[發明專利]一種閾值電壓為負的開關器件的閾值電壓測試方法及系統

在審

• 申請號: 202111112577.8
• 申請日: 2021-09-18
• 公開（公告）號: CN113702824A
• 公開（公告）日: 2021-11-26
• 發明（設計）人: 周福斌;任永碩;王榮華;梁輝南
• 申請（專利權）人: 大連芯冠科技有限公司
• 主分類號: G01R31/327
• 分類號: G01R31/327;G01R19/00
• 代理公司: 大連東方專利代理有限責任公司 21212
• 代理人: 姜玉蓉;李洪福

1.一種閾值電壓為負的開關器件的閾值電壓測試方法，其特征在于，包括：

S1、將閾值電壓為負的開關器件作為被測試器件；

S2、將被測試器件的柵源之間通過外接電阻R0連接，漏柵端施加偏壓V0，量測得到漏源電流與柵源電流的總電流I0；

S3、基于量測得到的總電流I0與柵源間的外接電阻R0計算出柵源電壓，或直接量測柵源電壓；

S4、對漏源電流與柵源電流的和與柵源電壓進行擬合，取指定的漏源電流對應的柵源電壓即為閾值電壓。

2.根據權利要求1所述的閾值電壓為負的開關器件的閾值電壓測試方法，其特征在于，所述被測試器件為常開器件，具體為電壓驅動開關器件。

3.根據權利要求1所述的閾值電壓為負的開關器件的閾值電壓測試方法，其特征在于，所述步驟S2中，由于被測試器件為電壓驅動開關器件，其柵源漏電流小，當被測試器件工作在半開啟狀態下漏源電流遠大于柵源電流，因此量測得到的總電流約等于漏源電流。

4.根據權利要求1所述的閾值電壓為負的開關器件的閾值電壓測試方法，其特征在于，所述步驟S3中，根據公式V_gs＝I_ds*R計算柵源電壓，其中，V_gs表示柵源電壓，I_ds表示漏源電流，R表示電阻，或直接量測柵源電壓。

5.根據權利要求4所述的閾值電壓為負的開關器件的閾值電壓測試方法，其特征在于，所述電阻的選取方法如下：

根據閾值電壓所指定的漏源電流I_ds及根據器件設計的典型閾值電壓V_th，初步計算出連接的電阻阻值，計算公式為R＝V_th/I_ds；

根據閾值電壓所指定的漏源電流I_ds的大一量級及小一量級分別再計算出對應的電阻，并連接到測試電路中。

6.一種閾值電壓為負的開關器件的閾值電壓測試系統，其特征在于，包括：

量測模塊，將被測試器件的柵源之間通過外接電阻R0連接，漏柵端施加偏壓V0，量測得到漏源電流與柵源電流的總電流I0；

計算模塊，基于量測得到的總電流I0與柵源間的外接電阻R0計算出柵源電壓，或直接量測柵源電壓；

擬合模塊，對量測模塊量測得到的漏源電流與柵源電流的和與計算模塊得到的柵源電壓進行擬合，取指定的漏源電流對應的柵源電壓即為閾值電壓。

7.根據權利要求6所述的閾值電壓為負的開關器件的閾值電壓測試系統，其特征在于，所述量測模塊由于被測試器件為電壓驅動開關器件，其柵源漏電流小，當被測試器件工作在半開啟狀態下漏源電流遠大于柵源電流，因此量測得到的總電流約等于漏源電流。

8.根據權利要求6所述的閾值電壓為負的開關器件的閾值電壓測試系統，其特征在于，所述計算模塊利用公式V_gs＝I_ds*R計算柵源電壓，其中，V_gs表示柵源電壓，I_ds表示漏源電流，R表示電阻。

9.根據權利要求6所述的閾值電壓為負的開關器件的閾值電壓測試系統，其特征在于，所述系統還包括電阻選擇模塊，根據閾值電壓所指定的漏源電流I_ds及根據器件設計的典型閾值電壓V_th，初步計算出連接的電阻阻值，計算公式為R＝V_th/I_ds；根據閾值電壓所指定的漏源電流I_ds的大一量級及小一量級分別再計算出對應的電阻。