[發明專利]一種柔性鍍膜設備的真空腔室

有效

• 申請號: 202111123914.3
• 申請日: 2021-09-24
• 公開（公告）號: CN113862632B
• 公開（公告）日: 2023-06-30
• 發明（設計）人: 蘇艷波;劉文麗;于文寶;尤田;吳子敬
• 申請（專利權）人: 北京北方華創真空技術有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/35
• 代理公司: 北京維正專利代理有限公司 11508
• 代理人: 張嶺

本申請涉及一種真空腔室，尤其是涉及一種柔性鍍膜設備的真空腔室，其技術方案要點是：一種柔性鍍膜設備的真空腔室包括濺鍍腔室、主鼓以及陰極組件；濺鍍腔室內部設置有隔艙機構，隔艙機構包括前法蘭和后法蘭，前法蘭與后法蘭之間設置有隔艙，隔艙設置在主鼓的一側并沿主鼓的軸線方向延伸；隔艙靠近主鼓的一側開設有用于連通隔艙與濺鍍腔室的濺鍍窗口，濺鍍窗口沿隔艙的長度方向延伸，且濺鍍窗口的兩端分別設置有能夠隔艙長度方向滑動的遮板，遮板的寬度不小于濺鍍窗口的寬度；達到了實現鍍膜幅寬的調整，以適用于對不同幅寬規格的柔性薄膜的鍍制的目的。

技術領域

本申請涉及一種真空腔室，尤其是涉及一種柔性鍍膜設備的真空腔室。

背景技術

目前，柔性導電薄膜沉積技術已在柔性觸摸屏以及鋰電池等行業廣泛推廣，柔性薄膜通過卷繞鍍膜設備在真空環境下完成鍍制。

當前業界主要通過在濺鍍腔室內設置多個隔艙，將濺鍍腔室分為多個等容積或不等容積的磁控濺射空間，在每個磁控濺射空間內對各個柔性薄膜卷單獨進行相同靶材材質濺鍍物的濺射；具體的，濺鍍腔室的一側設置有陰極組件，陰極組件包括能夠插入隔艙內部的靶材；濺鍍腔室的另一側設置有能夠置入濺鍍腔室內部并用于放置柔性薄膜的卷繞組件，具體的，卷繞組件包括能夠圍繞自身軸線定軸轉動的主鼓，柔性薄膜貼合在主鼓的周面上。

針對當前業界的柔性鍍膜設備，發明人發現一些相關技術中的柔性鍍膜設備存在的各種問題：1、鍍膜幅寬為固定規格，無法適應不同幅寬規格的柔性薄膜；2、濺鍍物易繞鍍在柔性薄膜卷意外的區域；3、不同隔艙之間易發生工藝氣體串氣的情況，進而影響鍍膜質量。

發明內容

為了實現鍍膜幅寬的調整，以適用于對不同幅寬規格的柔性薄膜的鍍制，本申請提供一種柔性鍍膜設備的真空腔室。

本申請提供的一種柔性鍍膜設備的真空腔室采用如下的技術方案：

一種柔性鍍膜設備的真空腔室，包括濺鍍腔室、主鼓以及陰極組件；濺鍍腔室內部設置有隔艙機構，隔艙機構包括前法蘭和后法蘭，前法蘭與后法蘭之間設置有隔艙，隔艙設置在主鼓的一側并沿主鼓的軸線方向延伸；隔艙靠近主鼓的一側開設有用于連通隔艙與濺鍍腔室的濺鍍窗口，濺鍍窗口沿隔艙的長度方向延伸，且濺鍍窗口的兩端分別設置有能夠隔艙長度方向滑動的遮板，遮板的寬度不小于濺鍍窗口的寬度。

通過采用上述技術方案，濺鍍物通過濺鍍窗口濺射在貼合于主鼓周面上的柔性薄膜表面，實現對柔性薄膜的鍍制；當需要對幅寬較小的柔性薄膜進行鍍制時，滑動兩個遮板以使兩個遮板向相互靠近的方向移動，以增大對濺鍍窗口的遮擋面積即減小濺鍍窗口的有效幅寬，進而減小了濺鍍物的有效濺射面積；當需要對幅寬較大的柔性薄膜進行鍍制時，滑動兩個遮板以使兩個遮板向相互背離的方向移動，以減小對濺鍍窗口的遮擋面積即增大濺鍍窗口的有效幅寬，進而增大了濺鍍物的有效濺射面積；綜上，本申請實現了鍍膜幅寬的調整，以適用于對不同幅寬規格的柔性薄膜的鍍制。

可選的，隔艙的外周面上固定有蓋板，濺鍍窗口開設在蓋板上；遮板上穿設有多個滑動螺釘，滑動螺釘上旋擰有位于遮板背離蓋板一側的定位螺母；蓋板上開設有供滑動螺釘沿隔艙長度方向滑動的調節槽，定位螺母用于將遮板壓緊在蓋板上。

通過采用上述技術方案，當需要滑動遮板時，推拉遮板以使滑動螺釘在調節槽內部沿隔艙的長度方向滑動，進而實現對遮板滑動的導向作用；定位螺母的設置，實現對遮板的固定作用，防止在濺鍍物濺射的過程中，由于遮板的移動而導致鍍膜幅寬的波動，進而導致鍍膜效果變差。

可選的，隔艙設置有多個并圍繞主鼓的軸線分布；相鄰隔艙之間設置有擋板，擋板沿隔艙的長度方向延伸并沿主鼓的徑向延伸，擋板可拆卸連接于前法蘭與后法蘭之間。