[發明專利]一種極細金線焊接方法、焊接結構及其應用在審
| 申請號: | 202111141304.6 | 申請日: | 2021-09-27 |
| 公開(公告)號: | CN113871310A | 公開(公告)日: | 2021-12-31 |
| 發明(設計)人: | 羅凌;范亞明;劉蘇陽;仲銳方;李淑君;高自立;黃蓉 | 申請(專利權)人: | 江西省納米技術研究院 |
| 主分類號: | H01L21/607 | 分類號: | H01L21/607;H01L23/49 |
| 代理公司: | 南京利豐知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 趙世發;王鋒 |
| 地址: | 330000 江西省南昌市*** | 國省代碼: | 江西;36 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 極細金線 焊接 方法 結構 及其 應用 | ||
1.一種極細金線焊接方法,其特征在于包括:
提供帶有基板焊盤(3)的基板(1)和帶有芯片焊盤(4)的芯片(2);
采用金線(7)在芯片焊盤(4)上種植芯片焊球(6)作為第一焊點,并從第一焊點拉線弧到基板焊盤(3)上焊接第二焊點;
其中,所述金線(7)的直徑在16μm以下。
2.根據權利要求1所述的極細金線焊接方法,其特征在于還包括:預先采用金線(7)在基板焊盤(3)上種植基板焊球(5),并將所述線弧拉到基板焊球(5)上形成第二焊點。
3.根據權利要求1所述的極細金線焊接方法,其特征在于:所述芯片焊盤(4)的焊盤寬度在40μm以下、焊盤間距在50μm以下。
4.根據權利要求1所述的極細金線焊接方法,其特征在于:采用超聲焊接方式在所述基板焊盤(3)、芯片焊盤(4)上種植基板焊球(5)、芯片焊球(6);優選的,所述超聲焊接方式所采用的焊接劈刀包括PECO公司出品的B0608-28-13-06型劈刀。
5.根據權利要求1所述的極細金線焊接方法,其特征在于:所述基板焊盤(3)、芯片焊盤(4)的材質包括鋁、金、鎳金中的任意一種;和/或,所述焊接劈刀的植球過程包括第一階段、第二階段和第三階段。
6.根據權利要求5所述的極細金線焊接方法,其特征在于,若所述基板焊盤(3)、芯片焊盤(4)的材質為鋁,則所述基板焊球(5)、芯片焊球(6)的植球工藝條件包括:
第一階段至第三階段均采用壓力模式;
其中,所述第一階段的超聲能量、植球時間、植球壓力分別設定為5~20mA、3~5mS、25~45g;
所述第二階段的超聲能量、植球時間、植球壓力分別設定為10~30mA、1~3mS、10~30g;
所述第三階段的超聲能量、植球時間、植球壓力分別設定為65~110mA、11~13mS、7~10g。
7.根據權利要求5所述的極細金線焊接方法,其特征在于,若所述基板焊盤(3)、芯片焊盤(4)的材質為金,則所述基板焊球(5)、芯片焊球(6)的植球工藝條件包括:
第一階段至第三階段均采用F模式;
其中,所述第一階段的超聲能量、植球時間、植球壓力分別設定為0~15mA、3~5mS、20~45g;
所述第二階段的超聲能量、植球時間、植球壓力分別設定為25~55mA、5~7mS、5~7g;
所述第三階段的超聲能量、植球時間、植球壓力分別設定為40~85mA、7~10mS、7~10g。
8.根據權利要求5所述的極細金線焊接方法,其特征在于,若所述基板焊盤(3)、芯片焊盤(4)的材質為鎳金,則所述基板焊球(5)、芯片焊球(6)的植球工藝條件包括:
第一階段至第三階段均采用F模式;
其中,所述第一階段的超聲能量、植球時間、植球壓力分別設定為0~15mA、1~3mS、25~50g;
所述第二階段的超聲能量、植球時間、植球壓力分別設定為100~130mA、8~12mS、5~8g;
所述第三階段的超聲能量、植球時間、植球壓力分別設定為120~150mA、13~17mS、10~15g。
9.一種由權利要求1-8中任一項所述方法形成的極細金線焊接結構。
10.一種封裝結構,包括帶有基板焊盤(3)的基板(1)和帶有芯片焊盤(4)的芯片(2),其特征在于:所述基板焊盤(3)和芯片焊盤(4)通過權利要求9所述的極細金線焊接結構電性連接。
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H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





