[發明專利]DSP工藝精細管控-定盤、拋布形狀測量裝置及其方法

有效

• 申請號: 202111134810.2
• 申請日: 2021-09-27
• 公開（公告）號: CN113882132B
• 公開（公告）日: 2022-08-12
• 發明（設計）人: 趙家
• 申請（專利權）人: 杭州中欣晶圓半導體股份有限公司
• 主分類號: D06H3/10
• 分類號: D06H3/10;D06H7/00;D06G1/00;G01B21/20
• 代理公司: 杭州融方專利代理事務所(普通合伙) 33266
• 代理人: 沈相權

1.DSP工藝精細管控-定盤、拋布形狀測量裝置，包括支撐架(1)，其特征在于：所述支撐架(1)的內部兩側分別轉動連接有第一傳送輥(2)與第二傳送輥(3)，所述第一傳送輥(2)與第二傳送輥(3)的外壁共同套接有傳送帶(4)，所述支撐架(1)的頂部分別固定連接有防護殼(5)與測量機構(6)，所述測量機構(6)位于防護殼(5)的一側，且防護殼(5)的底部貫穿支撐架(1)并延伸至內部，所述防護殼(5)的內部固定設置有裁切組件(7)與固定架(8)，且防護殼(5)的頂部一側固定連接有吸塵組件(9)，所述固定架(8)的內壁轉動連接有粘塵輥(10)，所述第一傳送輥(2)與第二傳送輥(3)的一端均貫穿支撐架(1)并固定連接有齒輪(13)，兩個所述齒輪(13)通過鏈條(14)形成轉動連接結構，且其中一個所述齒輪(13)的一側壁固定連接有電動機(15)，所述電動機(15)通過電機架固定連接在支撐架(1)的側壁上，所述支撐架(1)的一側壁設置有控制開關(16)、檢修窗(17)與出紙導板(18)，所述檢修窗(17)通過鉸鏈與支撐架(1)轉動連接，所述出紙導板(18)與測量機構(6)的內部相連通；

所述測量機構(6)包括測量架(601)與滑座(602)，所述滑座(602)固定連接在測量架(601)的頂部，且滑座(602)的內部相對側壁開設有滑槽，滑槽的內部滑動連接有蓋板(603)，所述測量架(601)的頂部設置有若干測量組件(604)，所述測量組件(604)的底端貫穿測量架(601)并延伸至內部，所述測量架(601)的底部兩側固定設置有永久磁鐵(605)，所述永久磁鐵(605)的正上方均固定設置有電磁鐵組件(606)；

所述測量組件(604)包括筒體(6041)，所述筒體(6041)的頂端固定連接有支撐板(6042)，且筒體(6041)的內部滑動連接有滑柱(6043)，且筒體(6041)的一側壁開設有限位通槽(6044)，所述滑柱(6043)的底端固定連接有固定卡(6045)，且滑柱(6043)的頂端固定連接有復位彈簧(6046)，且滑柱(6043)的一側壁固定設置有限位塊(6047)，所述固定卡(6045)的內部設置有測量筆(6048)；

所述電磁鐵組件(606)包括固定板(6061)與壓板(6062)，所述固定板(6061)與壓板(6062)之間設置有伸縮桿(6063)，所述伸縮桿(6063)的外壁套設有彈簧(6064)，所述彈簧(6064)的頂端固定連接在固定板(6061)的底部，且彈簧(6064)的底端固定連接在壓板(6062)的頂部。

2.根據權利要求1所述的DSP工藝精細管控-定盤、拋布形狀測量裝置，其特征在于：所述固定架(8)固定連接在裁切組件(7)的一側，所述粘塵輥(10)的外壁固定連接有若干粘塵刷毛(11)，所述裁切組件(7)包括剪切裝置(701)，所述剪切裝置(701)的前后兩側壁固定連接有固定塊(702)，且剪切裝置(701)的左右兩側壁分別固定連接有進料導板(703)與出料導板(704)。

