[發明專利]一種微篩過濾器

在審

• 申請號: 202111094783.0
• 申請日: 2021-09-17
• 公開（公告）號: CN113740234A
• 公開（公告）日: 2021-12-03
• 發明（設計）人: 颯米穆薩
• 申請（專利權）人: 蘇州先米科技有限公司
• 主分類號: G01N15/10
• 分類號: G01N15/10;G01N1/34
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104
• 代理人: 曹祖良;陳麗麗

1.一種微篩過濾器，其特征在于，包括：第一基板和與所述第一基板相對設置的第二基板，所述第一基板朝向所述第二基板的表面依次形成第一導電層和光敏層，所述第二基板朝向所述第一基板的表面形成第二導電層，所述光敏層與所述第二導電層之間形成用于捕獲待分析樣品中的細胞的通道，所述第一基板上貫穿所述第一導電層和光敏層形成微篩孔陣列，所述第一導電層和所述第二導電層之間在加偏置電壓時能夠形成電場以捕獲位于所述通道內的待分析樣品中的細胞。

2.根據權利要求1所述的微篩過濾器，其特征在于，所述第一基板背離所述第一導電層的一側設置聚焦物鏡，透過所述聚焦物鏡進入所述第一基板的光能夠在所述光敏層上產生光斑。

3.根據權利要求1所述的微篩過濾器，其特征在于，所述第一導電層和所述第二導電層均包括氧化銦錫薄膜。

4.根據權利要求1所述的微篩過濾器，其特征在于，所述光敏層包括氫化非晶硅薄膜。

5.根據權利要求1所述的微篩過濾器，其特征在于，所述第一基板和所述第二基板均包括載玻片。

6.一種微篩過濾器，其特征在于，包括：基板，所述基板上依次形成光敏層和導電層，所述基板背離所述光敏層的表面形成支撐柱，所述基板上貫穿所述導電層和光敏層形成微篩孔陣列，所述導電層在所述光敏層上呈多個折彎狀結構以形成交錯電極，所述交錯電極的兩端在加偏置電壓時能夠形成電場以捕獲位于折彎狀結構中的待分析樣品中的細胞。

7.根據權利要求6所述的微篩過濾器，其特征在于，所述導電層的上方設置聚焦物鏡，透過所述聚焦物鏡進入的光能夠在所述光敏層上產生光斑。

8.根據權利要求6所述的微篩過濾器，其特征在于，所述基板與所述光敏層之間設置氮化硅薄膜，且所述氮化硅薄膜上打孔后形成所述微篩孔陣列。

9.根據權利要求6所述的微篩過濾器，其特征在于，所述基板包括硅基板，所述基板背離所述光敏層的表面被刻蝕后形成硅支撐柱。

10.根據權利要求6所述的微篩過濾器，其特征在于，所述導電層包括氧化銦錫薄膜，所述光敏層包括氫化非晶硅薄膜。