實現目的及效果，以下結合實施方式并配合附圖詳予說明。