[發(fā)明專利]真空抽氣系統(tǒng)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202111148762.2 | 申請日: | 2021-09-28 |
| 公開(公告)號: | CN113738616A | 公開(公告)日: | 2021-12-03 |
| 發(fā)明(設計)人: | 李想松 | 申請(專利權(quán))人: | 東莞鑫泰玻璃科技有限公司 |
| 主分類號: | F04B37/14 | 分類號: | F04B37/14;F04B41/06;F04B49/20;F04B49/24 |
| 代理公司: | 廣州三環(huán)專利商標代理有限公司 44202 | 代理人: | 張艷美;侯柏龍 |
| 地址: | 523000 廣東省*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 真空 系統(tǒng) | ||
1.一種真空抽氣系統(tǒng),其特征在于,包括:
羅茨真空泵,所述羅茨真空泵具有進氣口和出氣口;
滑閥真空泵,所述滑閥真空泵借助第一真空管與所述羅茨真空泵的出氣口連通;
變頻器,所述變頻器與所述羅茨真空泵相連接,所述變頻器用于控制所述羅茨真空泵中電機的轉(zhuǎn)速由低轉(zhuǎn)速向高轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)變且呈階段性速率增加。
2.如權(quán)利要求1所述的真空抽氣系統(tǒng),其特征在于,還包括設于所述羅茨真空泵的旁通閥。
3.如權(quán)利要求1所述的真空抽氣系統(tǒng),其特征在于,低轉(zhuǎn)速為500-1000rpm。
4.如權(quán)利要求1所述的真空抽氣系統(tǒng),其特征在于,高轉(zhuǎn)速為2000-3000rpm。
5.如權(quán)利要求1所述的真空抽氣系統(tǒng),其特征在于,增加速率為100rpm。
6.如權(quán)利要求1所述的真空抽氣系統(tǒng),其特征在于,還包括與所述羅茨真空泵的進氣口連通的第二真空管,所述第二真空管設有第一閥門。
7.如權(quán)利要求1所述的真空抽氣系統(tǒng),其特征在于,所述第一真空管設有第二閥門。
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