3.根據權利要求2所述的DSP工藝精細管控-定盤、拋布形狀測量裝置，其特征在于：所述防護殼(5)的頂部分別固定連接有集塵箱(20)與吸塵器(12)，所述集塵箱(20)與吸塵器(12)之間通過管道連接，所述吸塵器(12)通過管道與吸塵組件(9)的內部相連通。

4.根據權利要求3所述的DSP工藝精細管控-定盤、拋布形狀測量裝置，其特征在于：所述傳送帶(4)的頂部設置有拋布本體(19)。

5.根據權利要求4所述的DSP工藝精細管控-定盤、拋布形狀測量裝置，其特征在于：所述吸塵組件(9)包括吸塵箱(901)，所述吸塵箱(901)的底部固定設置有進塵導板(902)，所述進塵導板(902)的一側壁設置有若干梳齒(903)，所述吸塵箱(901)的一側壁開設有進塵口(904)。

6.根據權利要求5所述的DSP工藝精細管控-定盤、拋布形狀測量裝置，其特征在于：所述粘塵輥(10)由電機驅動，且粘塵輥(10)轉動時，粘塵刷毛(11)轉動形成的圓最小半徑與梳齒(903)相交。

7.根據權利要求6所述的DSP工藝精細管控-定盤、拋布形狀測量裝置的測量方法，其特征在于：該方法包括以下步驟：

步驟一、剪切拋布：首先將成型的產品放置在傳送帶(4)的上表面，然后啟動電動機(15)，電動機(15)帶動其中一個齒輪(13)轉動，從而在鏈條(14)的傳動下第二傳送輥(3)與傳送帶(4)同步轉動，成型產品被輸送進防護殼(5)的內部，此時，成型產品進入防護殼(5)的一端通過進料導板(703)進入到剪切裝置(701)內部被剪切成所需的形狀，然后通過出料導板(704)滑出防護殼(5)；

步驟二、廢料清理：成型產品進入到防護殼(5)中被剪切，剪切后的成型產品再次落到傳送帶(4)表面，剪切時在切口處產生的細小廢料渣粘附在成型產品表面，在傳送帶(4)的傳送作用下，成型產品進入到粘塵輥(10)的正下方，由于粘塵輥(10)由電機驅動，粘塵刷毛(11)將成型產品表面的廢料渣掃起并吸附在粘塵刷毛(11)表面，吸附有廢料渣的粘塵刷毛(11)轉動過程中通過梳齒(903)之間的縫隙，從而粘塵刷毛(11)上粘附的廢料渣被刷下并落在進塵導板(902)表面，由于吸塵器(12)的作用，進塵口(904)位置處產生強大吸力，將進塵導板(902)表面的廢料渣吸進吸塵箱(901)內部，并最終通過管道進入到集塵箱(20)中；

步驟三、形狀測量：對剪切完成的產品形狀測量，將蓋板(603)拉出滑座(602)，使測量組件(604)的頂部露出，成型產品移動到傳送帶(4)的末端時滑落到測量機構(6)上，由于成型產品的自身重力作用，與成型產品所接觸的支撐板(6042)受到壓力向下移動，從而帶動滑柱(6043)向下移動，位于永久磁鐵(605)與電磁鐵組件(606)之間設置有繪圖紙，測量筆(6048)的底端與繪圖紙接觸并在繪圖紙上留下印記；

步驟四、繪制軌跡：形狀測量結束后可將測量機構(6)頂部的成型產品取走，然后按下控制開關(16)，使電磁鐵(6065)斷電，因此電磁鐵(6065)失去磁性，在彈簧(6064)的彈力作用下壓板(6062)被拉升，從而繪圖紙頂部無壓力束縛，從出紙導板(18)處取出繪圖紙，根據繪圖紙上的印記繪制出成型產品的形狀。