[發明專利]一種地質樣品微結構的電子顯微三維重構表征方法

在審

• 申請號: 202111140759.6
• 申請日: 2021-09-27
• 公開（公告）號: CN114002240A
• 公開（公告）日: 2022-02-01
• 發明（設計）人: 鮮海洋;楊宜坪;邢介奇;吳逍;楊紅梅;魏景明;朱建喜;何宏平
• 申請（專利權）人: 中國科學院廣州地球化學研究所
• 主分類號: G01N23/04
• 分類號: G01N23/04;G01N23/20
• 代理公司: 鄭州歐凱專利代理事務所(普通合伙) 41166
• 代理人: 楊嶺

1.一種地質樣品微結構的電子顯微三維重構表征方法，其特征在于：包括以下步驟：

a1、首先制備電子束可穿透厚度的樣品；

a2、將制備的樣品放入透射電鏡中，在不同傾轉角度下拍攝一系列透射電鏡二維圖像；

a3、在獲得一系列透射電鏡二維圖像后，通過計算機軟件將系列二維圖像重構出三維圖像。

2.根據權利要求1所述的一種地質樣品微結構的電子顯微三維重構表征方法，其特征在于：所述步驟a1中的電子束可穿透的厚度的樣品為納米尺度，所述電子束可穿透的厚度的樣品的納米尺度通常為50-200nm。

3.根據權利要求1所述的一種地質樣品微結構的電子顯微三維重構表征方法，其特征在于：所述步驟a1中的樣品制備可以是任意可實現樣品減薄效果的技術，包括但不限于機械研磨、離子減薄、聚焦離子束加工。

4.根據權利要求1所述的一種地質樣品微結構的電子顯微三維重構表征方法，其特征在于：所述步驟a2中不同傾轉角度具體是指利用透射電鏡樣品臺本身的傾轉或利用樣品桿的旋轉功能來實現樣品的不同傾轉角度，并且也可同時使用透射電鏡樣品臺本身的傾轉和樣品桿的旋轉功能來實現樣品的不同傾轉角度。

5.根據權利要求1所述的一種地質樣品微結構的電子顯微三維重構表征方法，其特征在于：所述步驟a2中的透射電鏡二維圖像是指該二維圖像可以通過樣品旋轉的任意角度拍照獲得。

6.根據權利要求1所述的一種地質樣品微結構的電子顯微三維重構表征方法，其特征在于：所述步驟a2中的透射電鏡二維圖像為TEM模式和STEM模式下可獲得的任意二維圖像，包括但不限于：TEM明場像、TEM暗場像、電子衍圖像、STEM明場像、STEM暗場像、STEM-EDS面掃圖像、STEM-EELS面掃圖像、STEM-CL面掃圖像以及EFTEM圖像。

7.根據權利要求1所述的一種地質樣品微結構的電子顯微三維重構表征方法，其特征在于：所述步驟a1中的樣品為地質樣品、且地質樣品為所有可在透射電子顯微鏡下進行觀測的固體地質樣品。

8.根據權利要求2所述的一種地質樣品微結構的電子顯微三維重構表征方法，其特征在于：所述電子束可穿透的厚度的樣品的納米尺度優選為50-80nm。