[發明專利]干燥裝置及干燥方法

在審

• 申請號: 202111093055.8
• 申請日: 2021-09-17
• 公開（公告）號: CN114251935A
• 公開（公告）日: 2022-03-29
• 發明（設計）人: 魯承旭
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: F26B13/10
• 分類號: F26B13/10;F26B23/06;F26B25/22;B41F23/04;H01L51/56
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 崔今花;周艷玲

本發明提供一種干燥裝置及干燥方法。干燥裝置可包括：載物臺，用于支撐基板，并且包括對所述基板進行加熱的多個加熱塊；以及干燥上板，設置在所述載物臺的上部，并且包括在多個位置檢測從所述基板產生的溶劑蒸氣(solvent vapor)的濃度的多個溶劑傳感器。

技術領域

本發明涉及一種干燥裝置及干燥方法。

背景技術

目前，作為顯示裝置使用多種方式的顯示裝置，代表性地可列舉液晶顯示裝置(Liquid Crystal Display，LCD)及有機發光顯示裝置(Organic Light-Emitting Diode，OLED)。液晶顯示裝置是包括背光單元并通過將從背光單元發出的光阻斷或透過來顯示圖像的方式的顯示裝置。另外，有機發光顯示裝置為最近備受矚目的顯示裝置，其具有自發光特性，與液晶顯示裝置不同，不需要額外的光源。

在制造這種顯示裝置用基板時，可能會執行如在有機發光顯示裝置的基板上沉積多種材料的工藝和以干燥工藝及烘烤工藝為首的熱處理工藝等的多種工藝。熱處理工藝是為了形成具有所需特性的膜且為了誘導材料的物理變化或化學變化或者去除載體液體而執行的。

發明內容

本發明所要解決的技術課題是提供一種干燥裝置及干燥方法，該干燥裝置及干燥方法能夠實時檢測干燥腔室內部的溶劑蒸氣濃度的分布。

本發明所要解決的另一技術課題是提供一種干燥裝置及干燥方法，該干燥裝置及干燥方法能夠以檢測到的干燥腔室內部的溶劑蒸氣濃度的分布為基礎局部控制基板的干燥速度。

本發明的技術課題不限于上面提到的技術課題，根據以下的記載，本領域技術人員應能清楚理解未提到的其他技術課題。

用于實現上述技術課題的本發明的一實施例的干燥裝置可包括：載物臺，用于支撐基板，并且包括對所述基板進行加熱的多個加熱塊；以及干燥上板，設置在所述載物臺的上部，并且包括在多個位置檢測從所述基板產生的溶劑蒸氣(solvent vapor)的濃度的多個溶劑傳感器。

所述多個位置可包括第一位置及第二位置，所述多個溶劑傳感器包括：第一溶劑傳感器，用于在所述第一位置檢測所述溶劑蒸氣的第一濃度；以及第二溶劑傳感器，用于在所述第二位置檢測所述溶劑蒸氣的第二濃度，所述多個加熱塊包括與所述第一位置對應的第一加熱塊及與所述第二位置對應的第二加熱塊，在所述第一濃度高于所述第二濃度的情況下，所述第一加熱塊的加熱溫度被設定為高于所述第二加熱塊的加熱溫度。

在所述第一濃度低于所述第二濃度的情況下，所述第一加熱塊的加熱溫度可被設定為低于所述第二加熱塊的加熱溫度。

所述多個溶劑傳感器可以在所述干燥上板上沿對角線設置。

所述多個溶劑傳感器可以在所述干燥上板上以X字形設置。

所述多個溶劑傳感器可以在所述干燥上板上以十字形設置。

所述多個加熱塊可以在所述載物臺上以陣列形設置。

所述多個加熱塊可以在所述載物臺上以同心四邊形設置。

所述多個加熱塊可以在所述載物臺上以同心圓形設置。

所述干燥裝置可進一步包括與真空泵連接以排出所述溶劑蒸氣的真空管路(vacuum line)。

用于實現上述技術課題的本發明的一實施例的干燥裝置可包括：用于對基板進行加熱的多個加熱塊；多個溶劑傳感器，用于在多個位置檢測從所述基板產生的溶劑蒸氣的濃度；以及干燥速度控制裝置，根據由所述多個溶劑傳感器測量出的所述濃度來控制所述多個加熱塊的加熱溫度，從而調節所述基板的干燥速度。