[發明專利]一種柔性鍍膜設備的真空腔室

有效

• 申請號: 202111123914.3
• 申請日: 2021-09-24
• 公開（公告）號: CN113862632B
• 公開（公告）日: 2023-06-30
• 發明（設計）人: 蘇艷波;劉文麗;于文寶;尤田;吳子敬
• 申請（專利權）人: 北京北方華創真空技術有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/35
• 代理公司: 北京維正專利代理有限公司 11508
• 代理人: 張嶺

1.一種柔性鍍膜設備的真空腔室，包括濺鍍腔室(1)、主鼓(22)以及陰極組件(8)；其特征在于：濺鍍腔室(1)內部設置有隔艙機構(3)，隔艙機構(3)包括前法蘭(31)和后法蘭(32)，前法蘭(31)與后法蘭(32)之間設置有隔艙(33)，隔艙(33)設置在主鼓(22)的一側并沿主鼓(22)的軸線方向延伸；隔艙(33)靠近主鼓(22)的一側開設有用于連通隔艙(33)與濺鍍腔室(1)的濺鍍窗口(34)，濺鍍窗口(34)沿隔艙(33)的長度方向延伸，且濺鍍窗口(34)的兩端分別設置有能夠沿隔艙(33)長度方向滑動的遮板(351)，遮板(351)的寬度不小于濺鍍窗口(34)的寬度。

2.根據權利要求1所述的一種柔性鍍膜設備的真空腔室，其特征在于：隔艙(33)的外周面上固定有蓋板(353)，濺鍍窗口(34)開設在蓋板(353)上；遮板(351)上穿設有多個滑動螺釘(355)，滑動螺釘(355)上旋擰有位于遮板(351)背離蓋板(353)一側的定位螺母(356)；蓋板(353)上開設有供滑動螺釘(355)沿隔艙(33)長度方向滑動的調節槽(354)，定位螺母(356)用于將遮板(351)壓緊在蓋板(353)上。

3.根據權利要求2所述的一種柔性鍍膜設備的真空腔室，其特征在于：隔艙(33)設置有多個并圍繞主鼓(22)的軸線分布；相鄰隔艙(33)之間設置有擋板(4)，擋板(4)沿隔艙(33)的長度方向延伸并沿主鼓(22)的徑向延伸，擋板(4)可拆卸連接于前法蘭(31)與后法蘭(32)之間。

4.根據權利要求3所述的一種柔性鍍膜設備的真空腔室，其特征在于：調節槽(354)為階梯槽，定位螺母(356)的頭部下沉至調節槽(354)內部；蓋板(353)上可拆卸連接有用于密封調節槽(354)的蓋片(357)。

5.根據權利要求3或4所述的一種柔性鍍膜設備的真空腔室，其特征在于：蓋板(353)上設置有兩個沿濺鍍窗口(34)長度方向延伸的側沿(358)，兩個側沿(358)分別靠近濺鍍窗口(34)的兩個長邊設置，側沿(358)向蓋板(353)背離隔艙(33)內部的一側延伸。

6.根據權利要求5所述的一種柔性鍍膜設備的真空腔室，其特征在于：兩個遮板(351)相互靠近的一端設置有位于濺鍍窗口(34)內部的折邊(359)，折邊(359)向遮板(351)背離隔艙(33)內部的方向延伸，且折邊(359)沿濺鍍窗口(34)的寬度方向延伸；折邊(359)背離遮板(351)的一側形狀為與主鼓(22)同軸分布的圓弧，所述圓弧的半徑大于主鼓(22)的半徑。

7.根據權利要求2-6任一項所述的一種柔性鍍膜設備的真空腔室，其特征在于：蓋板(353)與遮板(351)之間存在空隙，蓋板(353)靠近遮板(351)的一側設置有多條冷卻水道(5)，冷卻水道(5)外接有冷卻水源。

8.根據權利要求1所述的一種柔性鍍膜設備的真空腔室，其特征在于：主鼓(22)設置在濺鍍腔室(1)的一側，濺鍍腔室(1)背離主鼓(22)的一側敞開，濺鍍腔室(1)的內壁上設置有沿主鼓(22)軸線方向延伸的軌道(11)；前法蘭(31)與后法蘭(32)之間設置有多個沿主鼓(22)軸線方向延伸的滑軌(36)，滑軌(36)與軌道(11)相適配。

9.根據權利要求1所述的一種柔性鍍膜設備的真空腔室，其特征在于：隔艙(33)內部設置有氣管(6)，氣管(6)外接有工藝氣體源；隔艙(33)的一側設置有與隔艙(33)內部連通的真空管道(71)，真空管道(71)外接有真空系統。

10.根據權利要求1所述的一種柔性鍍膜設備的真空腔室，其特征在于：還包括陰極組件(8)，陰極組件(8)包括能夠與前法蘭(31)貼合的陰極板(81)，陰極板(81)上設置有能夠插入隔艙(33)內部的靶材(82)，前法蘭(31)上開設有供靶材(82)穿過的艙口(311)；艙口(311)的邊緣處設置有密封圈(9)。