[發明專利]一種微篩過濾器

在審

• 申請號: 202111094783.0
• 申請日: 2021-09-17
• 公開（公告）號: CN113740234A
• 公開（公告）日: 2021-12-03
• 發明（設計）人: 颯米穆薩
• 申請（專利權）人: 蘇州先米科技有限公司
• 主分類號: G01N15/10
• 分類號: G01N15/10;G01N1/34
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104
• 代理人: 曹祖良;陳麗麗

本發明涉及細胞分析技術領域，具體公開了一種微篩過濾器，其中，包括：第一基板和與第一基板相對設置的第二基板，第一基板朝向第二基板的表面依次形成第一導電層和光敏層，第二基板朝向第一基板的表面形成第二導電層，光敏層與第二導電層之間形成用于捕獲待分析樣品中的細胞的通道，第一基板上貫穿第一導電層和光敏層形成微篩孔陣列，第一導電層和第二導電層之間在加偏置電壓時能夠形成電場以捕獲位于通道內的待分析樣品中的細胞。本發明提供的微篩過濾器利用了光電鑷子的原理對微粒進行捕獲和運輸，從而解決了現有技術中通過機械鑷子等操作造成對微?；蜻^濾器的損傷問題。

技術領域

本發明涉及細胞分析技術領域，尤其涉及一種微篩過濾器。

背景技術

微篩過濾器是通過在金屬、硅、塑料等其它材料的平面基板上加工出微米量級的小孔陣列而制成，如圖1所示。微篩過濾器在醫療、制藥和食品等領域有著廣泛的應用。過濾器主要用于將微顆粒或細胞從流體中分離出來。很多應用場合需要將留存在過濾器上的細胞等顆粒移走或運輸以用于進一步的分析，當前尚無可靠的技術來實現這一目的。

雖然目前有通過機械鑷子來拾取微篩過濾器表面上的細胞等微粒并將它們運輸至目標位置，但這一方式通常會對微粒或過濾器造成損傷。

發明內容

本發明提供了一種微篩過濾器，解決相關技術中存在的機械鑷子等對微?；蜻^濾器造成的損傷等問題。

作為本發明的第一個方面，提供一種微篩過濾器，其中，包括：第一基板和與所述第一基板相對設置的第二基板，所述第一基板朝向所述第二基板的表面依次形成第一導電層和光敏層，所述第二基板朝向所述第一基板的表面形成第二導電層，所述光敏層與所述第二導電層之間形成用于捕獲待分析樣品中的細胞的通道，所述第一基板上貫穿所述第一導電層和光敏層形成微篩孔陣列，所述第一導電層和所述第二導電層之間在加偏置電壓時能夠形成電場以捕獲位于所述通道內的待分析樣品中的細胞。

進一步地，所述第一基板背離所述第一導電層的一側設置聚焦物鏡，透過所述聚焦物鏡進入所述第一基板的光能夠在所述光敏層上產生光斑。

進一步地，所述第一導電層和所述第二導電層均包括氧化銦錫薄膜。

進一步地，所述光敏層包括氫化非晶硅薄膜。

進一步地，所述第一基板和所述第二基板均包括載玻片。

作為本發明的另一個方面，提供一種微篩過濾器，其中，包括：基板，所述基板上依次形成光敏層和導電層，所述基板背離所述光敏層的表面形成支撐柱，所述基板上貫穿所述導電層和光敏層形成微篩孔陣列，所述導電層在所述光敏層上呈多個折彎狀結構以形成交錯電極，所述交錯電極的兩端在加偏置電壓時能夠形成電場以捕獲位于折彎狀結構中的待分析樣品中的細胞。

進一步地，所述導電層的上方設置聚焦物鏡，透過所述聚焦物鏡進入的光能夠在所述光敏層上產生光斑。

進一步地，所述基板與所述光敏層之間設置氮化硅薄膜，且所述氮化硅薄膜上打孔后形成所述微篩孔陣列。

進一步地，所述基板包括硅基板，所述基板背離所述光敏層的表面被刻蝕后形成硅支撐柱。

進一步地，所述導電層包括氧化銦錫薄膜，所述光敏層包括氫化非晶硅薄膜。

本發明提供的微篩過濾器，通過位于兩個基板之間的導電層形成電場，以及通過光敏層形成光斑，能夠使得在兩個導電層之間施加偏置電壓時，位于通道內的待分析樣品中的細胞被捕獲，這種微篩過濾器利用了光電鑷子的原理對微粒進行捕獲和運輸，捕獲功能還可用于拾取并運輸諸如細胞和細菌等附著在過濾器表面的細微物體，從而解決了現有技術中通過機械鑷子等操作造成對微?；蜻^濾器的損傷問題。

附圖說明

附圖是用來提供對本發明的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與下面的具體實施方式一起用于解釋本發明，但并不構成對本發明的限制。