[發明專利]一種半導體生產設備

在審

• 申請號: 202111103881.6
• 申請日: 2021-09-22
• 公開（公告）號: CN113547651A
• 公開（公告）日: 2021-10-26
• 發明（設計）人: 郭旭;申長衛;馬威風
• 申請（專利權）人: 徐州恒華包裝科技有限公司
• 主分類號: B28D5/02
• 分類號: B28D5/02;B28D7/02;B28D7/04;B28D7/00;H01L29/06
• 代理公司: 北京和聯順知識產權代理有限公司 11621
• 代理人: 謝冰

本發明公開了一種半導體生產設備，屬于半導體技術領域。一種半導體生產設備，包括箱體，還包括：放置臺，安裝在所述箱體靠近出料口的一側；推板，通過滑槽滑動連接在所述放置臺上；驅動箱，安裝在所述箱體的一側；電機，固定連接在所述驅動箱上；曲軸，轉動連接在所述驅動箱內，且與所述電機的輸出端固定連接；第一活塞缸，安裝在所述驅動箱的下端；本發明可以自動推動半導體材料進行移動，有效的降低了工作人員的勞動量，同時還可以對每次推動的距離進行精準的控制，使切割的每片半導體材料的厚度都相同，有效的提高了切片的精準度和質量，解決了現有技術中，人工推動半導體材料導致每次切割的厚度都不相同的問題。

技術領域

本發明涉及半導體技術領域，尤其涉及一種半導體生產設備。

背景技術

半導體，指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料，半導體在集成電路、消費電子、通信系統、光伏發電、照明應用、大功率電源轉換等領域有著廣泛的應用，常見的半導體材料有硅、鍺、砷化鎵等。

硅晶是半導體加工的主要生產原料，在將硅晶打磨成圓柱之后，需要用到切片裝置對其進行切片作業，現有技術中，在對硅晶圓柱進行切片時，需要工作人員手動將硅晶圓柱向切片機的方向進行推動，自動化程度較低，不僅增加了工作人員的勞動量，還導致每次切割的厚度都不相同，切片的精準度和質量較低，因此，急需一種半導體生產設備來解決上述問題。

發明內容

本發明的目的是為了解決在對硅晶圓柱進行切片時，需要工作人員手動操作，自動化程度較低，切片的精準度和質量較低的問題，而提出的一種半導體生產設備。

為了實現上述目的，本發明采用了如下技術方案：一種半導體生產設備，包括箱體，還包括：放置臺，安裝在所述箱體靠近出料口的一側；推板，通過滑槽滑動連接在所述放置臺上；驅動箱，安裝在所述箱體的一側；電機，固定連接在所述驅動箱上；曲軸，轉動連接在所述驅動箱內，且與所述電機的輸出端固定連接；第一活塞缸，安裝在所述驅動箱的下端；第一活塞，滑動連接在所述第一活塞缸內，且與所述曲軸之間通過第一活塞桿轉動連接；氣筒，固定連接在所述箱體遠離出料口的一側，其中，所述氣筒的進氣口與第一活塞缸的出氣口通過連接管連接，所述第一活塞缸的進出氣口內均設有單向閥，所述氣筒的排氣口內設有電磁閥；移動桿，密封滑動連接在所述氣筒內，且與所述推板之間通過連接塊連接；回位彈簧，兩端分別與所述氣筒、移動桿固定連接；電動伸縮桿，固定連接在所述箱體內靠近出料口的一側；切片機，固定連接在所述電動伸縮桿的伸縮端。

為了便于對切片時產生的碎屑進行收集，優選地，所述驅動箱的上端安裝有第二活塞缸，所述第二活塞缸內滑動連接有第二活塞，所述第二活塞與曲軸之間通過第二活塞桿轉動連接，所述箱體內固定連接有集灰箱，所述集灰箱內固定連接有濾板，所述集灰箱的進灰口固定連接有吸塵管，所述吸塵管的吸塵口設置在箱體出料口的上方，所述集灰箱的抽氣口與第二活塞缸的進氣口通過吸氣管連接，所述第二活塞缸的進出氣口內均設有單向閥。

為了方便使用者觀察集灰箱內的碎屑是否已滿，進一步地，所述集灰箱由透明材質制成。

為了方便對碎屑進行排出，更進一步地是，所述集灰箱靠近吸塵管的一側設有排灰口，所述排灰口上滑動連接有密封塞，所述濾板與排灰口之間固定連接有導流板。

為了便于提高推板在移動時的穩定性，優選地，所述箱體內靠近放置臺的下端固定連接有限位桿，所述連接塊滑動連接在限位桿上。

為了防止切片機發生轉動，進一步地，所述電動伸縮桿內的伸縮軸為橢圓柱。

為了方便使用者觀察箱體內的工作情況，優選地，所述箱體的箱門上固定連接有觀察窗。

為了便于提高該設備的穩定性，進一步地，所述箱體下端固定連接有底座，所述底座的下端均勻分布有吸盤。