[發(fā)明專利]一種閾值電壓為負的開關(guān)器件的閾值電壓測試方法及系統(tǒng)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202111112577.8 | 申請日： | 2021-09-18 |
| 公開（公告）號： | CN113702824A | 公開（公告）日： | 2021-11-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 周福斌;任永碩;王榮華;梁輝南 | 申請（專利權(quán)）人： | 大連芯冠科技有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/327 | 分類號： | G01R31/327;G01R19/00 |
| 代理公司： | 大連東方專利代理有限責(zé)任公司 21212 | 代理人： | 姜玉蓉;李洪福 |
| 地址： | 116000 遼寧省大連市高新*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 閾值 電壓 開關(guān) 器件 測試 方法 系統(tǒng) | ||
本發(fā)明提供一種閾值電壓為負的開關(guān)器件的閾值電壓測試方法及系統(tǒng)。本發(fā)明方法，包括：將閾值電壓為負的開關(guān)器件作為被測試器件；將被測試器件的柵源之間通過外接電阻連接，漏柵端施加偏壓，量測得到漏源電流與柵源電流的總電流；基于總電流與柵源間的外接電阻計算被測器件的柵源電壓或直接量測；對漏源電流與柵源電流的和與柵源電壓進行擬合，取指定的漏源電流對應(yīng)的柵源電壓即為閾值電壓。本發(fā)明通過向被測器件的漏柵端施加偏壓，使其在一瞬間為導(dǎo)通狀態(tài)，和連接電阻動態(tài)平衡，形成半導(dǎo)通狀態(tài)，通過電阻兩端電壓控制柵源電壓，從而控制漏源電流，形成動態(tài)平衡，通過不斷切換電阻阻值，得出多組柵源電壓和漏源電流進行擬合，從而得到閾值電壓。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及閾值電壓測試技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，尤其涉及一種閾值電壓為負的開關(guān)器件的閾值電壓測試方法及系統(tǒng)。
背景技術(shù)
VT測試方法是業(yè)界測試閾值電壓的一種常用方法，使用VT測試閾值電壓為負的MOS管閾值電壓原理，其閾值電壓的計算方法是根據(jù)柵極電壓(Vg)與漏極電流(Id)曲線的斜率，取漏極電流Id在固定電流下對應(yīng)的Vg，即為Vth。
目前測試閾值電壓為負的三端開關(guān)器件的閾值電壓，方法通常為，漏源之間施加固定偏壓，柵源間往往在比較大的電壓范圍內(nèi)以固定電壓間隔駐點掃描。測試完成后對數(shù)據(jù)進行如下分析，以柵源壓降為X軸，漏源電流為Y軸，進行曲線繪制，并截取指定的漏源電流對應(yīng)的柵源電壓即為閾值電壓(Vth)，此種測試方法測試效率較低，時間長。
另外傳統(tǒng)測試閾值電壓時至少需要兩個通道分別用于監(jiān)控漏源端、柵源端電壓和電流，而針對開關(guān)器件測試來說是有專項檢測漏源端、柵源端電壓和電流的，因此測試閾值電壓用到兩個通道是存在資源浪費的。
發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)上述提出的技術(shù)問題，而提供一種閾值電壓為負的開關(guān)器件的閾值電壓測試方法及系統(tǒng)。本發(fā)明方法應(yīng)用到被測試器件閾值電壓為負，且被器件為常開器件，當被測器件的漏柵端施加偏壓，被測器件在一瞬間為導(dǎo)通狀態(tài)，但同時和連接電阻形成動態(tài)平衡，形成半導(dǎo)通狀態(tài)，通過電阻兩端電壓控制柵源之間電壓，同時控制漏源端漏電，形成動態(tài)平衡，通過不斷切換電阻阻值，得出多組柵源電壓和漏源電流，通過漏源電流與柵源電壓擬合，取指定的漏源電流對應(yīng)的柵源電壓得到閾值電壓。
本發(fā)明采用的技術(shù)手段如下：
一種閾值電壓為負的開關(guān)器件的閾值電壓測試方法，包括：
S1、將閾值電壓為負的開關(guān)器件作為被測試器件；
S2、將被測試器件的柵源之間通過外接電阻R0連接，漏柵端施加偏壓V0，量測得到漏源電流與柵源電流的總電流I0；
S3、基于量測得到的總電流I0與柵源間的外接電阻R0計算出柵源電壓，或直接量測柵源電壓；
S4、對漏源電流與柵源電流的和與柵源電壓進行擬合，取指定的漏源電流對應(yīng)的柵源電壓即為閾值電壓。
進一步地，所述被測試器件為常開器件，具體為電壓驅(qū)動開關(guān)器件。
進一步地，所述步驟S2中，由于被測試器件為電壓驅(qū)動開關(guān)器件，其柵源漏電流小，當被測試器件工作在半開啟狀態(tài)下漏源電流遠大于柵源電流，因此量測得到的總電流約等于漏源電流。
進一步地，所述步驟S3中，根據(jù)公式Vgs＝Ids*R計算柵源電壓或直接量測柵源電壓，其中，Vgs表示柵源電壓，Ids表示漏源電流，R表示電阻。
進一步地，所述電阻的選取方法如下：
根據(jù)閾值電壓所指定的漏源電流Ids及根據(jù)器件設(shè)計的典型閾值電壓Vth，初步計算出連接的電阻阻值，計算公式為R＝Vth/Ids；
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于大連芯冠科技有限公司，未經(jīng)大連芯冠科技有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202111112577.8/2.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
