[發(fā)明專利]一種具有高解析度和優(yōu)異附著力的光致抗蝕劑在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202111109386.6 | 申請(qǐng)日: | 2021-09-22 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN113741147A | 公開(kāi)(公告)日: | 2021-12-03 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 劉罡 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 深圳惠美亞科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | G03F7/004 | 分類號(hào): | G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司: | 暫無(wú)信息 | 代理人: | 暫無(wú)信息 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市龍崗區(qū)坪*** | 國(guó)省代碼: | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 具有 解析度 優(yōu)異 附著力 光致抗蝕劑 | ||
本發(fā)明公開(kāi)了一種光致抗試劑,該光致抗蝕劑作為感光干膜的核心層,包含:50?70重量份的堿溶性樹(shù)脂、15?40重量份光聚合化合物、0.2?8.0重量份的光引發(fā)劑、0.1?2.0重量份其他助劑。上述光致抗蝕劑制成感光干膜后,顯影后具有高解析度、優(yōu)異的附著力及柔韌性、退膜快等優(yōu)點(diǎn),有利于提升下游電子產(chǎn)品的良品率。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及印刷電路板技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種解析度高、附著力及柔韌性優(yōu)異,退膜快的光致抗蝕劑。
背景技術(shù)
光致抗蝕劑又稱光刻膠,是一種光敏性組合材料。是在PCB(Printed wiringboard,印刷電路板)、LCD(Liquid crystal display,液晶顯示屏)、太陽(yáng)能電池、導(dǎo)體封裝、半導(dǎo)體封裝中被廣泛用作圖形轉(zhuǎn)移的核心材料,其質(zhì)量和性能對(duì)下游電子元器件的性能及成品率起著至關(guān)重要的作用。在PCB板的生產(chǎn)過(guò)程中,光致抗蝕劑通過(guò)光化學(xué)反應(yīng),經(jīng)曝光、顯影、蝕刻等工藝程序,將所需要的電路圖案從掩膜版轉(zhuǎn)移到待加工的基底材料上,如銅箔。
近年來(lái),隨著便捷式電子設(shè)備的進(jìn)一步流行,電子元器件呈現(xiàn)質(zhì)量更輕、厚度更薄、體積更小的發(fā)展趨勢(shì),這也促使其內(nèi)部的印刷線路線條寬度更加細(xì)小,基材和光致抗蝕劑的接觸面積也進(jìn)一步變小。這就使得對(duì)光致抗蝕劑的性能要求越來(lái)越高,如更高的解析度、優(yōu)良的附著力及柔韌性能。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于解決上述產(chǎn)品中出現(xiàn)的問(wèn)題,提供一種光致抗蝕劑,顯影后具有優(yōu)異的解析度、優(yōu)良的附著力和柔韌性,并且感光干膜脫膜快。
為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提出下述技術(shù)方案
本發(fā)明的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的一種感光干膜,它包含50-70重量份的堿溶性樹(shù)脂、20-40重量份光聚合化合物、0.2-8.0重量份的光引發(fā)劑、0.1-2.0重量份其他助劑。
作為本發(fā)明的進(jìn)一步的方案:所述堿溶性樹(shù)脂為(甲基)丙烯酸類樹(shù)脂、苯乙烯類樹(shù)脂、酚醛類樹(shù)脂、纖維素乙酸-鄰苯二價(jià)酸酯、乙基羥基乙基纖維素鄰苯二甲酸酯中的至少一種。
作為本發(fā)明的進(jìn)一步的方案:本發(fā)明優(yōu)選(甲基)丙烯酸類樹(shù)脂,所述(甲基)丙烯酸類樹(shù)脂為甲基丙烯酸類樹(shù)脂或丙烯酸樹(shù)脂,也可以是上述二者任意比例的混合物。
作為本發(fā)明的進(jìn)一步的方案:(甲基)丙烯酸樹(shù)脂由(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸四氫糠基酯、丙烯酸 2-羥基 -3-苯氧基丙酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯、(甲基 )丙烯酸丁酯、(甲基 )丙烯酸仲丁酯、(甲基 )丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸、丙烯酸月桂酯、( 甲基 ) 丙烯酸、(甲基)丙烯酸異辛酯、( 甲基 ) 丙烯酸 2- 羥基乙酯、( 甲基 ) 丙烯酸 3-羥基丙酯、(甲基 )丙烯酸 3-羥基丁酯、(甲基)丙烯酰胺、苯乙烯及 α-甲基苯乙烯中至少兩種合成。
作為本發(fā)明的進(jìn)一步的方案:所述光聚合化合物包含丙烯酸月桂酯、丙烯酸異癸酯、雙酚A二甲基丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、丙氧化壬基苯酚丙烯酸酯、N-乙烯基己內(nèi)酰胺及羥丁基乙烯基醚中的至少一種。
作為本發(fā)明的進(jìn)一步的方案:所述光引發(fā)劑為4,4’,5,5’‐四苯基二咪唑、2-(o-氯苯基 )-4,5- 二苯基二咪唑、2,4-三氯甲基-6-三嗪、二苯甲酮、苯偶姻雙甲醚、2‐異丙基噻噸酮、1,4- 二甲基巰基苯、N,N‐二甲基乙醇胺、季戊四醇四硫代甘醇酸酯、對(duì)叔丁基三氯苯乙酮、2,4-二甲基噻噸酮、芐基酮二甲基縮醛及2‐氯硫雜蒽酮中的一種及多種。
作為本發(fā)明的進(jìn)一步的方案:所述其他助劑包含稀釋劑、增塑劑、染色劑、成色劑、抗氧化劑、熱聚合抑制劑、消泡劑、阻燃劑和流平劑中的一種或多種。
作為本發(fā)明的進(jìn)一步的方案:所述染色劑為隱色結(jié)晶紫、品紅、酞菁綠、酞青藍(lán)、螢烷、孔雀綠、羅丹明中的一種或多種組成;優(yōu)選隱色結(jié)晶紫與酞青藍(lán)。
作為本發(fā)明的進(jìn)一步的方案:所述附著力促進(jìn)劑為硫醇化合物。
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