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[發明專利]電子裝置及其制造方法在審

專利信息
申請號: 202111130397.2 申請日: 2021-09-26
公開(公告)號: CN115881788A 公開(公告)日: 2023-03-31
發明(設計)人: 林辰宇 申請(專利權)人: 群創光電股份有限公司
主分類號: H01L29/417 分類號: H01L29/417;H01L29/78;H01L21/336
代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205 代理人: 宋興;黃健
地址: 中國臺灣新竹科學工*** 國省代碼: 臺灣;71
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 電子 裝置 及其 制造 方法
【權利要求書】:

1.一種電子裝置,其特征在于,包括:

基板;

半導體層,設置于所述基板上;

漏極電極,電性連接至所述半導體層;

源極電極,電性連接至所述半導體層;以及

絕緣層,設置于所述源極電極與所述漏極電極之間,

其中所述源極電極與所述漏極電極至少部分重疊。

2.根據權利要求1所述的電子裝置,其特征在于,所述絕緣層設置于所述漏極電極上,所述源極電極設置于所述絕緣層上,所述絕緣層包括第一孔洞,且所述源極電極通過所述第一孔洞電性連接至所述半導體層。

3.根據權利要求1所述的電子裝置,其特征在于,所述絕緣層設置于所述源極電極上,所述漏極電極設置于所述絕緣層上,所述絕緣層包括第二孔洞,且所述漏極電極通過所述第二孔洞電性連接至所述半導體層。

4.根據權利要求1所述的電子裝置,其特征在于,還包括:

像素電極,電性連接至所述漏極電極。

5.根據權利要求1所述的電子裝置,其特征在于,所述漏極電極與所述源極電極包含金屬材料。

6.根據權利要求1所述的電子裝置,其特征在于,所述絕緣層的厚度介于1100埃至4600埃之間。

7.根據權利要求6所述的電子裝置,其特征在于,所述絕緣層為無機絕緣層。

8.一種電子裝置的制造方法,其特征在于,包括:

提供基板;

形成半導體層于所述基板上;

形成漏極電極,以電性連接至所述半導體層;

形成源極電極,以電性連接至所述半導體層;以及

形成絕緣層于所述源極電極與所述漏極電極之間,其中所述源極電極與所述漏極電極至少部分重疊。

9.根據權利要求8所述的電子裝置的制造方法,其特征在于,所述絕緣層設置于所述漏極電極上,所述源極電極設置于所述絕緣層上,所述絕緣層包括第一孔洞,且所述源極電極通過所述第一孔洞電性連接至所述半導體層。

10.根據權利要求8所述的電子裝置的制造方法,其特征在于,所述絕緣層設置于所述源極電極上,所述漏極電極設置于所述絕緣層上,所述絕緣層包括第二孔洞,且所述漏極電極通過所述第二孔洞電性連接至所述半導體層。

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2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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