[發明專利]一種正性光刻膠組合物在審
| 申請號： | 202111145605.6 | 申請日： | 2021-09-28 |
| 公開（公告）號： | CN113946099A | 公開（公告）日： | 2022-01-18 |
| 發明（設計）人： | 何卿;胡凡華;樸大然;盧克軍;張寧 | 申請（專利權）人： | 北京北旭電子材料有限公司;北旭（湖北）電子材料有限公司;上海彤程電子材料有限公司;彤程新材料集團股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/016 | 分類號： | G03F7/016;G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知識產權代理事務所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 張彥彥;劉繼富 |
| 地址： | 100015 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 光刻 組合 | ||
1.一種正性光刻膠組合物，其中，基于所述正性光刻膠組合物的總重量，所述正性光刻膠組合物包括：酚醛樹脂10-20wt％，感光化合物4-6wt％，交聯劑5-10wt％，流平劑0.05-0.10wt％，粘附性促進劑0.05-0.10wt％，溶劑65-80wt％；
其中，所述酚醛樹脂為線性酚醛樹脂，結構式如式I所示：
其中，n1為自然數，85≤n1≤170。
2.根據權利要求1所述的正性光刻膠組合物，其中，所述酚醛樹脂的分子量為20000-40000。
3.根據權利要求1所述的正性光刻膠組合物，其中，所述感光化合物為重氮類化合物，其結構式如式II所示：
其中，R1、R2、R3、R4至少有三個為結構式III或結構式IV的化合物，其余為氫，R1、R2、R3、R4可以相同，也可以不同；
4.根據權利要求1所述的正性光刻膠組合物，其中，所述交聯劑的結構式如式V所示：
其中，R5和R6各自獨立地選自C1-C20的烷基、C1-C10的醚基或C2-C10的環醚基。
5.根據權利要求4所述的正性光刻膠組合物，其中，R5和R6各自獨立地選自-CH2OCH3、-CH2OCH2CH3、-CH2CH2OCH2CH3或四氫呋喃基。
6.根據權利要求1所述的正性光刻膠組合物，其中，所述流平劑為含氟表面活性劑。
7.根據權利要求6所述的正性光刻膠組合物，其中，所述含氟表面活性劑，選自全氟辛基磺酰氟、全氟辛基磺?；景返饣锖腿榛勖驯砻婊钚詣┲械闹辽僖环N。
8.根據權利要求1所述的正性光刻膠組合物，其中，所述粘附性促進劑包括密胺樹脂、硅烷偶聯劑和超高分子乙烯基醚類化合物中的至少一種。
9.根據權利要求1所述的正性光刻膠組合物，其中，所述溶劑選自乙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇二甲醚、丙二醇甲醚乙酸酯、乳酸乙酯、乙酸乙酯、乙酸正丁酯和N-甲基吡咯烷酮中的至少一種。
10.根據權利要求1所述的正性光刻膠組合物，其中，所述正性光刻膠組合物的耐熱溫度為230-250℃。
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