[發(fā)明專利]光學(xué)感測(cè)裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111128800.8
• 申請(qǐng)日: 2021-09-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN115881738A
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-03-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 萬(wàn)瑋琳;劉侑宗;李淂裕
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 群創(chuàng)光電股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L27/146
• 分類號(hào): H01L27/146;H10K39/34
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨

本發(fā)明提供一種光學(xué)感測(cè)裝置，其包括一基板；一光感測(cè)元件，設(shè)置于所述基板上；一遮光層，設(shè)置于所述光感測(cè)元件上，包括一第一開(kāi)孔重疊所述光感測(cè)元件；一絕緣層，設(shè)置于所述遮光層上，包括一第二開(kāi)孔重疊所述第一開(kāi)孔；一遮光元件，設(shè)置于所述第二開(kāi)孔的一孔壁上；以及一集光元件，設(shè)置于所述絕緣層上，以及重疊所述第二開(kāi)孔。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種光學(xué)感測(cè)裝置，尤指一種可使光準(zhǔn)直的光學(xué)感測(cè)裝置。

背景技術(shù)

通過(guò)光準(zhǔn)直結(jié)構(gòu)，光學(xué)感測(cè)裝置可調(diào)整光的行進(jìn)方向，例如將雜散光(例如反射光等非來(lái)自光源的光)調(diào)整為準(zhǔn)直光。一般而言，光準(zhǔn)直結(jié)構(gòu)可為陣列結(jié)構(gòu)，其可包括多層孔徑層(aperture layer)。在既有的光學(xué)感測(cè)裝置制程中，多層孔徑層可通過(guò)通過(guò)多層膜來(lái)制作，以形成透鏡聚焦所須的距離。然而，厚膜通常通過(guò)通過(guò)有機(jī)材料來(lái)制作，不僅須耗費(fèi)較高的材料成本，且涉及繁復(fù)的制程。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種光學(xué)感測(cè)裝置，其包括一基板；一光感測(cè)元件，設(shè)置于所述基板上；一遮光層，設(shè)置于所述光感測(cè)元件上，包括一第一開(kāi)孔重疊所述光感測(cè)元件；一絕緣層，設(shè)置于所述遮光層上，包括一第二開(kāi)孔重疊所述第一開(kāi)孔；一遮光元件，設(shè)置于所述第二開(kāi)孔的一孔壁上；以及一集光元件，設(shè)置于所述絕緣層上，以及重疊所述第二開(kāi)孔。

本發(fā)明另提供一種光學(xué)感測(cè)裝置，其包括一基板；一光感測(cè)元件，設(shè)置于所述基板上；一遮光層，設(shè)置于所述光感測(cè)元件上，包括一第一開(kāi)孔重疊所述光感測(cè)元件；一絕緣層，設(shè)置于所述遮光層上，包括一第二開(kāi)孔重疊所述第一開(kāi)孔；以及一集光元件，設(shè)置于所述絕緣層上，至少一部分的所述集光元件位于所述第二開(kāi)孔內(nèi)；其中，所述絕緣層的一第一折射率大于所述集光元件的一第二折射率。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例一光學(xué)感測(cè)裝置的示意圖。

圖2為本發(fā)明實(shí)施例一光學(xué)感測(cè)裝置的示意圖。

圖3為本發(fā)明實(shí)施例一光學(xué)感測(cè)裝置的示意圖。

圖4為本發(fā)明實(shí)施例一光學(xué)感測(cè)裝置的示意圖。

圖5為本發(fā)明實(shí)施例一集光元件計(jì)算球面鏡曲率半徑的示意圖。

圖6為本發(fā)明實(shí)施例一光學(xué)感測(cè)裝置的示意圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明：10、20、30、40、60-光學(xué)感測(cè)裝置；100-基板；101-第一半導(dǎo)體層；102-第一絕緣層；103-第一導(dǎo)電層；104-第二絕緣層；105-第二導(dǎo)電層；106-第三絕緣層；107-第三導(dǎo)電層；108-第四絕緣層；109-第四導(dǎo)電層；110-第五絕緣層；112-光感測(cè)元件；1120-第二半導(dǎo)體層；1121-本質(zhì)半導(dǎo)體層；1122-第三半導(dǎo)體層；113-第五導(dǎo)電層；120-遮光層；122-第一開(kāi)孔；130-第六絕緣層；131-第六絕緣層的上表面；132-第二開(kāi)孔；133-第二開(kāi)孔的孔壁；134-遮光元件；140-集光元件；WB1-第一底部寬度；WB2-第二底部寬度；WB3-第三底部寬度；WT2-第二頂部寬度；P1-第一光路徑；P2-第二光路徑；N1-第一折射率；N2-第二折射率；N3-第三折射率；R-弦；R’-球面鏡曲率半徑；F-聚焦距離；LT-第一厚度；OT-第二厚度；PT-第三厚度；ST-第四厚度；CP1、CP2、CP3-端點(diǎn)；CT-球面鏡球心；θ-夾角。

具體實(shí)施方式

通過(guò)參考以下的詳細(xì)描述并同時(shí)結(jié)合附圖可以理解本發(fā)明，須注意的是，為了使讀者能容易了解及為了圖式的簡(jiǎn)潔，本發(fā)明中的多張圖式只繪出光學(xué)感測(cè)裝置的一部分，且圖式中的特定元件并非依照實(shí)際比例繪圖。此外，圖中各元件的數(shù)量及尺寸僅作為示意，并非用來(lái)限制本發(fā)明的范圍。

本發(fā)明通篇說(shuō)明書(shū)與權(quán)利要求中會(huì)使用某些詞匯來(lái)指稱特定元件。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)理解，電子設(shè)備制造商可能會(huì)以不同的名稱來(lái)指稱相同的元件。本文并不意在區(qū)分那些功能相同但名稱不同的元件。