[發明專利]電子裝置及其制造方法在審
| 申請號: | 202111130397.2 | 申請日: | 2021-09-26 |
| 公開(公告)號: | CN115881788A | 公開(公告)日: | 2023-03-31 |
| 發明(設計)人: | 林辰宇 | 申請(專利權)人: | 群創光電股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L29/417 | 分類號: | H01L29/417;H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司: | 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205 | 代理人: | 宋興;黃健 |
| 地址: | 中國臺灣新竹科學工*** | 國省代碼: | 臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 電子 裝置 及其 制造 方法 | ||
1.一種電子裝置,其特征在于,包括:
基板;
半導體層,設置于所述基板上;
漏極電極,電性連接至所述半導體層;
源極電極,電性連接至所述半導體層;以及
絕緣層,設置于所述源極電極與所述漏極電極之間,
其中所述源極電極與所述漏極電極至少部分重疊。
2.根據權利要求1所述的電子裝置,其特征在于,所述絕緣層設置于所述漏極電極上,所述源極電極設置于所述絕緣層上,所述絕緣層包括第一孔洞,且所述源極電極通過所述第一孔洞電性連接至所述半導體層。
3.根據權利要求1所述的電子裝置,其特征在于,所述絕緣層設置于所述源極電極上,所述漏極電極設置于所述絕緣層上,所述絕緣層包括第二孔洞,且所述漏極電極通過所述第二孔洞電性連接至所述半導體層。
4.根據權利要求1所述的電子裝置,其特征在于,還包括:
像素電極,電性連接至所述漏極電極。
5.根據權利要求1所述的電子裝置,其特征在于,所述漏極電極與所述源極電極包含金屬材料。
6.根據權利要求1所述的電子裝置,其特征在于,所述絕緣層的厚度介于1100埃至4600埃之間。
7.根據權利要求6所述的電子裝置,其特征在于,所述絕緣層為無機絕緣層。
8.一種電子裝置的制造方法,其特征在于,包括:
提供基板;
形成半導體層于所述基板上;
形成漏極電極,以電性連接至所述半導體層;
形成源極電極,以電性連接至所述半導體層;以及
形成絕緣層于所述源極電極與所述漏極電極之間,其中所述源極電極與所述漏極電極至少部分重疊。
9.根據權利要求8所述的電子裝置的制造方法,其特征在于,所述絕緣層設置于所述漏極電極上,所述源極電極設置于所述絕緣層上,所述絕緣層包括第一孔洞,且所述源極電極通過所述第一孔洞電性連接至所述半導體層。
10.根據權利要求8所述的電子裝置的制造方法,其特征在于,所述絕緣層設置于所述源極電極上,所述漏極電極設置于所述絕緣層上,所述絕緣層包括第二孔洞,且所述漏極電極通過所述第二孔洞電性連接至所述半導體層。
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