[發(fā)明專利]一種適用于電子級(jí)氨氣與氨水的生產(chǎn)裝置及其生產(chǎn)方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111094020.6
• 申請(qǐng)日: 2021-09-17
• 公開（公告）號(hào): CN113603113A
• 公開（公告）日: 2021-11-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉尚文;陳云斌;顧海燕;孫振波;張金霞;齊慶辰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江建業(yè)微電子材料有限公司;浙江建業(yè)化工股份有限公司
• 主分類號(hào): C01C1/02
• 分類號(hào): C01C1/02;B01D3/00;B01D3/14;B01D53/18;B01D53/14;B01D53/22
• 代理公司: 杭州裕陽(yáng)聯(lián)合專利代理有限公司 33289
• 代理人: 盛影影

本發(fā)明公開了一種適用于電子級(jí)氨氣與氨水的生產(chǎn)裝置及其生產(chǎn)方法，涉及化工技術(shù)領(lǐng)域，包括依次連通的蒸發(fā)器、氣液分離器、吸附裝置、第一精餾裝置、第二精餾裝置、第一洗滌裝置、第二洗滌裝置、吸收裝置和過(guò)濾裝置；其中，第一精餾裝置和第二精餾裝置之間設(shè)有熱耦合裝置，第二精餾裝置具有塔頂出氣口、第一進(jìn)口和第二進(jìn)口，熱耦合裝置具有液氨進(jìn)口、熱氣進(jìn)口、熱氣出口和液氨出口，液氨出口與第一進(jìn)口相連通，第一精餾裝置與第二進(jìn)口相連通，塔頂出氣口分別與熱氣進(jìn)口、第一洗滌裝置和氨氣儲(chǔ)存裝置相連通。本申請(qǐng)中的生產(chǎn)裝置可以同時(shí)適用于電子級(jí)氨氣與電子級(jí)氨水的生產(chǎn)，且提高了能耗利用率，進(jìn)而降低了生產(chǎn)成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及化工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種適用于電子級(jí)氨氣與氨水的生產(chǎn)裝置及其生產(chǎn)方法。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，對(duì)濕電子化學(xué)品的微量金屬雜質(zhì)含量、顆粒粒徑和數(shù)量、陰離子雜質(zhì)含量等方面要求越來(lái)越嚴(yán)，市場(chǎng)越來(lái)越需要更加超純的電子級(jí)化學(xué)品及氣體。目前，電子級(jí)氨氣與電子級(jí)氨水是半導(dǎo)體行業(yè)常用的主要超純化學(xué)材料，在集成電路、LCD等制造行業(yè)中有著重要作用，其中，電子級(jí)氨氣主要用于芯片的清洗、蝕刻、摻雜和沉淀工藝，電子級(jí)氨水在集成電路行業(yè)中主要利用其弱堿性去除硅晶圓表面附著的顆粒和有機(jī)物，對(duì)于硅、鈷金屬離子常用其與雙氧水的混合液進(jìn)行蝕刻；即電子級(jí)氨水廣泛應(yīng)用于在芯片的清洗及蝕刻工藝。然而，電子級(jí)氨氣與電子級(jí)氨水的制備方法雖然有很多種，但現(xiàn)有技術(shù)中的制備方法以及所涉及到的生產(chǎn)裝置功能性單一，即只能單一的生產(chǎn)電子級(jí)氨氣或者電子級(jí)氨水，難以同時(shí)適用于電子級(jí)氨氣與電子級(jí)氨水的制備。同時(shí)，不管是電子級(jí)氨氣還是電子級(jí)氨水的制備方法，在精餾過(guò)程中仍存在能耗利用率低而導(dǎo)致生產(chǎn)成本高的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

1、發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中電子級(jí)氨氣或者電子級(jí)氨水的生產(chǎn)方法無(wú)法滿足同時(shí)適用于電子級(jí)氨氣與電子級(jí)氨水的生產(chǎn)的技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種適用于電子級(jí)氨氣與氨水的生產(chǎn)裝置及其生產(chǎn)方法，它不僅可以同時(shí)適用于電子級(jí)氨氣與電子級(jí)氨水的生產(chǎn)，且能耗利用率高，生產(chǎn)成本低。

2、技術(shù)方案

為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供的技術(shù)方案為：

一種適用于電子級(jí)氨氣與氨水的生產(chǎn)裝置，包括依次連通的蒸發(fā)器、氣液分離器、吸附裝置、第一精餾裝置、第二精餾裝置、第一洗滌裝置、第二洗滌裝置、吸收裝置和過(guò)濾裝置；其中，所述第一精餾裝置和所述第二精餾裝置之間設(shè)有熱耦合裝置，所述第二精餾裝置具有塔頂出氣口、第一進(jìn)口和第二進(jìn)口，所述熱耦合裝置具有液氨進(jìn)口、熱氣進(jìn)口、熱氣出口和液氨出口，所述液氨進(jìn)口與所述第一精餾裝置的底部相連通，所述熱氣進(jìn)口與所述第二精餾裝置的塔頂出氣口相連通，所述熱氣出口與所述第一精餾裝置的塔釜相連通，所述液氨出口與所述第二精餾裝置的第一進(jìn)口相連通，所述第一精餾裝置與所述第二精餾裝置的第二進(jìn)口相連通，所述第二精餾裝置的塔頂出氣口分別與所述熱氣進(jìn)口、第一洗滌裝置和氨氣儲(chǔ)存裝置相連通。