[發(fā)明專利]一種半導體生產(chǎn)設備

在審

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• 申請日: 2021-09-22
• 公開（公告）號: CN113547651A
• 公開（公告）日: 2021-10-26
• 發(fā)明（設計）人: 郭旭;申長衛(wèi);馬威風
• 申請（專利權）人: 徐州恒華包裝科技有限公司
• 主分類號: B28D5/02
• 分類號: B28D5/02;B28D7/02;B28D7/04;B28D7/00;H01L29/06
• 代理公司: 北京和聯(lián)順知識產(chǎn)權代理有限公司 11621
• 代理人: 謝冰

1.一種半導體生產(chǎn)設備，包括箱體（1），其特征在于，還包括：

放置臺（2），安裝在所述箱體（1）靠近出料口的一側；

推板（3），通過滑槽滑動連接在所述放置臺（2）上；

驅(qū)動箱（4），安裝在所述箱體（1）的一側；

電機（5），固定連接在所述驅(qū)動箱（4）上；

曲軸（6），轉(zhuǎn)動連接在所述驅(qū)動箱（4）內(nèi)，且與所述電機（5）的輸出端固定連接；

第一活塞缸（7），安裝在所述驅(qū)動箱（4）的下端；

第一活塞（9），滑動連接在所述第一活塞缸（7）內(nèi)，且與所述曲軸（6）之間通過第一活塞桿（11）轉(zhuǎn)動連接；

氣筒（13），固定連接在所述箱體（1）遠離出料口的一側，

其中，所述氣筒（13）的進氣口與第一活塞缸（7）的出氣口通過連接管連接，所述第一活塞缸（7）的進出氣口內(nèi)均設有單向閥，所述氣筒（13）的排氣口內(nèi)設有電磁閥；

移動桿（14），密封滑動連接在所述氣筒（13）內(nèi)，且與所述推板（3）之間通過連接塊連接；

回位彈簧（15），兩端分別與所述氣筒（13）、移動桿（14）固定連接；

電動伸縮桿（22），固定連接在所述箱體（1）內(nèi)靠近出料口的一側；

切片機（23），固定連接在所述電動伸縮桿（22）的伸縮端。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種半導體生產(chǎn)設備，其特征在于，所述驅(qū)動箱（4）的上端安裝有第二活塞缸（8），所述第二活塞缸（8）內(nèi)滑動連接有第二活塞（10），所述第二活塞（10）與曲軸（6）之間通過第二活塞桿（12）轉(zhuǎn)動連接，所述箱體（1）內(nèi)固定連接有集灰箱（17），所述集灰箱（17）內(nèi)固定連接有濾板（19），所述集灰箱（17）的進灰口固定連接有吸塵管（18），所述吸塵管（18）的吸塵口設置在箱體（1）出料口的上方，所述集灰箱（17）的抽氣口與第二活塞缸（8）的進氣口通過吸氣管連接，所述第二活塞缸（8）的進出氣口內(nèi)均設有單向閥。

3.根據(jù)權利要求2所述的一種半導體生產(chǎn)設備，其特征在于，所述集灰箱（17）由透明材質(zhì)制成。

4.根據(jù)權利要求3所述的一種半導體生產(chǎn)設備，其特征在于，所述集灰箱（17）靠近吸塵管（18）的一側設有排灰口，所述排灰口上滑動連接有密封塞（21），所述濾板（19）與排灰口之間固定連接有導流板（20）。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種半導體生產(chǎn)設備，其特征在于，所述箱體（1）內(nèi)靠近放置臺（2）的下端固定連接有限位桿（16），所述連接塊滑動連接在限位桿（16）上。

6.根據(jù)權利要求5所述的一種半導體生產(chǎn)設備，其特征在于，所述電動伸縮桿（22）內(nèi)的伸縮軸為橢圓柱。

7.根據(jù)權利要求1所述的一種半導體生產(chǎn)設備，其特征在于，所述箱體（1）的箱門上固定連接有觀察窗（102）。

8.根據(jù)權利要求6所述的一種半導體生產(chǎn)設備，其特征在于，所述箱體（1）下端固定連接有底座，所述底座的下端均勻分布有吸盤（101）。