[發明專利]一種正性光刻膠組合物

在審

• 申請號: 202111145605.6
• 申請日: 2021-09-28
• 公開（公告）號: CN113946099A
• 公開（公告）日: 2022-01-18
• 發明（設計）人: 何卿;胡凡華;樸大然;盧克軍;張寧
• 申請（專利權）人: 北京北旭電子材料有限公司;北旭（湖北）電子材料有限公司;上海彤程電子材料有限公司;彤程新材料集團股份有限公司
• 主分類號: G03F7/016
• 分類號: G03F7/016;G03F7/039
• 代理公司: 北京柏杉松知識產權代理事務所(普通合伙) 11413
• 代理人: 張彥彥;劉繼富

本申請提供了一種正性光刻膠組合物，基于所述正性光刻膠組合物的總重量，所述正性光刻膠組合物包括：酚醛樹脂10?20wt％，感光化合物4?6wt％，交聯劑5?10wt％，流平劑0.05?0.10wt％，粘附性促進劑0.05?0.10wt％，溶劑65?80wt％；其中，所述酚醛樹脂為線性酚醛樹脂，結構式如式I所示，其中，n₁為自然數，85≤n₁≤170。本申請提供的正性光刻膠組合物，具有高耐熱的特性，耐熱溫度可達到230?250℃，可用于具有高溫工藝的生產流程，在曝光工藝中能夠形成良好的圖形形貌，同時具有良好的均一性，用于外圍電路時，能夠有效減少磨邊時崩壞不良的發生。

技術領域

本申請涉及光刻膠技術領域，特別是涉及一種正性光刻膠組合物。

背景技術

薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)是采用新材料和新工藝的大規模半導體全集成電路制造技術，是液晶、無機和有機薄膜電致發光平板顯示器的基礎。隨著面板尺寸增加，在生產工藝中，切割處理、磨邊處理等不可避免，而由于邊緣脆化問題，導致磨邊時基板邊緣崩壞，會導致形成外圍電路區域的缺失不良(即外圍電路磨邊時的崩壞不良現象)，形成電路的缺陷。目前市場上所用的光刻膠組合物，耐熱性普遍不高，在高溫下圖形(Patten)形貌會發生變化，用于外圍電路時在磨邊工藝中也時有發生崩壞不良的現象。因此亟需尋找一種能夠在高溫下使用并保持良好的圖形形貌的性能，同時能夠有效減少磨邊時崩壞不良發生的光刻膠組合物。

發明內容

本申請的目的在于提供一種正性光刻膠組合物，以獲得能夠在高溫下使用并保持良好的圖形形貌的性能，同時能夠有效減少磨邊時崩壞不良發生的正性光刻膠組合物。具體技術方案如下：

本申請提供了一種正性光刻膠組合物，其中，基于所述正性光刻膠組合物的總重量，所述正性光刻膠組合物包括：酚醛樹脂10-20wt％，感光化合物4-6wt％，交聯劑5-10wt％，流平劑0.05-0.10wt％，粘附性促進劑0.05-0.10wt％，溶劑65-80wt％；

其中，所述酚醛樹脂為線性酚醛樹脂，結構式如式I所示：

其中，n₁為自然數，85≤n₁≤170。

本申請提供的一種正性光刻膠組合物，基于所述正性光刻膠組合物的總重量，所述正性光刻膠組合物包括：酚醛樹脂10-20wt％，感光化合物4-6wt％，交聯劑5-10wt％，流平劑0.05-0.10wt％，粘附性促進劑0.05-0.10wt％，溶劑65-80wt％；其中，所述酚醛樹脂為線性酚醛樹脂，結構式如式I所示，其中n₁為自然數，85≤n₁≤170。本申請提供的正性光刻膠組合物，具有高耐熱的特性，耐熱溫度可達到230-250℃，可用于具有高溫工藝的生產流程，在曝光工藝中能夠形成良好的圖形形貌，同時具有良好的均一性，用于外圍電路時，能夠有效減少磨邊時崩壞不良的發生。

當然，實施本申請的任一產品或方法并不一定需要同時達到以上所述的所有優點。

附圖說明

為了更清楚地說明本申請實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本申請的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，還可以根據這些附圖獲得其他的實施例。

圖1為實施例1和對比例1的耐熱性測試結果；其中，A圖為實施例1烘烤后的圖形形貌SEM圖，B圖為對比例1烘烤后的圖形形貌SEM圖；圖中3μm、5μm、10μm、20μm為線條寬度。

具體實施方式